一种传输装置的制作方法

本发明属于传输设备技术领域，特别是涉及一种传输装置。

背景技术：

板式pecvd(plasmaenhancedchemicalvaperdeposition，等离子体增强型化学气相沉积)设备是晶体硅太阳能perc电池(passivatedemitterandrearcell，发射极和背面钝化电池)生产的主要核心设备，尤其是从2015年开始解决掉量产电池可靠性问题之后，perc电池成为晶硅高效太阳能电池的主流，在perc电池的工艺路线中，采用板式pecvd设备进行氧化铝工艺制备是最成熟的方式。

板式pecvd设备是采用石墨框载具来承载晶体硅片，石墨框在设备的各个工艺腔之间通过滚轮控制前进，设备是链式连续生产方式，石墨框尺寸为1.1米*0.85米左右(前进方向长约0.85米，宽度约1.1米)，在前进方向上单个石墨框下方每边有4个滚轮转动来传输石墨框，设备传输区长约10米左右，通过滚轮水平调整，对边滚轮同轴控制，滚轮直线精度调整，来控制石墨框的稳定传输，石墨框卡框的概率仍在0.0125％左右，按照一个石墨框的ct(cycletime，周期循环时间)为27秒，单台0.0125％的卡框概率，2.5天卡框一次，如果10台设备的话，平均一天卡框4次，卡框后，需要开工艺腔进行处理，每次卡框处理时间为20分钟至2小时不等，可见，这严重影响了产品的品质和设备的嫁动率。

石墨框在传输轨道上传输，卡框的根本原因是左右两个轨道上滚轮与石墨框之间的摩擦力f1和f2有差异，石墨框在传输过程中转向导致偏离轨道，石墨框在前进方向发生转向偏离后，框前角位置进入两个滚轮之间的间隙，导致石墨框卡在滚轮之间造成卡框。由于是连续生产，卡框后，后续石墨框会撞到前面的石墨框，并且后续石墨框内硅片也会容易出不良品，卡框后需要开真空工艺腔进行处理卡住的石墨框，所需要时间较长，破真空的过程中，石墨框上产品也容易造成不良。

技术实现要素：

为解决上述问题，本发明提供了一种传输装置，能够快速、低成本的降低卡框概率，减少卡框引起的产品质量不良的问题，提高设备嫁动率，降低生产成本。

本发明提供的一种传输装置，包括承载主体，所述承载主体的两侧对称的设置有多个用于对传输对象进行传输的滚轮，相邻的所述滚轮之间的空隙内均设置有用于防止所述传输对象进入所述空隙的限位部件。

优选的，在上述传输装置中，所述限位部件和与其相邻的所述滚轮之间的间距范围为2mm至10mm。

优选的，在上述传输装置中，所述限位部件的侧边靠近前端的部位与所述传输对象的边缘之间的距离为1mm，所述限位部件的侧边靠近后端的部位与所述传输对象的边缘之间的距离为2mm。

优选的，在上述传输装置中，所述限位部件与所述承载主体的腔壁之间的距离范围为1mm至5mm。

优选的，在上述传输装置中，所述限位部件的高度比所述传输对象高1mm至5mm。

优选的，在上述传输装置中，所述限位部件为长方体挡块。

优选的，在上述传输装置中，利用螺栓固定所述限位部件于所述承载主体上。

优选的，在上述传输装置中，所述长方体挡块为铝质长方体挡块。

通过上述描述可知，本发明提供的上述传输装置，由于相邻的所述滚轮之间的空隙内均设置有用于防止所述传输对象进入所述空隙的限位部件，因此传输对象就不会进入滚轮之间导致无法继续向前移动，从而该方案能够快速、低成本的降低卡框概率，减少卡框引起的产品质量不良的问题，提高设备嫁动率，降低生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的一种传输装置的实施例的示意图；

图2为本发明提供的一种传输装置与周围部件之间位置分布细节的示意图。

具体实施方式

本发明的核心是提供一种传输装置，能够快速、低成本的降低卡框概率，减少卡框引起的产品质量不良的问题，提高设备嫁动率，降低生产成本。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明提供的一种传输装置的实施例如图1所示，图1为本发明提供的一种传输装置的实施例的示意图，该传输装置包括承载主体1，承载主体1的两侧对称的设置有多个用于对传输对象4进行传输的滚轮2，相邻的滚轮2之间的空隙内均设置有用于防止传输对象4进入空隙的限位部件3。

