一种用于真空镀膜的双开型挡板结构的制作方法

[0001]
本实用新型涉及真空镀膜领域，更具体的说是涉及一种用于真空镀膜的双开型挡板结构。


背景技术：

[0002]
众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。真空镀膜就是用于给材料表面镀膜的技术。
[0003]
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜有三种形式，分别是蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0004]
真空镀膜设备中，放置被镀基片的基片架根据需要可采用挡板进行遮挡。挡板的作用是阻挡溅射物。目前挡板的启闭主要采用通过铰链向挡板一侧开启的方式，这种单向开启的模式，导致挡板一侧需要预留比较大的空间来供挡板开启，导致真空镀膜设备在使用当中所占空间大。并且挡板面向基片架的一侧长期受到溅射物的溅射，容易被腐蚀，导致挡板的使用寿命低。


技术实现要素：

[0005]
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小真空镀膜设备的使用所需空间，并且能够提高挡板的使用寿命。
[0006]
为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架，还包括有旋转运动输出件、主动轴、从动轴、配合齿轮、挡板以及固定于所述真空镀膜机架上的固定板；
[0007]
所述主动轴与所述从动轴相互平行设置，所述主动轴与所述从动轴均转动连接于所述固定板上，所述主动轴与所述从动轴上均设置有所述配合齿轮，两个所述配合齿轮相互啮合；
[0008]
所述旋转运动输出件安装于所述真空镀膜机架上，所述旋转运动输出件用于带动所述主动轴旋转；
[0009]
所述挡板设置有两个，所述挡板的横截面呈半圆形设置，所述挡板侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，所述主动轴与所述从动轴上分别固定连接有一个所述挡板；
[0010]
所述主动轴带动所述从动轴转动时，两个所述挡板逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开；
[0011]
所述真空镀膜机架包括基片架，所述基片架位于所述挡板下方，所述基片架的两
个侧壁上设置有涂料腔，所述涂料腔内容纳有防腐蚀涂料，所述基片架侧壁上还设置有刷毛层，所述刷毛层上的刷毛一端伸入到所述涂料腔内，另一端伸出所述涂料腔内并向所述挡板相互靠近的方向弯曲，所述挡板相互靠近时，刷毛层将防腐蚀涂料涂覆于挡板上；所述挡板相互分开时，所述刷毛层将挡板上的防腐蚀液刮回到所述刷毛层上。
[0012]
作为本实用新型的进一步改进，所述固定板上设置有传动板和第一传动轮，所述传动板上设置有腰型孔，所述腰型孔的两侧壁上均设置有传动齿，所述传动板上固定有齿条，所述传动板滑动连接于所述固定板上，所述传动板的滑动方向与所述腰型孔的长度方向以及所述齿条的长度方向保持一致；
[0013]
所述第一传动轮与所述旋转运动输出件的输出轴同轴固定连接，所述第一传动轮位于所述腰型孔内，所述第一传动轮的轮齿绕所述第一传动轮的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，所述第一传动轮转动时，依次与所述腰型孔的两侧传动齿啮合；
[0014]
所述主动轴上还设置有第二传动轮，所述第二传动轮与所述齿条啮合。
[0015]
