一种多弧离子镀用转架和多弧离子镀膜设备的制作方法

技术特征：

1.一种多弧离子镀用转架，其特征在于，包括架体，所述架体包括上转盘、下转盘、连接上转盘和下转盘中心的主轴、和绕周向设置于上转盘和下转盘之间的多个自转轴，每一自转轴上设有用于夹持工件的夹具，所述转架还包括驱动所述主轴转动进而带动整个架体一起转动的公转驱动组件、驱动所述多个自转轴分别相对于上转盘和下转盘转动的自转驱动组件、和驱动整个架体上下往复移动的直线往复驱动组件。

2.根据权利要求1所述的多弧离子镀用转架，其特征在于，所述公转驱动组件包括第一电机和由第一电机带动的减速器，所述减速器的输出轴与所述主轴联接。

3.根据权利要求2所述的多弧离子镀用转架，其特征在于，所述自转驱动组件包括设置于下转盘下方的大齿轮和环绕所述大齿轮设置并与其啮合的多个小齿轮，所述多个小齿轮分别与对应的多个自转轴下端固定连接，所述大齿轮设有供主轴穿过的中心通孔并设有支撑底座。

4.根据权利要求3所述的多弧离子镀用转架，其特征在于，所述直线往复驱动组件包括第二电机和由第二电机带动的转轮以及偏心连接于所述转轮的连杆，所述连杆与所述支撑底座连接。

5.一种多弧离子镀膜设备，包括炉体、设置于炉体侧壁上的多个离子镀弧源、设置于炉体顶部的进气装置、设置于炉体底部的抽真空装置，其特征在于，还包括转架，所述转架包括架体，所述架体包括上转盘、下转盘、连接上转盘和下转盘中心的主轴、和绕周向设置于上转盘和下转盘之间的多个自转轴，每一自转轴上设有用于夹持工件的夹具，所述转架还包括驱动所述主轴转动进而带动整个架体一起转动的公转驱动组件、驱动所述多个自转轴分别相对于上转盘和下转盘转动的自转驱动组件、和驱动整个架体上下往复移动的直线往复驱动组件，其中，所述架体和自转驱动组件设于所述炉体的真空腔室内，所述公转驱动组件和直线往复驱动组件设于炉体的底部下方。

6.根据权利要求5所述的多弧离子镀膜设备，其特征在于，所述公转驱动组件包括第一电机和由第一电机带动的减速器，所述减速器的输出轴与伸出炉体底部的主轴联接。

7.根据权利要求6所述的多弧离子镀膜设备，其特征在于，所述自转驱动组件包括设置于下转盘下方的大齿轮和环绕所述大齿轮设置并与其啮合的多个小齿轮，所述多个小齿轮分别与对应的多个自转轴下端固定连接，所述大齿轮设有供主轴穿过的中心通孔并设有支撑底座，所述支撑底座设置于炉体底部的上表面。

8.根据权利要求7所述的多弧离子镀膜设备，其特征在于，所述直线往复驱动组件包括第二电机和由第二电机带动的转轮以及偏心连接于所述转轮的连杆，所述连杆与所述支撑底座连接。

9.根据权利要求8所述的多弧离子镀膜设备，其特征在于，所述直线往复驱动组件还包括一底板和固定于所述底板上的多个导柱，所述多个导柱穿过炉体底部与所述支撑底座连接，所述连杆与所述底板连接。