技术特征:
技术总结
一种制造涂覆金属基板的方法,包括以下步骤:(1)在CVD室内插入具有氧化铬(III)层的基板;(2)将基板加热到范围为400至500摄氏度的温度;(3)将气态氮(N2)和氯化钽(TaCl5)通入到CVD室中进行至少两个循环;(4)当氮气持续地从入口流到出口时,停止通入氯化钽(TaCl5);(5)使氯化钽和氧化铬(III)反应并产生副产物;(6)通过流动的氮气从CVD室清除副产物。
技术研发人员:S·卡姆帕里;B·阿克什曼安
受保护的技术使用者:通用汽车环球科技运作有限责任公司
技术研发日:2018.08.03
技术公布日:2019.03.01