1.一种复合润滑膜,其特征在于,所述复合润滑膜由润滑材料以及掺杂元素ti元素和la元素组成,所述润滑材料为mos2或ws2;所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.5~11%,la元素的质量百分含量为4.5~13.5%。
2.根据权利要求1所述的复合润滑膜,其特征在于,所述润滑材料为mos2,所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.7~10.5%,la元素的质量百分含量为5~13.5%。
3.根据权利要求1所述的复合润滑膜,其特征在于,所述润滑材料为ws2,所述复合润滑膜中ti元素的质量百分含量为1.5~9%,la元素的质量百分含量为4.9~12.5%。
4.一种如权利要求1~3所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:采用磁控溅射法向预处理后的基体表面溅射沉积复合润滑膜。
5.根据权利要求4所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,溅射沉积时所用靶材包括润滑材料靶和la/ti合金靶;磁控溅射时,润滑材料靶与la/ti合金靶共溅射,工作压强为0.4~1.6pa,溅射时间为100~150min,润滑材料靶的溅射功率为150~250w,la/ti合金靶的溅射功率为10~50w。
6.根据权利要求4或5所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,所述预处理后的基体包括基体和设置在基体上的过渡层,所述过渡层为la/ti合金层,la/ti合金层由以下质量百分比的组分组成:la5-50%,余量为ti。
7.根据权利要求6所述的复合润滑膜的制备方法,其特征在于,所述过渡层采用磁控溅射制得,磁控溅射时所用靶材为la/ti合金靶,溅射时的工作压强为0.4~1.6pa,la/ti合金靶的溅射功率为10~50w。
8.一种工件,其特征在于,包括工件基体,所述工件基体表面设有复合润滑膜,所述为权利要求1~3任一项所述的复合润滑膜。
9.根据权利要求8所述的工件,其特征在于,所述复合润滑膜的厚度为2~3μm。
10.根据权利要求8或9所述的工件,其特征在于,工件表面还在工件基体和复合润滑膜之间设有过渡层,所述过渡层为la/ti合金层。