一种耐高温多弧离子真空镀膜机的制作方法

文档序号:17875790发布日期:2019-06-12 00:27阅读:157来源:国知局

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种耐高温多弧离子真空镀膜机。



背景技术:

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,在真空镀膜过程中,由镀膜源发出的镀膜材料蒸汽被沉积到被镀物件的同时,也会部分溅射并沉积到镀膜机内腔及夹具表面,并随镀膜次数及时间的增加,越累越厚,现有的一些真空镀膜装置在使用时,多为固定安装,在使用时,不方便将装置彻底打开,使得装置的内部清理起来比较麻烦,长时间堆积的物体影响了装置在使用时的工作效率,因此需要一种新型的装置,能够便于对装置进行拆卸,然后便于对装置的内部进行清理。



技术实现要素:

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种能够便于对装置进行拆卸,然后便于对装置的内部进行清理的耐高温多弧离子真空镀膜机。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种耐高温多弧离子真空镀膜机,包括底座、下壳体、上壳体、转轴、连接块、耐热层、弹出机构、拆卸机构和固定机构,所述下壳体的底部与底座的顶部固定连接,所述上壳体位于下壳体的上方,所述转轴的右侧与下壳体左侧的顶部固定连接,所述连接块的右侧与上壳体左侧的底部固定连接,所述上壳体的左侧与下壳体顶部的左侧活动连接,所述耐热层的外表面分别与下壳体和上壳体四周的内壁固定连接,所述弹出机构位于下壳体顶部的右侧,所述拆卸机构和固定机构均位于上壳体和下壳体连接处的右侧。

优选的,所述耐热层的外表面分别与上壳体和下壳体的四周的内壁粘接,所述耐热层由石英砂、粘土、菱镁矿等原料构成。

优选的,所述弹出机构包括有凹槽、插块、密封垫、支撑块和支撑弹簧,所述凹槽位于下壳体顶部的右侧,所述插块的顶部与上壳体顶部的右侧固定连接,所述插块的底部与凹槽的内部插接,所述支撑块的顶部与插块的底部插接,所述支撑弹簧的底端与凹槽的内底壁焊接,所述伸缩弹簧的顶端与支撑块的底部固定连接。

优选的,所述密封垫位于上壳体与下壳体右侧的连接处,所述密封垫的顶部与上壳体底部的右侧固定连接,所述密封垫与下壳体顶部的右侧搭接。

优选的,所述拆卸机构包括有固定块、空腔、插杆、伸缩弹簧、滚轮、滑块、滑槽和拉块,所述固定块的左侧与下壳体顶部的右侧固定连接,所述空腔位于固定块正面的右侧,所述插杆的左右两端分别贯穿空腔左侧和右侧的内壁并延伸到空腔的外部,所述伸缩弹簧的内部与插杆的表面套接,所述滚轮的顶部通过U形板与插杆的底部固定连接,所述滑块的底部与插杆的顶部固定连接,所述滑槽位于空腔的内顶壁,所述滑块远离插杆的一侧与滑槽的内部滑动连接,所述拉块的左侧与插杆的右端固定连接。

优选的,所述固定机构包括有限位槽、L形板和卡槽,所述限位槽位于固定块的内部,且限位槽位于空腔的左侧,所述L形板的左侧与上壳体的右侧固定连接,所述L形板的底部与限位槽的内部插接,所述卡槽位于L形板右侧的底部,所述插杆的左端与卡槽的内部插接。

本实用新型提供了一种耐高温多弧离子真空镀膜机。具备的有益效果如下:

1、该耐高温多弧离子真空镀膜机,通过设置了拆卸机构,通过拆卸机构的作用,便于从右侧将上壳体和下壳体打开,然后通过设置有连接块和转轴,使得装置在打开后,上壳体便于通过转轴向左侧进行翻转,从而将装置彻底打开,使得该装置在使用时达到了便于打开后的效果,然后便于对装置的内部进行清理,解决了现有的一些装置在使用时不便于打开,从而导致装置的内部不方便清理的问题。

2、该耐高温多弧离子真空镀膜机,通过设置了弹出机构,使得装置在打开后便于将上壳体的右侧向上弹出,辅助装置进行打开,然后通过设置有密封垫,增大了装置闭合处的密封性,然后通过设置有耐热层,有效地提高了该装置在工作时的耐热性,解决了现有的一些装置在使用时耐热性不是很好的问题。

附图说明

图1为本实用新型结构剖视图;

图2为本实用新型结构示意图;

图3为本实用新型图1中A的结构放大图;