通过这样设置，旋转运动输出件带动第一传动轮旋转，第一传动轮旋转并且其轮齿与腰型孔一侧的传动齿啮合时，带动传动板于固定板上滑动，使得齿条带动主动轴旋转，实现了旋转运动输出件带动旋转轴旋转。并且，由于第一传动轮的轮齿绕所述第一传动轮的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，因此第一传动轮只会与腰型孔一侧的传动齿啮合，第一传动轮不断同向运动时，将带动传动板往复运动，因此旋转运动输出件不需要通过正反转来带动主动轴正反转。并且由于传动板的往复运动行程保持不变，因此通过齿条带动主动轴旋转的角度不变，从而能够使得两个挡板的旋转角度始终不变。相对于旋转运动输出件正反转带动主动轴旋转来说，本实用新型创造所提供的结构能够避免旋转运动输出件反复正反转产生的误差导致两个挡板靠近后留有大间隙或者两个挡板靠近后相互碰撞。
[0016]
作为本实用新型的进一步改进，所述挡板的上下两侧壁上均固定有导向杆，所述导向杆包括有水平段和弯折段，所述水平段与所述挡板固定连接，所述水平段连接所述弯折段的一端向另一个挡板方向延伸，位于所述挡板上方的所述弯折段向上弯折，位于所述挡板下方的所述弯折段向下弯折。
[0017]
通过这样设置，当两个挡板相互靠近时，一个挡板首先进入到另一挡板上设置的两个导向杆之间，并且导向杆的弯折段对挡板具有导向作用，由于挡板仅有一端与主动轴或者从动轴固定，因此挡板另一自由端上通常会存在竖直方向上的错位，该错位过大时会导致两个挡板靠近贴合后于高度方向产生间隙，挡板贴合不紧密。而导向杆的设置使得两个挡板靠近过程中逐渐消除竖直方向上的错位，从而使得挡板贴合后更紧密。
[0018]
作为本实用新型的进一步改进，所述水平段与弯折段所形成的夹角为135
°ꢀ-
160
°
。
[0019]
通过这样设置，夹角超过160
°
，则夹角过大，会限制弯折段的导向范围。夹角小于135
°
，则夹角过小，容易造成挡板导向过程中卡住。
[0020]
作为本实用新型的进一步改进，两个所述挡板上均设置有所述导向杆。
[0021]
通过这样设置，使得两个挡板上的导向杆均能够对另一个挡板起到导向作用，相互作用使得消除两个挡板的竖直间隙更加轻松。
[0022]
作为本实用新型的进一步改进，所述挡板包括有相互连接的上层板和下层板，所述上层板与下层板之间形成容纳腔。
[0023]
通过这样设置，挡板内部中空设置，有利于减小挡板的重量，减少挡板移动产生的惯性力，使得主动轴和从动轴能够带动挡板运动或停止更加轻松。
[0024]
作为本实用新型的进一步改进，所述容纳腔内设置有挡块、卡柱、弹性件以及滑动板，所述挡块固定于所述容纳腔的侧壁上，所述挡块上设置有滑动槽，所述挡块设置有两个，两个所述挡块的滑动槽正对设置；
[0025]
所述滑动板滑动连接于所述容纳腔内，所述容纳腔侧壁上设置有供所述滑动板滑出的开口，所述开口朝向另一挡板，所述滑动板由磁性材料制成，所述滑动板的两侧壁上固定有滑动杆，所述滑动杆分别伸入到两个所述滑动槽内并于所述滑动槽内滑动；
[0026]
所述卡柱固定于所述容纳腔侧壁上，所述弹性件的两端分别与所述卡柱以及所述滑动板连接，所述弹性件用于带动所述滑动板向所述容纳腔内滑动；两个所述挡板相互靠近时，两个所述滑动板于磁性吸力作用下分别从所述容纳腔内滑出并贴合。
[0027]
通过这样设置，当两个挡板相互靠近后，挡板内的滑动板相互吸引，最终吸引力大于弹性件的拉力，滑动板部分从开口滑出，最终两个滑动板相互贴合，挡块上的滑动槽能够避免滑动板整体从开口滑出。当两个挡板靠近后之间仍然存在间隙时，两个滑动板能够自行从容纳腔内滑出从而弥补这种间隙，使得两个挡板合并成没有间隙的整体。
[0028]
作为本实用新型的进一步改进，所述滑动槽的横截面呈“u”字型设置。
[0029]
通过这样设置，使得滑动板不限于直线滑动，滑动杆可根据两个挡板靠近后存在的转角误差自行进行调整，从而使得两个滑动板相互贴合后，滑动板之间不会因为角度不平行而存在间隙。
[0030]
作为本实用新型的进一步改进，所述卡柱至少设置有两个，所述卡柱的排列方向与所述挡块的排列方向相同，所述弹性件的长度方向与所述卡柱的排列方向垂直。
[0031]
通过这样设置，使得滑动板的多处同时受到弹性件的拉力，使得滑动板的滑动根据稳定。
[0032]
作为本实用新型的进一步改进，所述固定板设置有两个，两个所述固定板平行设置，两个所述固定板之间设置有立柱，两个所述固定板通过所述立柱固定连接，所述主动轴与两个所述固定板均转动连接，所述从动轴与两个所述固定板均转动连接，所述配合齿轮位于两个所述固定板之间。
