1.一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，包括谐振腔本体、石英窗(10)、沉积台(3)、模式转换器(13)，其特征在于，所述谐振腔本体上部为圆柱体形，下部为倒角圆柱体形，所述倒角圆柱体相邻面的夹角为135°，所述谐振腔本体上部侧面竖直固定有电动定位滑台(6)，电动定位滑台(6)的滑块(15)上固定有环形螺线圈(7)，所述环形螺线圈(7)与谐振腔本体同轴，所述沉积台(3)位于谐振腔本体内部且与其同轴，所述谐振腔本体底部设有与其同心的圆形开口，所述圆形开口固定连接有微波输入结构，所述石英窗(10)为圆环形，位于沉积台(3)与谐振腔本体底面之间，且与沉积台(3)及谐振腔本体底面密封连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体由双层不锈钢制成，其内部空间形成水冷通道。
3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体顶部设有进气口(5)，底部设有抽气口(11)，所述进气口(5)及抽气口(11)与谐振腔本体内部的空腔连通。
4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔本体顶部设有出水口(8)，底部设有注水口(2)，所述注水口(2)及出水口(8)与所述水冷通道连通。
5.根据权利要求4所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述微波输入结构包括波导管(1)及模式转换器(13)，所述模式转换器(13)与谐振腔本体同轴。
6.根据权利要求5所述的一种用于化学气相沉积金刚石膜的谐振腔，其特征在于，所述沉积台(3)为中空结构，其下部密封连接有导管(12)，导管(12)下端与谐振腔本体底部密封连接，所述导管(12)与沉积台(3)内部的空腔以及谐振腔本体的水冷通道连通。