技术总结
一种蒸发源装置，辅助蒸发源和围绕所述辅助蒸发源设置的主蒸发源，所述主蒸发源和所述辅助蒸发源分别具有至少一条蒸发通道，所述辅助蒸发源的蒸发通道向所述主蒸发源一侧倾斜延伸。本实施例提供的蒸发源装置将辅助蒸发源的蒸发通道设置成向主蒸发源一侧倾斜延伸，使主蒸发源和辅助蒸发源的蒸镀角相互重合的范围增大，改善了蒸镀基板上膜厚的稳定性和均一性，进而提高了蒸镀产品的稳定性；在保证主蒸发源与辅助蒸发源中所蒸镀出的主体材料和掺杂材料掺杂均一性的前提下，因辅助蒸发源的蒸镀速率相比主蒸发源的蒸镀速率低，角度限制板处材料沉积减少，进而减少了蒸发源装置在蒸镀过程发生生产宕机的现象。
技术研发人员：罗鹏;邱林林
受保护的技术使用者：云谷（固安）科技有限公司
技术研发日：2017.09.22
技术公布日：2018.05.29