一种蒸镀设备和系统的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体而言，涉及一种蒸镀设备和系统。

背景技术：

在基板上形成有机发光二级管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)器件通常采用蒸镀工艺，具体地，是在一定的真空条件下加热蒸镀材料，使蒸镀材料升华成原子、分子或原子团组成的蒸气，然后凝结在基板表面成膜，从而形成OLED器件的功能层。

经发明人研究发现，现有技术中，在对真空条件下进行材料蒸镀时，存在能源浪费和电源控制系统成本较高的问题，除此之外，现有的蒸镀设备无法实现对蒸镀过程的实时监测和蒸镀控制。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型提供了一种蒸镀设备和系统，通过对蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，能够实现蒸镀过程的有效监控。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种蒸镀设备，所述蒸镀设备包括反光罩、加热丝和设备本体，所述设备本体包括底座和两端开口的中空加热室，所述加热室上开设有第一通孔；

所述底座与所述加热室的一端连接，所述反光罩套设于所述加热室，且所述第一通孔暴露于所述反光罩外，所述加热丝设置于所述加热室。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述反光罩包括两端开口的中空罩体和支架，所述支架与所述罩体的一端连接。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述设备本体还包括开设有多个第二通孔的盖体，所述盖体安装于远离所述底座的所述加热室的一端。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝绕设于所述加热室的外部。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热室的外壁开设有用于放置所述加热丝的凹槽。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有第三通孔，所述加热丝绕设于所述加热室的内壁，且通过所述第二通孔延伸至所述加热室外。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝内嵌于所述加热室的侧壁，且所述加热丝的两端穿透所述侧壁，并延伸至所述加热室外。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述底座设置有加热丝。

在本实用新型实施例较佳的选择中，上述所述加热丝为钨丝。

一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括监控设备和上述所述的蒸镀设备，所述监控设备包括检测探头，所述检测探头设置于所述第一通孔处。

与现有技术相比，本实用新型提供的蒸镀设备和系统，通过对该蒸镀设备的巧妙设计，能够提高蒸镀效率，降低能源消耗，同时，可实现蒸镀过程的有效监控，且结构简单，易于操作。

进一步地，通过在蒸镀设备上设计带有小孔的盖体，能够有效避免蒸镀过程中由于材料受热而喷出加热室，进而导致蒸镀材料浪费的问题。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1A为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的结构示意图。

图1B为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的另一视角的结构示意图。

图2为图1中所示的反光罩的结构示意图。

图3为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的位置关系示意图。

图4为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的另一位置关系示意图。

图5为本实用新型实施例提供的设备本体与加热丝的又一位置关系示意图。

图6为本实用新型实施例提供的一种蒸镀设备的另一结构示意图。

图标：100-蒸镀设备；110-反光罩；112-罩体；114-支架；120-设备本体；122-加热室；1222-第一通孔；124-底座；130-加热丝；140-盖体；142-第二通孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。在本实用新型的描述中，术语“第一、第二、第三、第四等仅用于区分描述，而不能理解为只是或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请结合参阅图1A和图1B，本实用新型实施例提供一种蒸镀设备100，主要用于热蒸发真空镀膜。其中，该蒸镀设备100包括反光罩110、设备本体120和加热丝130，所述设备本体120包括底座124和两端开口的中空加热室122，所述加热室122上开设有第一通孔1222，所述底座124与所述加热室122的一端连接，所述反光罩110套设于所述加热室122，所述第一通孔1222暴露于所述反光罩110外，所述加热丝130设置于所述加热室122。

具体地，在蒸镀过程中，所述反光罩110用于对所述加热丝130产生的热量进行反射、使得热量再次聚集至所述加热室122，以提高蒸镀过程中热量的利用率。可选地，如图2所示，所述反光罩110包括罩体112和支架114，所述罩体112为两端开口的中空结构，所述支架114设置于该罩体112的一端。

可选地，在实际实施时，所述反光罩110套设于所述设备本体120，且所述罩体112与所述设备本体120之间可间隔设置。其中，所述反光罩110和所述设备本体120之间可采用固定式或可拆卸式连接，也可直接套设于所述设备本体120外，以便于在实际应用中对所述反光罩110进行灵活选用。

可选地，所述罩体112的内表面可采用反光材料制成，以保证蒸镀过程中的热量最大范围的反射至所述设备本体120。应理解，所述反光罩110的形状、材料、大小在此均不作限制。

可选地，在本实用新型实施例中，所述支架114可以是，但不限于如图2所示的三角支架114。

进一步地，所述设备本体120用于放置蒸镀材料并对其进行加热，在本实用新型实施例中，所述设备本体120包括底座124和两端开口的中空加热室122，所述底座124安装于所述加热室122的一端。在开始蒸镀时，所述蒸镀材料通过远离所述底座124的一端加入所述加热室122。其中，所述底座124与所述加热室122的一端无缝安装，所述无缝安装的方式可以根据实际情况进行灵活选择，如一体成型、可拆式安装等。

可选地，在实际实施时，所述加热室122的尺寸大小、形状均可根据实际情况进行灵活设计。其中，所述加热室122采用耐高温材料制成，如石英、氮化硼等。在实际实施时，所述加热室122的材料可根据待蒸镀材料进行灵活选择。

进一步地，通过所述蒸镀设备100对蒸镀材料进行加热的过程中，采用所述加热丝130加热的方式实现。所述加热丝130设置于所述加热室122，其中，所述加热丝130与所述加热室122之间的位置关系根据实际过程中对蒸镀材料的选择以及其他因素大体分为以下几种。

