一种真空镀膜结构的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，更具体地说，本实用涉及一种真空镀膜结构。

背景技术：

真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。现在国内工厂应用的大部分是蒸发镀膜,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。

但是现有技术在实际使用时，由于蒸发的离子在空气中的分布不均匀,在零件靠近靶材的一面镀的膜会比较厚,背离靶材的部分镀的膜就比较薄,导致镀膜不均，影响产品质量的情况。

技术实现要素：

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种真空镀膜结构，本实用新型所要解决的技术问题是：镀膜不均匀影响产品的质量。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜结构，包括设备壳体，所述设备壳体的底部固定连接有底座，所述设备壳体的内部活动设有传动杆，所述传动杆通过轴承转动连接在底座内壁的底部，所述传动杆的表面通过连接杆分别固定连接有上固定圈和下固定圈，所述下固定圈的顶部通过轴承转动连接有支撑杆，所述支撑杆的顶部通过轴承转动连接有转动盘，所述转动盘的中部通过轴承转动连接有挂件杆，所述挂件杆的顶部固定连接有齿轮，所述齿轮的表面活动连接有齿圈，所述齿圈固定连接在下固定圈的顶部，所述底座相对应转动盘位置的内壁开设有齿牙槽，且齿牙槽的内壁与转动盘的表面活动连接。

使得当传动杆通过连接杆带动下固定圈转动时，会使得下固定圈通过支撑杆带动转动盘以传动杆为转轴转动，且转动盘的表面与齿牙槽的内壁啮合，使得当转动盘以支撑杆为转轴转动时会自转，且使得转动盘带动挂件杆分别同时以支撑杆和挂件杆为转轴转动，从而使得对挂件杆的镀膜更均匀，且当挂件杆以支撑杆为转轴转动时，会带动齿轮与齿圈的内壁啮合，从而使得当传动杆带动下固定圈转动时，会使得挂件杆在分别以支撑杆和挂件杆为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀。

在一个优选地实施方式中，所述设备壳体的前侧面通过合页铰接有开关门，且设备壳体的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出轴贯穿并延伸至设备壳体的内部，所述驱动电机输出轴的底部与传动杆的顶部固定连接，使得传动杆可由驱动电机驱动，且通过设备壳体配合底座和开关门使得设备壳体的内部可形成密闭空间。

在一个优选地实施方式中，所述齿圈的内壁开设有齿槽，且齿槽的内壁与齿轮的表面啮合，使得当转动盘带动挂件杆以支撑杆为转轴转动时，通过齿轮与齿圈的内壁啮合，使得挂件杆在以支撑杆为转轴转动的同时自转。

在一个优选地实施方式中，所述转动盘的数量为六个，且六个转动盘呈环形设置在下固定圈的顶部，所述挂件杆的数量为二十四个，每六个挂件杆为一组，四组所述挂件杆呈环形设置在转动盘的中部，使得通过呈环形设置在下固定圈顶部的转动盘配合呈环形设置在转动盘中部的挂件杆，使得可以在下固定圈的顶部设置更多的挂件杆，且每个挂件杆表面的待镀膜件均能均匀的镀膜，从而使得大大的提高了下固定圈顶部的空间利用率，从而提高了产品的生产效率。

在一个优选地实施方式中，所述转动盘的表面开设有齿牙，且齿牙的表面与齿牙槽的内壁啮合，使得当下固定圈通过支撑杆带动转动盘转动时，会使得转动盘的表面与底座的内壁啮合，使得转动盘在以传动杆为转轴转动的同时并自转，从而带动挂件杆分别以开关门和支撑杆为转轴转动。

在一个优选地实施方式中，所述下固定圈的顶部开设有多个容纳槽，所述容纳槽的内壁转动连接有滚珠，且三分之一滚珠位于容纳槽的外部，使得三分之二的滚珠位于容纳槽内，可以通过容纳槽对滚珠进行限制，防止滚珠脱落。

在一个优选地实施方式中，所述底座相对应滚珠的内壁开设有环形导轨，且环形导轨的内壁与滚珠的表面滑动连接，使得通过滚珠可以对滚珠的移动进行限定，使得下固定圈可以在底座的内壁平稳转动。

在一个优选地实施方式中，所述上固定圈的表面固定连接有轴承圈，所述挂件杆的顶部通过轴承转动连接在轴承圈的内壁，使得轴承圈配合挂件杆顶部的轴承，使得可以满足挂件杆的转动，且通过轴承圈配合挂件杆顶部的轴承可对挂件杆起支撑作用。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过传动杆带动下固定圈转动时，使得下固定圈通过支撑杆带动转动盘以传动杆为转轴转动，配合齿牙槽使得转动盘带动挂件杆分别同时以支撑杆和挂件杆为转轴转动，从而使得对挂件杆的镀膜更均匀，通过齿轮与齿圈的内壁啮合，使得挂件杆在分别以支撑杆和挂件杆为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀，从而实现镀膜更均匀，且产品质量得到提高的目的，与现有技术相比，镀膜更均匀，使得产品质量得到提高；

2、通过呈环形设置在下固定圈顶部的转动盘以及呈环形设置在转动盘中部的挂件杆，使得每个挂件杆可以分别以支撑杆和挂件杆为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得挂件杆表面的待镀膜件均能均匀的镀膜，从而使得大大的提高了下固定圈顶部的空间利用率，从而实现空间利用率高，提高产品生产效率的目的，与现有技术相比，空间利用率高，从而提高了产品的生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构正剖图。

