一种复合润滑膜及其制备方法、工件与流程

文档序号:19311865发布日期:2019-12-03 23:36阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种复合润滑膜,其特征在于,所述复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素ti元素和la元素组成,所述润滑材料为mos2或ws2;所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.5~11%,la元素的质量百分含量为4.5~13.5%。

2.根据权利要求1所述的复合润滑膜,其特征在于,所述润滑材料为mos2,所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.7~10.5%,la元素的质量百分含量为5~13.5%。

3.根据权利要求1所述的复合润滑膜,其特征在于,所述润滑材料为ws2,所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.5~9%,la元素的质量百分含量为4.9~12.5%。

4.一种如权利要求1~3所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:采用磁控溅射法向预处理后的基体表面溅射沉积复合润滑膜。

5.根据权利要求4所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,溅射沉积时所用靶材包括润滑材料靶和la/ti合金靶;磁控溅射时,润滑材料靶与la/ti合金靶共溅射,工作压强为0.4~1.6pa,溅射时间为100~150min,润滑材料靶的溅射功率为150~250w,la/ti合金靶的溅射功率为10~50w。

6.根据权利要求4或5所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,所述预处理后的基体包括基体和设置在基体上的过渡层,所述过渡层为la/ti合金层,la/ti合金层由以下质量百分比的组分组成:la5-50%,余量为ti。

7.根据权利要求6所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,所述过渡层采用磁控溅射制得,磁控溅射时所用靶材为la/ti合金靶,溅射时的工作压强为0.4~1.6pa,la/ti合金靶的溅射功率为10~50w。

8.一种工件,其特征在于,包括工件基体,所述工件基体表面设有复合润滑膜,所述为权利要求1~3任一项所述的复合润滑膜。

9.根据权利要求8所述的工件,其特征在于,所述复合润滑膜的厚度为2~3μm。

10.根据权利要求8或9所述的工件,其特征在于,工件表面还在工件基体和复合润滑膜之间设有过渡层,所述过渡层为la/ti合金层。


技术总结
本发明属于固体润滑技术领域,具体涉及一种复合润滑膜及其制备方法、工件。本发明的复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素Ti元素和La元素组成,所述润滑材料为MoS2或WS2;所述复合润滑膜中Ti元素的质量百分含量为1.5~11%,La元素的质量百分含量为4.5~13.5%。本发明采用磁控溅射法制备复合润滑膜,在膜的生长过程中引入La元素以及Ti元素,有效细化了MoS2或WS2晶粒,使复合润滑膜的结构更加致密,从而有效改善了固体润滑膜的性能。

技术研发人员:薛玉君;蔡海潮;贺江涛;李航;司东宏;杨芳;刘春阳;马喜强
受保护的技术使用者:河南科技大学
技术研发日:2019.10.15
技术公布日:2019.12.03
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