技术特征：
技术总结
本发明涉及一种非晶Cu‑Ta纳米多层膜及其制备方法和应用。所述纳米多层膜由两种不同结构的非晶层交替叠加形成；任意一非晶层中同时含有Cu和Ta。所述纳米多层膜中，相接触的两种不同结构的非晶层成分连续过渡。其制备方法为：首先以纯Cu、纯Ta作为靶材；选择衬底；将靶材固定于靶头上，调整两靶的高度及角度使两靶中心聚焦于样品台的中心；将衬底放置于样品台的设定位置上；然后抽真空，通入保护气体；通过磁控溅射聚焦共沉积法在衬底上沉积薄膜；沉积薄膜时，转动样品台；得到设定结构的Cu‑Ta非晶纳米多层膜。本发明所设计和制备的产品，其应用领域包括将其用于材料表面抗摩擦磨损防护、固体润滑、电子封装扩散阻挡层、热电界面中的至少一种。
技术研发人员：符立才;秦文;周灵平;朱家俊;杨武霖;李德意
受保护的技术使用者：湖南大学
技术研发日：2018.06.13
技术公布日：2018.11.30