图2为本实用新型图1的a部结构放大图。

图3为本实用新型的整体结构俯剖图。

图4为本实用新型的下固定圈结构俯视图。

图5为本实用新型的支撑圈结构示意图。

附图标记为：1、设备壳体；2、底座；3、开关门；4、驱动电机；5、传动杆；6、上固定圈；7、下固定圈；8、支撑杆；9、转动盘；10、挂件杆；11、齿轮；12、齿圈；13、齿牙槽；14、容纳槽；15、滚珠；16、环形导轨；17、轴承圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了一种真空镀膜结构，包括设备壳体1，所述设备壳体1的底部固定连接有底座2，所述设备壳体1的内部活动设有传动杆5，所述传动杆5通过轴承转动连接在底座2内壁的底部，所述传动杆5的表面通过连接杆分别固定连接有上固定圈6和下固定圈7，所述下固定圈7的顶部通过轴承转动连接有支撑杆8，所述支撑杆8的顶部通过轴承转动连接有转动盘9，所述转动盘9的中部通过轴承转动连接有挂件杆10，所述挂件杆10的顶部固定连接有齿轮11，所述齿轮11的表面活动连接有齿圈12，所述齿圈12固定连接在下固定圈7的顶部，所述底座2相对应转动盘9位置的内壁开设有齿牙槽13，且齿牙槽13的内壁与转动盘9的表面活动连接。

所述设备壳体1的前侧面通过合页铰接有开关门3，且设备壳体1的顶部固定连接有驱动电机4，所述驱动电机4的输出轴贯穿并延伸至设备壳体1的内部，所述驱动电机4输出轴的底部与传动杆5的顶部固定连接。

所述齿圈12的内壁开设有齿槽，且齿槽的内壁与齿轮11的表面啮合。所述转动盘9的数量为六个，且六个转动盘9呈环形设置在下固定圈7的顶部，所述挂件杆10的数量为二十四个，每六个挂件杆10为一组，四组所述挂件杆10呈环形设置在转动盘9的中部。

所述转动盘9的表面开设有齿牙，且齿牙的表面与齿牙槽13的内壁啮合。

所述下固定圈7的顶部开设有多个容纳槽14，所述容纳槽14的内壁转动连接有滚珠15，且三分之一滚珠15位于容纳槽14的外部。

所述底座2相对应滚珠15的内壁开设有环形导轨16，且环形导轨16的内壁与滚珠15的表面滑动连接。

所述上固定圈6的表面固定连接有轴承圈17，所述挂件杆10的顶部通过轴承转动连接在轴承圈17的内壁。

如图1-5所示，实施方式具体为：在使用时，当传动杆5通过连接杆带动下固定圈7转动时，会使得下固定圈7通过支撑杆8带动转动盘9以传动杆5为转轴转动，且转动盘9的表面与齿牙槽13的内壁啮合，使得当转动盘9以支撑杆8为转轴转动时会自转，且使得转动盘9带动挂件杆10分别同时以支撑杆8和挂件杆10为转轴转动，从而使得对挂件杆10的镀膜更均匀，且当挂件杆10以支撑杆8为转轴转动时，会带动齿轮11与齿圈12的内壁啮合，从而使得当传动杆5带动下固定圈7转动时，会使得挂件杆10在分别以支撑杆8和挂件杆10为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀，该实施方式具体解决了现有技术中存在的镀膜不均匀影响产品的质量问题；

通过呈环形设置在下固定圈7顶部的转动盘9配合呈环形设置在转动盘9中部的挂件杆10，使得可以在下固定圈7的顶部设置更多的挂件杆10，且每个挂件杆10表面的待镀膜件均能均匀的镀膜，从而使得大大的提高了下固定圈7顶部的空间利用率，从而提高了产品的生产效率，通过轴承圈17配合挂件杆10顶部的轴承，使得可以满足挂件杆10的转动，且通过轴承圈17配合挂件杆10顶部的轴承可对挂件杆10起支撑作用，该实施方式具体解决了现有技术中存在的空间利用率低问题。

本实用新型工作原理：

参照说明书附图1-5，通过传动杆5带动下固定圈7转动时，使得下固定圈7通过支撑杆8带动转动盘9以传动杆5为转轴转动，配合齿牙槽13使得转动盘9带动挂件杆10分别同时以支撑杆8和挂件杆10为转轴转动，从而使得对挂件杆10的镀膜更均匀，通过齿轮11与齿圈12的内壁啮合，使得挂件杆10在分别以支撑杆8和挂件杆10为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得镀膜更均匀，从而实现镀膜更均匀，且产品质量得到提高的目的；

参照说明书附图1-5，通过呈环形设置在下固定圈7顶部的转动盘9以及呈环形设置在转动盘9中部的挂件杆10，使得每个挂件杆10可以分别以支撑杆8和挂件杆10为转轴转动的同时并发生着自转，从而使得挂件杆10表面的待镀膜件均能均匀的镀膜，从而使得大大的提高了下固定圈7顶部的空间利用率，从而实现空间利用率高，提高产品生产效率的目的。

最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；

其次：本实用新型公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例可以相互组合；

最后：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。