[0033]
通过这样设置，使得主动轴与从动轴的转动更加稳定，并且配合齿轮位于两个固定板之间，有利于保护配合齿轮。
[0034]
本实用新型的有益效果：旋转运动输出件带动主动轴旋转时，主动轴通过配合齿轮带动从动轴同步反向旋转，从而使得两个挡板反向运动，挡板的相互反向运动使得两个挡板拼接成一个圆板或者由一个圆板分开。由于两个挡板同步反向运动，该挡板结构对于挡板任意一侧的空间需求小，有利于减小该真空镀膜设备的使用所需空间。
[0035]
挡板面向基片架的一侧与刷毛层相接触，当两个挡板相互靠近时，由于刷毛的弯曲方向为此时挡板的移动方向，因此刷毛将吸附的防腐蚀涂料涂抹于挡板上，有利于提高挡板的耐腐蚀性，提高挡板的使用寿命。当两个挡板相互分开时，此时刷毛将原涂覆于挡板上的防腐蚀涂料刮下，等待下次两个挡板靠近时再重新涂耐腐蚀涂料，通过这样更换耐腐蚀涂料，有利于进一步提高挡板的耐腐蚀性，从而进一步提高挡板的使用寿命。
附图说明
[0036]
图1为本实用新型的结构示意图；
[0037]
图2为本实用新型的剖视图；
[0038]
图3为第一传动轮与传动板的配合结构示意图；
[0039]
图4为挡板的立体结构示意图；
[0040]
图5为挡板的剖视图。
[0041]
附图标记：1、主动轴；11、第二传动轮；2、从动轴；3、配合齿轮；4、挡板；41、导向杆；411、水平段；412、弯折段；42、上层板；43、下层板； 44、容纳腔；441、开口；45、挡块；451、滑动槽；46、卡柱；47、弹性件； 48、滑动板；49、滑动杆；5、固定板；6、传动板；61、腰型孔；62、传动齿； 63、齿条；7、第一传动轮；8、立柱；9、基片架；91、涂料腔；92、刷毛层。
具体实施方式
[0042]
下面结合附图和实施例，对本实用新型进一步详细说明。其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0043]
参照图1、图2所示，本实施例的一种用于真空镀膜的双开型挡板结构，包括有真空镀膜机架(图中未示出)，还包括有旋转运动输出件(图中未示出)、主动轴1、从动轴2、配合齿轮3、挡板4以及固定板5。
[0044]
参照图1、图2所示，固定板5固定于真空镀膜机架上，固定板5设置有两个，两个固定板5平行设置，两个固定板5之间设置有立柱8，两个固定板5通过立柱8固定连接。主动轴1与从动轴2相互平行设置，主动轴1与从动轴2 均通过轴承转动连接于固定板5上，主动轴1与从动轴2上均设置有配合齿轮3，两个配合齿轮3相互啮合，两个配合齿轮3位于两个固定板5之间，并且立柱8 设置有四个，四个立柱8围设于两个配合齿轮3一周。
[0045]
参照图1、图2所示，真空镀膜机架包括基片架9，基片架9位于挡板4下方，基片架9的两个侧壁上设置有涂料腔91，涂料腔91内容纳有防腐蚀涂料，防腐蚀涂料为改性生漆乳胶漆，基片架9侧壁上还设置有刷毛层92，刷毛层92 上的刷毛一端伸入到涂料腔91内，另一端伸出涂料腔91内并向挡板4相互靠近的方向弯曲，挡板4相互靠近时，刷毛层92将防腐蚀涂料涂覆于挡板4上；挡板4相互分开时，刷毛层92将挡板4上的防腐蚀液刮回到刷毛层92上。
[0046]
参照图1、图2、图3所示，旋转运动输出件为能够提供旋转力的设备，例如旋转电机。旋转运动输出件安装于真空镀膜机架上，旋转运动输出件用于带动主动轴1旋转。旋转运动输出件带动主动轴1的具体结构为：固定板5上设置有传动板6和第一传动轮7，传动板6上设置有腰型孔61，腰型孔61的两侧壁上均设置有传动齿62，传动板6上固定有齿条63，传动板6滑动连接于固定板5上，传动板6的滑动方向与腰型孔61的长度方向以及齿条63的长度方向保持一致。第一传动轮7与旋转运动输出件的输出轴同轴固定连接，第一传动轮7位于腰型孔61内，第一传动轮7的轮齿绕第一传动轮7的中心轴线所形成的圆心角不大于180
°