需要说明的是，该传输对象4可以但不限于为石墨框，且该传输对象4的两端搭在滚轮2上面，在滚轮2的滚动带动下，该传输对象4向前移动，正是由于该方案中在相邻的滚轮2之间空隙内设置有限位部件3，因此在传输对象4的移动过程中，尽管会出现轻微的方向偏离，也不会进入滚轮2之间的空隙中了，因为这次有了限位部件3的进行限位，能够快速纠正传输对象4的前进方向，避免出现卡框现象，有效提高了工作效率。还需要说明的是，这种限位部件3的具体形状不限，可以是图1中所示的长方体形状，也可以是其他形状，如正方体等等，当然尺寸以及与周围其他部件之间的距离也不限定，只要能够起到有效的限位作用即可。

通过上述描述可知，本发明提供的上述传输装置的实施例中，由于相邻的滚轮之间的空隙内均设置有用于防止传输对象进入空隙的限位部件，因此传输对象就不会进入滚轮之间导致无法继续向前移动，从而该方案能够快速、低成本的降低卡框概率，减少卡框引起的产品质量不良的问题，提高设备嫁动率，降低生产成本。

在上述传输装置的一个具体实施例中，参考图2，图2为本发明提供的一种传输装置与周围部件之间位置分布细节的示意图，该限位部件3和与其相邻的滚轮2之间的间距范围可以为2mm至10mm，需要说明的是，之所以选取此范围，是因为如果这个间距太小的话滚轮和限位部件可能会蹭到一起影响使用，而如果间距太大的话，传输对象的前角则有可能进入滚轮与限位部件之间的间隙中被卡住。进一步的，该间距可以优选为5mm，当然还可以根据实际需要选用其他间距，此处并不限制。

在上述传输装置的另一个具体实施例中，限位部件3的侧边靠近前端的部位6与传输对象的边缘之间的距离为1mm，限位部件的侧边靠近后端的部位7与传输对象的边缘之间的距离为2mm。需要说明的是，后端距离比前端距离更大，这样传输对象的前角撞到后端位置，也能通过这种前进距离上的不断缩短，将传输对象的方位纠正过来。当然这种距离也是一个优选方案，还可以根据实际需要选用其他距离的组合，此处并不限制。

在上述传输装置的又一个具体实施例中，限位部件3与承载主体1的腔壁5之间的距离范围可以为1mm至5mm，该距离的设置是为了保证限位部件3不会碰到腔壁5，当然还可以选用其他距离，此处并不限制。

在上述传输装置的一个优选实施例中，限位部件3的高度可以比传输对象4高1mm至5mm，这样能够起到更为有效的限位作用，但是该限位部件3的高度也不能过高，因为过高的话可能不容易安装进去。

在上述传输装置的另一个优选实施例中，限位部件3可以为长方体挡块，这种长方体挡块更容易实现限位作用，安装到滚轮之间也更加合适，但是还可以根据实际需要选用其他形状的限位部件，此处并不限制。

在上述传输装置的又一个优选实施例中，继续参考图2，可以利用螺栓8固定限位部件3于承载主体1上，该螺栓8的数量可以优选为2个，但还可以根据实际需要选用其他数量，此处并不限制，只要能够将限位部件3牢固的固定于承载主体1上即可，就能够保证工作过程中该限位部件3不会与周围的各个部件产生接触而影响设备运行。

本领域技术人员可以理解的是，上述长方体挡块可以优选为铝质长方体挡块，这种铝质长方体挡块尤其适用于pecvd的情况，因为pecvd工艺中会沉积氧化铝，因此将该长方体挡块的材质选为铝的话，就不会给pecvd工艺引入其他杂质了。当然还可以根据实际需要选用其他材质，如不锈钢、铜、石墨等等，此处并不构成限制。

以输送石墨框的情况为例，对上述传输装置的效果进行了验证，本实施例的传输装置的卡框率只有现有方案的1/8，并且由于限位部件的存在，偶尔卡框时也不容易卡死，基本可以通过操控设备后退石墨框恢复，单次处理时间减少一倍，不良品数量减少一倍。具体的，现有的传输装置每天10台设备卡框次数为4次，卡框概率为0.0125％，单次卡框后处理时间为20至120分钟，平均45分钟，卡框造成故障率为1.25％，单次不良品数量为20片至120片，平均为45片，而采用本实施例的上述传输装置之后，每台10台设备卡框次数为0.5次，卡框概率为0.00156％，单次卡框后处理时间为平均20分钟，卡框造成的故障率为0.07％，单次不良品数量为20片至50片，平均为20片，这样每年每台设备可以直接节省成本为1.73万元。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。