1.一种靶材冷却装置，其特征在于：包括靶材、靶材余料，所述靶材与所述靶材余料为一整体，所述靶材余料上设置有若干冷媒通道，所述靶材余料对称设置在所述靶材的端部，所述冷媒通道对称设置，所述冷媒通道两端分别为冷媒进口和冷媒出口。
2.根据权利要求1项所述的一种靶材冷却装置，其特征在于：相邻所述冷媒通道的冷媒进口和冷媒出口位置相反。
3.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于：所述冷媒通道为圆形或矩形。
4.根据权利要求1所述的一种靶材冷却装置，其特征在于：所述冷媒通道设置为多层。