1.涂覆方法,其包括以下步骤:
-在pvd涂覆单元中提供超级合金(sa)基底;
-提供超级合金靶作为所述涂覆单元的电弧源的阴极;
-向所述基底提供基底偏压;
-通过真空电弧沉积从所述超级合金靶在所述基底的表面上沉积超级合金的界面层(if-1);
-向所述涂覆单元提供含氧的反应性气体的供应;
-通过真空电弧沉积来沉积相同的超级合金或不同的金属组成的过渡层(tl),由此通过改变工艺气氛中所述反应性气体的分压来使所述层的氧含量从(if-1)向表面变化;
-通过以下方式在所述过渡层之后沉积包含比所述过渡层内更高量的超级合金氧化物或不同的金属氧化物成分的屏障层(if-2):如同所述过渡层(tl)的沉积,在含有更高浓度的反应性气体的工艺气氛中进行真空电弧。
2.根据权利要求1所述的涂覆方法,其特征在于所述超级合金靶具有与所述超级合金基本相同的组成。
3.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于提供至少一个具有另外的金属组成的另外的靶,以沉积具有不同的金属组成的过渡层和/或具有不同的金属氧化物组成的屏障层(if-2)。
4.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于在所述超级合金靶的真空电弧沉积的同时,提供气态前体,以沉积具有不同的金属组成的过渡层和/或具有不同的金属氧化物组成的屏障层(if-2)。
5.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于所述界面层(if-1)沉积有与所述超级合金基底的晶体结构一致的晶体结构。
6.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于沉积超级合金氧化物和/或所述屏障层(if-2)的不同的金属组成的氧化物,其中氧原子与金属原子的比例为至少1.5或甚至至少5,以从所述超级合金金属和/或在沉积所述屏障层(if-2)时蒸发的不同金属组合物形成热力学稳定的氧化物,尤其是最稳定的氧化物。
7.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于在没有工艺气体的纯金属蒸汽中沉积所述界面层。
8.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于向所述涂覆单元提供惰性气体供应,以在含有惰性气体的工艺气氛中沉积所述界面层(if-1)、所述过渡层和所述屏障层(if-2)中的至少一个;
9.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于已经通过粉末冶金方法产生所述超级合金靶。
10.根据前述权利要求之一所述的涂覆方法,其特征在于在另外工艺步骤中向所述屏障层(if-2)的表面施加陶瓷顶层。
11.根据权利要求10所述的涂覆方法,其特征在于通过热喷涂技术施加所述陶瓷顶层。
12.超级合金工件,其包含:
-超级合金基底,
-直接在所述超级合金基底的表面上的具有基本上相同的超级合金组成的界面层(if-1),随后
-过渡层(tl),其具有基本上相同的超级合金和超级合金氧化物或不同的金属组成和不同的金属氧化物,由此所述过渡层的氧含量从if-1向if-2增加,
-具有超级合金氧化物或不同的金属氧化物的屏障层(if-2)。
13.根据权利要求12所述的工件,其特征在于if-1具有与所述超级合金(sa)基底表面的晶体结构一致性的晶体结构。
14.根据权利要求12或13所述的工件,其特征在于所述过渡层中的氧含量从if-1到if-2逐步或逐渐增加。
15.根据权利要求12-14之一所述的工件,其特征在于所述不同的金属组成与基本相同的超级合金组成相差至少一种另外的元素。
16.根据权利要求15所述的工件,其特征在于所述至少一种另外的元素具有等于或小于1.4的电负性。
17.根据权利要求15或16所述的工件,其特征在于所述至少一种另外的元素包含镧系元素,优选la、er或yb中的至少一个。
18.根据权利要求12-17之一所述的工件,其特征在于所述不同的金属组成通过至少一个下列另外的元素的浓度和/或添加而不同于所述超级合金组成:mg、al、cr、er、y、zr、la、hf、si。
19.根据权利要求16-18之一所述的工件,其特征在于至少一部分的所述另外的元素被氧化并作为固溶体(ss)在所述晶粒中沉积和/或沿着所述过渡层(tl)和/或所述屏障层(if-2)的晶界沉积为强化分散氧化物(ods)。
20.根据权利要求12-19之一所述的工件,其特征在于所述过渡层中至少一种金属元素或硅的浓度从if-1向if-2逐步或逐渐地增加。
21.根据权利要求12-20之一所述的工件,其特征在于所述不同的金属氧化物包含至少一种以下氧化物或其混合物:
氧化铝、氧化铝-氧化铬、氧化铒、氧化钇、氧化钇-氧化铝、氧化镁-氧化铝、氧化铝-氧化硅、氧化铪-氧化硅。
22.根据权利要求21所述的工件,其特征在于氧化铝或氧化铝-氧化铬是包含刚玉晶体结构的al2o3或(alcr)2o3;氧化铒或氧化钇是包含立方晶体结构的er2o3或y2o3。
23.根据权利要求22所述的工件,其特征在于大于55%优选大于75%的各晶体结构是刚玉晶体结构或立方晶体结构。
24.根据权利要求12-23之一所述的工件,其特征在于所述不同的金属氧化物包含含铝氧化物,且所述层包含含铝液滴。
25.根据权利要求12-24之一所述的工件,其特征在于所述不同的金属氧化物包含含铬氧化物,且所述层包含含铬液滴。
26.根据权利要求12-25之一所述的工件,其在所述屏障层(if-2)的表面上包含陶瓷顶层。
27.生产超级合金(sa)工件的方法,其包括权利要求1-12之一所述的涂覆方法。