蒸镀装置的制作方法

1.本技术涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。


背景技术：

2.在oled面板制备过程中，蒸镀工艺其是其中的关键工序。在蒸镀过程中，采用蒸镀掩膜遮挡基材，蒸镀材料从蒸镀掩膜开口蒸镀到对应的基材位置上，但目前由于采用点源和线源的方式，蒸发源与基材之间会产生相对运动，从而导致掩膜和基材之间的间隙会出现蒸镀阴影区域，如果阴影区域过大，会导致像素的混色和色偏问题。
3.因此，目前亟待需要一种蒸镀装置来解决上述问题。


技术实现要素：

4.本技术提供了一种蒸镀装置，以减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
5.本技术实施例提供了一种蒸镀装置，包括：
6.坩埚，用于收容蒸镀材料，所述坩埚的顶部开口沿水平方向的截面为圆形；
7.盖板，盖设于所述坩埚上，所述盖板沿水平方向的截面为圆形，所述盖板沿其径向且由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；
8.所述第一区域设置有与所述盖板同圆心设置的第一蒸发口部；
9.所述第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的所述第二蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的所述第二蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的连线不重合；
10.所述第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的所述第三蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部的间距相等。
11.在一种可能的设计中，所述盖板还包括位于所述第三区域外侧的第四区域，所述第四区域设置有至少一圈等间距分布的多个第四蒸发口部，每圈中的所述第四蒸发口部的圆心到所述盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部的间距相等；
12.所述第四蒸发口部的直径小于所述三蒸发口部的直径的一半，每圈中的相邻两个所述第四蒸发口部的间距小于每圈中的相邻两个所述第三蒸发口部的间距的一半。
13.在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部位于所述盖板的中轴线且与所述盖板垂直，所述第二蒸发口部朝向所述盖板的中轴线倾斜设置，所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部均远离所述盖板的中轴线倾斜设置。
14.在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部的出口截面与水平方向具有第一夹角，所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部的出口截面与水平方向具有第二夹角。
15.在一种可能的设计中，所述第一夹角为30-50度，所述第二夹角为40-60度。
16.在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部位于所述盖板的中轴线且与所述盖板垂
直，所述第二蒸发口部、所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部均与所述盖板垂直。
17.在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部、所述第三蒸发口部和所述第四蒸发口部的出口截面与水平方向具有夹角。
18.在一种可能的设计中，所述第一蒸发口部的内径沿所述蒸镀材料喷出的方向逐渐增大。
19.在一种可能的设计中，所述第二蒸发口部和所述第三蒸发口部的内径沿所述蒸镀材料喷出的方向逐渐减小。
20.在一种可能的设计中，所述坩埚的顶部设置有定位槽，所述盖板设置有定位凸起，所述盖板通过所述定位凸起与所述定位槽的配合与所述坩埚固定。
21.可见，本技术提供的蒸镀装置通过在盖板沿其径向且由内向外依次设置有第一区域、第二区域和第三区域；第一区域设置有与盖板同圆心设置的第一蒸发口部；第二区域设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部，每圈中的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部的圆心到盖板的圆心的连线不重合；第三区域设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部，每圈中的第三蒸发口部的圆心到盖板的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部的间距相等，如此设置可以有效地减小蒸镀的阴影区域，并提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
附图说明
22.图1为本技术实施例提供的蒸镀装置的正视图；
23.图2为本技术实施例提供的蒸镀装置的俯视图；
24.图3为本技术实施例提供的第一蒸发口部的剖面示意图；
25.图4为本技术一个实施例提供的第二蒸发口部的剖面示意图；
26.图5为本技术一个实施例提供的第三蒸发口部的剖面示意图；
27.图6为本技术又一个实施例提供的第一蒸发口部、第二蒸发口部、第三蒸发口部和第四蒸发口部的正视图；
28.图7为本技术又一个实施例提供的第一蒸发口部、第二蒸发口部、第三蒸发口部和第四蒸发口部的正视图。
29.附图标记：
30.x-水平方向；
31.a-第一夹角；
32.b-第二夹角；
33.10-基材；
34.20-掩膜；
35.1-坩埚；
36.11-定位槽；
37.2-盖板；
38.21-第一区域；
39.211-第一蒸发口部；
40.22-第二区域；
41.221-第二蒸发口部；
42.23-第三区域；
43.231-第三蒸发口部；
44.24-第四区域；
45.241-第四蒸发口部；
46.25-定位凸起。
47.此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
具体实施方式
48.以下结合附图及实施例，对本技术进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
