技术总结
本案公开一种真空镀膜装置，包括第一腔体和第二腔体，第二腔体可移动地设置在第一腔体中并配合形成密闭空间。第一腔体中设置有镀膜系统，第二腔体上设置有卷绕系统，镀膜系统包括离子源和靶体并设置在第一腔体的内壁上，导向辊用于将第一收放卷上的待镀材料引导卷绕到第一镀膜辊和第二镀膜辊上并进一步引导至第二收放卷上或将第二收放卷上的待镀材料通过第二镀膜辊和第一镀膜辊引导至第一收放卷上。行走轮在轨道上移动以使第二腔体并入第一腔体和从第一腔体中分离。本案中的真空镀膜装置便于操作人员分离第一腔体和第二腔体进行待镀材料卷的放入和取出，减少了操作难度，提高了镀膜操作的效率。
技术研发人员：陈自新;朱海锋;郑立冬;李伟
受保护的技术使用者：无锡光润真空科技有限公司
技术研发日：2018.01.22
技术公布日：2018.09.04