技术特征：
技术总结
一种超厚无氢类金刚石薄膜及其制备方法，金属基体上部涂覆Cr粘结层，Cr粘结层上部为C/C多层复合膜，C/C多层复合膜是由软C膜和硬C膜交替沉积构成。制备方法，包括以下步骤：（1）工件预处理；（2）离子清洗；（3）Cr粘结层的制备；（4）C/C多层复合膜的制备。本发明用真空离子镀技术通过控制基体偏压制备了软硬交替的C/C多层膜，各层界面相互匹配，薄膜具有较好的结合力和韧性，高偏压下离子轰击产生的诱导效应导致薄膜中的SP2键向sp3键转变，增强了类金刚石薄膜的耐磨性能。这种同质多层结构，使薄膜的硬度高达40GPa，摩擦系数低于0.15，并具有良好耐久性，因此扩大了类金刚石薄膜工程化应用范围。
技术研发人员：张林;张朝奎;王明磊
受保护的技术使用者：大连维钛克科技股份有限公司
技术研发日：2018.05.29
技术公布日：2018.08.17