，第一传动轮7转动时，依次与腰型孔61的两侧传动齿 62啮合以带动传动板6滑动。主动轴1上还设置有第二传动轮11，第二传动轮 11与齿条63啮合，传动板6往复滑动时通过齿
条63和第二传动轮11带动主动轴1正反转。
[0047]
参照图1、图2、图4、图5所示，挡板4设置有两个，挡板4的横截面呈半圆形设置，挡板4侧壁上的曲面与侧壁上的平面之间平滑过渡，主动轴1与从动轴2上分别固定连接有一个挡板4，主动轴1带动从动轴2转动时，两个挡板4逐渐拼接成一个圆板或者由一个圆板逐渐分开。
[0048]
参照图1、图2、图4、图5所示，两个挡板4上均设置有导向杆41，挡板 4的上下两侧壁上均固定有导向杆41，导向杆41包括有水平段411和弯折段412，水平段411与挡板4固定连接，水平段411连接弯折段412的一端向另一个挡板4方向延伸，位于挡板4上方的弯折段412向上弯折，位于挡板4下方的弯折段412向下弯折。水平段411与弯折段412所形成的夹角为135
°-
160
°
。
[0049]
参照图4、图5所示，挡板4包括有相互连接的上层板42和下层板43，上层板42与下层板43之间形成容纳腔44。容纳腔44内设置有挡块45、卡柱46、弹性件47以及滑动板48，挡块45固定于容纳腔44的侧壁上，挡块45上设置有滑动槽451，挡块45设置有两个，两个挡块45的滑动槽451正对设置，滑动槽451的横截面呈“u”字型设置。滑动板48滑动连接于容纳腔44内，容纳腔44侧壁上设置有供滑动板48滑出的开口441，开口441朝向另一挡板4，滑动板48由磁性材料制成，滑动板48的两侧壁上固定有滑动杆49，滑动杆49分别伸入到两个滑动槽451内并于滑动槽451内滑动。
[0050]
参照图4、图5所示，卡柱46固定于容纳腔44侧壁上，卡柱46至少设置有两个，卡柱46的排列方向与挡块45的排列方向相同，弹性件47与卡柱46 一一对应设置，弹性件47为弹簧，弹性件47的两端分别与卡柱46以及滑动板 48连接，弹性件47的长度方向与卡柱46的排列方向垂直，弹性件47用于带动滑动板48向容纳腔44内滑动；两个挡板4相互靠近时，两个滑动板48于磁性吸力作用下分别从容纳腔44内滑出并贴合。
[0051]
工作原理：
[0052]
旋转运动输出件带动第一传动轮7旋转，第一传动轮7旋转并且其轮齿与腰型孔61一侧的传动齿62啮合时，带动传动板6于固定板5上滑动，使得齿条63带动主动轴1旋转，实现了旋转运动输出件带动旋转轴旋转。并且第一传动轮7同向运动，将带动传动板6往复运动，因此旋转运动输出件不需要通过正反转来带动主动轴1正反转。主动轴1通过配合齿轮3带动从动轴2同步反向旋转，从而使得两个挡板4相互反向运动，挡板4的相互反向运动使得两个挡板4拼接成一个圆板或者由一个圆板分开。
[0053]
当两个挡板4相互靠近时，两个挡板4在导向杆41的导向作用下消除两个挡板4的竖直间隙。并且两个挡板4相互靠近后，挡板4内的滑动板48相互吸引，最终吸引力大于弹性件47的拉力，滑动板48部分从开口441滑出，最终两个滑动板48相互贴合。滑动槽451的横截面呈“u”字型设置，使得滑动板 48不限于直线滑动，滑动杆49可根据两个挡板4靠近后存在的转角误差自行进行调整，从而使得两个滑动板48相互贴合后，滑动板48之间不会因为角度不平行而存在间隙，使得两个挡板4合并成没有间隙的整体。
[0054]
当两个挡板4相互靠近时，由于刷毛的弯曲方向为此时挡板4的移动方向，因此刷毛将吸附的防腐蚀涂料涂抹于挡板4上。当两个挡板4相互分开时，此时刷毛将原涂覆于挡板4上的防腐蚀涂料刮下，等待下次两个挡板4靠近时再重新涂耐腐蚀涂料，通过这样更换耐腐蚀涂料，有利于提高挡板4的耐腐蚀性，从而提高挡板4的使用寿命。
[0055]
以上仅是本实用新型的优选实施方式，本实用新型的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本实用新型思路下的技术方案均属于本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。