技术总结
本实用新型涉及镀膜机领域，尤其为一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体，所述箱体右端转动连接有控制柜，所述箱体外侧左端固定连接有气密性检测仪，所述气密性检测仪顶端固定连接有检测管，所述检测管与箱体固定连接，所述箱体内侧右端固定连接有第一电机，所述箱体内侧上端固定连接有固定板，所述第一电机的主轴末端固定连接有螺纹轴，所述螺纹套筒底端固定连接有光学干涉测厚仪，本实用新型中可通过打开第一电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹套筒左右移动，通过PLC和工控机自动控制，可实现靶材镀膜厚度的自动检测，通过PLC和工控机可同时对气密性检测仪操控，实现数据自动化记录，使工作十分方便。使工作十分方便。使工作十分方便。
技术研发人员：乔建栋 黄坚 常洪兴 徐胜
受保护的技术使用者：杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
技术研发日：2020.06.29
技术公布日：2021/2/23