技术总结
本发明涉及碳化硅反射镜改性加工与检测技术领域，具体的来讲是一种碳化硅反射镜改性加工与检测控制系统及方法，通过加工单元对碳化硅反射镜整体打磨，抛光单元的粗抛光、细抛光以及面型改进单元利用磁控溅射镀膜完成碳化硅反射镜的改性加工，每一步骤结束后启动精度检测单元分别采用精度不同的面型检测模块和零位补偿干涉检测模块对碳化硅反射镜的精度进行检测以保证输出质量。度进行检测以保证输出质量。度进行检测以保证输出质量。
技术研发人员：陶春
受保护的技术使用者：南京施密特光学仪器有限公司
技术研发日：2020.11.09
技术公布日：2021/6/24