一种半导体全自动滚圆机的制作方法

文档序号:19341252发布日期:2019-12-06 18:34阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体全自动滚圆机,其特征在于,包括底座、两个粗磨组件和自动上下料装置,底座上部设置有可沿其长度方向滑动的进给机构,进给机构的上部设置有用于夹持并旋转棒料的夹持组件,两个粗磨组件相对设置且分别安装于底座长度方向中部的两侧,粗磨组件沿棒料进给方向的前方设置有尺寸检测组件、v槽磨削组件和用于对棒料进行精磨或磨of面的精磨组件,精磨组件和v槽磨削组件沿棒料进给方向的前方设置有晶向检测组件,各组件和进给机构、自动上下料装置均与控制系统通讯连接。

2.根据权利要求1所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,底座中部的两侧分别设置有磨削组件安装座,两个粗磨组件分别安装于底座两侧的磨削组件安装座上,精磨组件和v槽磨削组件相对设置且分别安装于底座两侧的磨削组件安装座上。

3.根据权利要求2所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,尺寸检测组件设置于粗磨组件和精磨组件之间的磨削组件安装座上。

4.根据权利要求2或3任意一项所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,晶向检测组件与v槽磨削组件设置于底座的同一侧,晶向检测组件置于v槽磨削组件沿棒料进给方向的前方。

5.根据权利要求4所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,底座设置为长方形结构,磨削组件安装座与底座形成“十”字型结构。

6.根据权利要求4所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,底座上部设置有电机、丝杠和导轨,电机的输出端与丝杠的一端连接,进给机构由电机、丝杠驱动沿导轨来回滑动。

7.根据权利要求2、5或6所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,自动上下料装置设置于底座的上料侧,底座远离上料一侧的端部设有自动润滑系统用于对整个设备进行自动润滑,自动润滑系统与控制系统通讯连接。

8.根据权利要求7所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,自动上下料装置设置为六轴机器人自动上下料装置,六轴机器人自动上下料装置的外周设置有一侧开口的防护栏。

9.根据权利要求7所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,还包括用于对整个设备冷却降温的水冷却系统,水冷却系统与控制系统通讯连接。

10.根据权利要求9所述的半导体全自动滚圆机,其特征在于,水冷却系统设置于底座的上料侧,水冷却系统与自动上下料装置分别设置于底座的两侧。

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