技术总结
基于准LIGA工艺的超薄型金刚石砂轮片的制造方法，先进行阴极基板的制作，通过匀胶在基板上旋涂一层光刻胶薄膜，经过UV光刻显影坚膜工艺在光刻胶薄膜上形成微孔阵列薄膜，然后在微孔阵列薄膜表面镀一层导电薄膜，通过UV光刻工艺在微孔阵列薄膜上形成掩蔽层，微孔阵列薄膜上未被掩蔽层掩蔽的区域为砂轮片形状；再进行复合电铸工艺，电铸溶液中的金刚石磨料及金属离子在阴极基板的砂轮片图案位置均匀共析，得到复合电铸层；最后进行复合电铸层与阴极基板分离，得到砂轮片；本发明实现了金刚石砂轮片的一体化成型制造，砂轮片两面裸露金刚石颗粒，两面的切割能力基本均匀对称，可直接使用；所制造的砂轮片断面跳动小，成本低且切割精度与效率高。
技术研发人员：陈邦道;刘红忠;赖国泉;史永胜;尹磊;蒋维涛;叶国永
受保护的技术使用者：西安交通大学
技术研发日：2018.09.28
技术公布日：2018.12.18