图4为本实用新型图1中B的结构放大图。

图中:1底座、2下壳体、3上壳体、4转轴、5连接块、6耐热层、7弹出机构、701凹槽、702插块、703密封垫、704支撑块、705支撑弹簧、8拆卸机构、801固定块、802空腔、803插杆、804伸缩弹簧、805滚轮、806滑块、807滑槽、808拉块、9固定机构、901限位槽、902 L形板、903卡槽。

具体实施方式

本实用新型实施例提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机,如图1-4所示,包括底座1、下壳体2、上壳体3、转轴4、连接块5、耐热层6、弹出机构7、拆卸机构8和固定机构9,下壳体2的底部与底座1的顶部固定连接,上壳体3位于下壳体2的上方,转轴4的右侧与下壳体2左侧的顶部固定连接,连接块5的右侧与上壳体3左侧的底部固定连接,上壳体3的左侧通过转轴4和连接块5与下壳体2顶部的左侧活动连接,然后通过设置有连接块5和转轴4,使得装置在打开后,上壳体3便于通过转轴4向左侧进行翻转,从而将装置彻底打开,耐热层6的外表面分别与下壳体2和上壳体3四周的内壁固定连接,耐热层6的外表面分别与上壳体3和下壳体2的四周的内壁粘接,耐热层6由石英砂、粘土、菱镁矿等原料构成,通过设置有耐热层6,有效地提高了该装置在工作时的耐热性,解决了现有的一些装置在使用时耐热性不是很好的问题,弹出机构7位于下壳体2顶部的右侧,弹出机构7包括有凹槽701、插块702、密封垫703、支撑块704和支撑弹簧705,凹槽701位于下壳体2顶部的右侧,插块702的顶部与上壳体3顶部的右侧固定连接,插块702的底部与凹槽701的内部插接,支撑块704的顶部与插块702的底部插接,支撑弹簧705的底端与凹槽701的内底壁焊接,支撑弹簧705的顶端与支撑块704的底部固定连接,密封垫703位于上壳体3与下壳体2右侧的连接处,密封垫703的顶部与上壳体3底部的右侧固定连接,密封垫703与下壳体2顶部的右侧搭接,拆卸机构8和固定机构9均位于上壳体3和下壳体2连接处的右侧,拆卸机构8包括有固定块801、空腔802、插杆803、伸缩弹簧804、滚轮805、滑块806、滑槽807和拉块808,固定块801的左侧与下壳体2顶部的右侧固定连接,空腔802位于固定块801正面的右侧,插杆803的左右两端分别贯穿空腔802左侧和右侧的内壁并延伸到空腔802的外部,伸缩弹簧804的内部与插杆803的表面套接,滚轮805的顶部通过U形板与插杆803的底部固定连接,滑块806的底部与插杆803的顶部固定连接,滑槽807位于空腔802的内顶壁,滑块806远离插杆803的一侧与滑槽807的内部滑动连接,拉块808的左侧与插杆803的右端固定连接,固定机构9包括有限位槽901、L形板902和卡槽903,限位槽901位于固定块801的内部,且限位槽901位于空腔802的左侧,L形板902的左侧与上壳体3的右侧固定连接,L形板902的底部与限位槽901的内部插接,卡槽903位于L形板902右侧的底部,插杆803的左端与卡槽903的内部插接。

使用时,向右侧拉动拉块808,使得插杆803向右侧进行移动,插杆顶部的滑块806在滑槽807的内部向右侧进行移动,插杆803底部的滚轮805在空腔802的内底壁向右侧滚动,使得插杆803的左端从卡槽903的内部分离,然后支撑弹簧705向上展开,使得支撑块704向上移动,然后推动插块702向上移动,使得插块702从凹槽701的内部分离,然后将上壳体3底部的右侧从下壳体2顶部的右侧向上弹出,再将上壳体3向左侧进行翻转,使得的整个装置被打开,再对装置的内部进行彻底地清理。

该耐高温多弧离子真空镀膜机,通过设置了拆卸机构8,通过拆卸机构8的作用,便于从右侧将上壳体3和下壳体2打开,然后通过设置有连接块5和转轴4,使得装置在打开后,上壳体3便于通过转轴4向左侧进行翻转,从而将装置彻底打开,使得该装置在使用时达到了便于打开后的效果,然后便于对装置的内部进行清理,解决了现有的一些装置在使用时不便于打开,从而导致装置的内部不方便清理的问题。

并且,通过设置了弹出机构7,使得装置在打开后便于将上壳体3的右侧向上弹出,辅助装置进行打开,然后通过设置有密封垫703,增大了装置闭合处的密封性,然后通过设置有耐热层6,有效地提高了该装置在工作时的耐热性,解决了现有的一些装置在使用时耐热性不是很好的问题。

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