技术总结
本实用新型公开了一种纳米铍粉的制备装置，包括源瓶、反应瓶、鼓泡瓶和冷凝装置，所述源瓶通过第一管道与所述反应瓶连接，所述第一管道外周设置有第一加热装置，所述源瓶还与一进气管连通，所述源瓶置于第二加热装置中，所述反应瓶还与所述冷凝装置连通，所述冷凝装置的另一端通过第二管道与所述鼓泡瓶连通，所述鼓泡瓶还连接有尾气排放管；采用本实用新型的制备装置，可以实现有机铍醚合物蒸汽进样，相对于微液滴进样法，得到的铍粉颗粒直径更细，其直径小于65nm；碳杂质含量低，碳杂质含量低于0.2 at%；本实用新型的整个工艺过程都在无氧无水的高纯手套箱中进行，因此铍粉氧杂质含量低，最终得到的铍粉金属杂质总量小于12 ppm。
技术研发人员：张吉强;罗江山;陈龙;金雷;何玉丹;李恺;罗炳池;李文琦;谭秀兰;李喜波;康晓丽;徐习斌
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
文档号码：201720202201
技术研发日：2017.03.03
技术公布日：2017.09.22