49.在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
50.本说明书的描述中，需要理解的是，本技术实施例所描述的“上”、“下”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本技术实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
51.如图1和图2所示，其分别为本技术实施例提供的蒸镀装置的正视图和俯视图。该蒸镀装置包括坩埚1和盖板2，其中：
52.坩埚1用于收容蒸镀材料，坩埚1的顶部开口沿水平方向x的截面为圆形；盖板2盖设于坩埚1的顶部开口上，盖板2沿水平方向x的截面为圆形，盖板2沿其径向且由内向外依次设置有第一区域21、第二区域22和第三区域23；第一区域21设置有与盖板2同圆心设置的第一蒸发口部211；第二区域22设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部221，每圈中的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部221的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的连线不重合；第三区域23设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部231，每圈中的第三蒸发口部231的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距相等。如此设置，一方面减小了阴影区域的出现，另一方面提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
53.在一些实施方式中，盖板2还包括位于第三区域23外侧的第四区域24，第四区域24设置有至少一圈等间距分布的多个第四蒸发口部241，每圈中的第四蒸发口部241的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第四蒸发口部241的间距相等；第四蒸发口部241的直径小于三蒸发口部的直径的一半，每圈中的相邻两个第四蒸发口部241的间距小于
每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距的一半。如此设置，以便于蒸镀材料通过掩膜20后在基材10上形成具有均匀厚度的有机膜，即蒸镀材料可以为有机材料。
54.在一些实施方式中，第一蒸发口部211位于盖板2的中轴线且与盖板2垂直，第二蒸发口部221朝向盖板2的中轴线倾斜设置，第三蒸发口部231和第四蒸发口部241均远离盖板2的中轴线倾斜设置。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度更加均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。
55.请参阅图4和图5，第二蒸发口部221的出口截面与水平方向x具有第一夹角a，第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面与水平方向x具有第二夹角b。在一些实现方案中，第一夹角a为30-50度，第二夹角b为40-60度。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度进一步均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。
56.在另一些实施方式中，如图6和图7所示，第一蒸发口部211位于盖板2的中轴线且与盖板2垂直，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241均与盖板2垂直。此种方式也能使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度更加均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。但是，该实施方式的效果相比图4和图5所示实施方式的效果稍差一些。
57.请继续参阅图6，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面与水平方向x具有夹角。如此设置，以使在基材10上蒸镀的有机材料的成型厚度进一步均匀，且同时能够减小阴影区域的出现。当然，第二蒸发口部221、第三蒸发口部231和第四蒸发口部241的出口截面也可以与水平方向x平行。
58.在一些实施方式中，第一蒸发口部211的内径沿蒸镀材料喷出的方向(可参见图3中箭头方向)逐渐增大。如此设置，可以提高基材10中心处蒸镀材料成型厚度的均匀性。
59.在一些实施方式中，第二蒸发口部221和第三蒸发口部231的内径沿蒸镀材料喷出的方向(可参见图4和图5中箭头方向)逐渐减小。如此设置，以减小相邻的第二蒸发口部221和第三蒸发口部231喷出的蒸镀材料相互影响，从而可以使基材10上的有机膜的成型厚度更加均匀。此外，第四蒸发口部241的内径也可以设置为沿蒸镀材料喷出的方向逐渐增大，如此也能减小相邻的第二蒸发口部221和第四蒸发口部241喷出的蒸镀材料相互影响，从而可以使基材10上的有机膜的成型厚度更加均匀。
60.在一些实施方式中，请继续参阅图2，坩埚1的顶部设置有定位槽11，盖板2设置有定位凸起25，盖板2通过定位凸起25与定位槽11的配合与坩埚1固定，如此可以增加盖板2固定的稳定性，同时也能提高盖板2易拆卸的效果。
61.综上，本技术实施例提供的蒸镀装置通过在第一区域21设置有与盖板2同圆心设置的第一蒸发口部211；第二区域22设置有至少三圈等间距分布的多个第二蒸发口部221，每圈中的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第二蒸发口部221的间距相等，相邻两圈的第二蒸发口部221的圆心到盖板2的圆心的连线不重合；第三区域23设置有至少一圈等间距分布的多个第三蒸发口部231，每圈中的第三蒸发口部231的圆心到盖板2的圆心的距离相等，每圈中的相邻两个第三蒸发口部231的间距相等。如此设置，一方面减小了阴影区域的出现，另一方面提高蒸镀材料成型厚度的均匀性。
62.以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术保护的范围之内。