技术特征：
1.一种便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。2.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒的开口处的上侧壁上设置有通孔，储料盒挡板插设在通孔内。3.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒的开口处的上侧壁、下侧壁上均设置有通孔，储料盒挡板上设置有出料孔，储料盒挡板贯穿上侧壁、下侧壁的通孔。4.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述坩埚设置于坩埚加热单元顶部，加料装置位于坩埚上方。5.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述坩埚加热单元与真空腔体底面的倾斜角度为45～75
°
。6.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒向坩埚方向倾斜，储料盒与真空腔体侧壁的倾斜角度为40～80
°
。7.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒开口端边缘与坩埚边缘平齐，储料盒开口端边缘与坩埚的距离为3～10cm。8.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒盲板通过螺丝及密封圈进行固定密封。9.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述的挡板拉杆为金属拉杆，挡板拉杆的材质为镍。10.如权利要求1所述的便捷加料的真空镀膜设备，其特征在于，所述储料盒、拉杆套筒通过密封焊接的方式固定于真空腔体侧壁。
技术总结
本实用新型涉及一种便捷加料的真空镀膜设备，包括真空腔体、坩埚、坩埚加热单元和穿过真空腔体侧壁的加料装置；所述加料装置包括储料盒、储料盒挡板、挡板拉杆、磁性导环和固定于真空腔体侧壁上的拉杆套筒；储料盒位于真空腔体内的一端设有开口，储料盒位于真空腔体外的一端由储料盒盲板密封；所述储料盒的开口处设置有控制开口开合的储料盒挡板，挡板拉杆下端连接于储料盒挡板，挡板拉杆上端连接于拉杆套筒，拉杆套筒外表面设置有磁性导环。本实用新型提供的便捷加料的真空镀膜设备通过磁性导环的磁性牵引金属挡板拉杆，进而移动储料盒挡板完成自主加料，显著延长了设备破空开腔周期，提高了设备利用效率，保证了连续生产，降低了生产成本。了生产成本。了生产成本。
技术研发人员：任夫洋 苏建 崔庆尚 陈吉慧 郑兆河
受保护的技术使用者：山东华光光电子股份有限公司
技术研发日：2020.12.18
技术公布日：2021/9/7