技术特征：
1.一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，用于实现中频电源在至少两个阴极之间的切换，其特征在于：该自动切换装置包括与所述阴极的数量相对应的动力驱动装置，所述动力驱动装置具有电极块，所述电极块可在所述动力驱动装置的驱动下位移，所述中频电源具有中频电源电极块，所述中频电源电极块外接中频电源，所述阴极具有阴极电极块，所述电极块可在所述动力驱动装置的驱动下位移实现所述中频电源电极块与所述阴极电极块之间的导通或断开，以使至少两个所述阴极可在各自的所述动力驱动装置的驱动下单独与所述中频电源的导通或断开，实现所述中频电源在所述阴极之间的切换。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述动力驱动装置通过连接杆与所述电极块相连接，所述连接杆和所述电极块之间设置有绝缘杆。3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述绝缘杆和所述电极块之间设置有弹性件。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述自动切换装置布置在一安全护罩内，所述安全护罩的底部设置有安全隔离板，所述动力驱动装置、所述中频电源电极块以及所述阴极电极块均布置在所述安全护罩和所述安全隔离板所构成的围合防护区域内。5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述中频电源电极块以及所述阴极电极块的接线柱均布置在所述安全隔离板的外侧与所述围合防护区域相隔离。6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述接线柱外部设置有绝缘环。7.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述安全隔离板下方的所述安全护罩上开设有用于引入引出外部电缆的线缆孔。8.根据权利要求4所述的一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，其特征在于：所述安全护罩的至少一侧罩体设置为透明绝缘板。
技术总结
本实用新型涉及一种真空镀膜设备用中频电源自动切换装置，包括与所述阴极的数量相对应的动力驱动装置，所述动力驱动装置具有电极块，所述电极块可在所述动力驱动装置的驱动下位移，所述中频电源具有中频电源电极块，所述中频电源电极块外接中频电源，所述阴极具有阴极电极块，所述电极块可在所述动力驱动装置的驱动下位移实现所述中频电源电极块与所述阴极电极块之间的导通或断开，以使至少两个所述阴极可在各自的所述动力驱动装置的驱动下单独与所述中频电源的导通或断开，实现所述中频电源在所述阴极之间的切换。本实用新型的优点是：可以提高磁控溅射设备配置的中频电源的利用率；可以降低磁控溅射设备的制造成本。可以降低磁控溅射设备的制造成本。可以降低磁控溅射设备的制造成本。
技术研发人员：靳伟 钱跃兵 余海春 戴秀海
受保护的技术使用者：光驰科技（上海）有限公司
技术研发日：2020.12.22
技术公布日：2021/11/2