(1)所述加热丝130绕设于所述加热室122的外部。

具体地，在进行金属等材料的蒸镀时，为避免蒸镀过程中，可能发生蒸镀材料与所述加热丝130之间粘连等情况，从而造成加热丝130的损坏等问题出现，因此，如图3所示，所述加热丝130可均匀绕设于所述加热室122的外表面，以避免所述加热丝130与所述蒸镀材料不发生直接接触，例如，所述加热丝130呈“Z”字形绕设于所述加热丝130的外表面。

可选地，为保证所述加热丝130与所述加热室122外表面的充分接触，以及二者之间的位置相对固定，所述加热室122的外壁可开设用于放置所述加热丝130的凹槽。

(2)所述加热丝130绕设于所述加热室122的内壁。

具体地，如图4所示(图4b为图4a的剖面结构示意图)，当蒸镀材料为有机材料时，为了充分利用所述加热丝130发出的热量，所述加热丝130可均匀设置于所述加热室122的内壁，并与蒸镀材料直接接触，其中，所述底座124设置有第三通孔，所述加热丝130绕设于所述加热室122的内壁，且通过所述第三通孔延伸至所述加热室122外。应注意，所述第三通孔的位置可以位于，但不限于所述底座124。

(3)所述加热丝130内嵌于所述加热室122的侧壁。

具体地，如图5所示(图5b为图5a的剖面结构示意图)，若在加热过程中，对蒸镀材料的受热均匀度要求较高，所述加热丝130可内嵌于所述加热室122的侧壁，且所述加热丝130的两端穿透所述侧壁，并延伸至所述加热室122外。例如，当所述加热室122为陶瓷材料制备，可将所述加热丝130烧结在所述加热室122的侧壁内部，使得所述加热丝130与所述加热室122的侧壁充分接触，同时，将所述加热丝130内嵌于所述加热室122侧壁的方式也进一步地增强了所述加热丝130与所述加热室122之间的牢固性。

应理解，在本实用新型实施例中，所述加热丝130与所述加热室122的实际设置位置可以是，但不限于上述所述(1)-(3)中任一种。在实际实施时，所述加热丝130也可对所述设备本体120起到支撑作用。

进一步地，为了增大所述加热丝130与所述设备本体120的接触面积，提高蒸镀效率，保证加热室122内部的蒸镀材料受热均匀，所述底座124上也可均匀的设置有加热丝130。其中，设置于所述底座124上的所述加热丝130与设置于所述加热室122的所述加热丝130可以为一体成型，也可分别独立设置。

进一步地，在本实用新型实施例中，所述加热丝130可以是，但不限于为钨丝，所述加热丝130可根据加热过程中的实际温度需求以及发热速度等情况进行灵活选择。其中，所述加热丝130的长度、形状，在本实用新型实施例均不做限制。

进一步地，由于所述加热室122的体积较大，装载的蒸镀材料一般较多，造成在对所述蒸镀设备100加热过程中，蒸镀材料受热之后出现大块蒸镀材料喷出所述加热室122，导致蒸镀材料浪费，同时，也存在一定的安全隐患，因此，针对上述问题，如图6所示，所述设备本体120还包括开设有多个第二通孔142的盖体140，所述盖体140安装于远离所述底座124的所述加热室122的一端。

具体地，所述多个第二通孔142均匀的设置于所述盖体140上，使得在蒸镀过程中，所述蒸镀材料可以均匀地通过多个所述第二通孔142蒸镀出所述加热室122外，而不会出现蒸镀材料喷出，可有效避免对蒸镀材料的浪费。其中，所述第二通孔142的大小、数量、形状在本实用新型实施例中不作限制。

可选地，为方便所述蒸镀材料通过远离所述底座124的一端加入所述加热室122内，所述盖体140与所述加热室122之间采用非固定式安装，例如，可拆卸式、通过水平转轴或垂直转轴连接。其中，在本实用新型实施例中，所述盖体140的材料、大小、形状均可根据实际情况进行灵活选择。

进一步地，为了实现对所述蒸镀设备100内部的蒸镀速率等进行实时、快速的监控，所述加热室122上开设有第一通孔1222，在本实用新型实施例中，通过位于所述第一通孔1222处的监控设备实现对蒸镀过程的有效监控和控制。

在实际实施时，可在所述加热室122的不同位置开设多个所述第一通孔1222，以实现对蒸镀过程的多方位监测，保证蒸镀效果。其中，多个所述第一通孔1222的大小、形状、位置在本实用新型实施例中均不做限制。应注意，所述第一通孔1222暴露于所述反光罩110外。

本实用新型实施例还提供一种蒸镀系统，该蒸镀系统包括监控设备和上述蒸镀设备100。其中，所述监控设备包括检测探头，所述检测探头设置于所述第一通孔1222处。可选地，所述监控设备可以为膜厚仪。

具体地，所述检测探头用于监测蒸镀过程中蒸镀材料的速率和厚度，并根据实际监测结果进行实时调整。因此，所述检测探头设置于所述第一通孔1222的外侧，且对准所述第一通孔1222。

可选地，为了提高监控过程的精确度，所述检测探头可以为多个。其中，所述检测探头的类型可以选择用于速率检测的专用探头，如速率传感器等，本实用新型实施例在此不再赘述。

综上所述，本实用新型提供一种蒸镀设备100和系统，其中，通过该蒸镀设备100的巧妙设计，能够有效降低蒸镀过程中的能源浪费，提高蒸镀效率，且保证加热室122受热均匀。

同时，通过检测设备和设置于加热室122上的第一通孔1222，实现了对蒸镀设备100中的蒸镀状态的实时监控。

显然，本领域的技术人员应该明白，上述的本实用新型实施例的功能可以用通用的计算装置来实现，它们可以集中在单个的计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成的网络上，可选地，它们可以用计算装置可执行的现有程序代码或算法来实现，从而，可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样，本实用新型的功能实现不限制于任何特定的硬件和软件结合。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。