一种真空镀膜机观察窗的制作方法

文档序号:28332655发布日期:2022-01-05 09:36阅读:292来源:国知局
一种真空镀膜机观察窗的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体涉及一种真空镀膜机观察窗。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指在较高真空度下进行镀膜的镀膜机,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种,主要是分成蒸发和溅射两种真空镀膜机的观察窗用于对内部材料进行观测,但因镀膜机内的温度较高观察窗的内外温差较大,观察窗的观测镜面受到雾化影响不能看到镀膜机内部的情况,且观察窗密封在镀膜机内需进行清洁时要将镀膜机进行停机,严重影响工作效率且带来损失,针对上述问题我们提出一种真空镀膜机观察窗,可在不对镀膜机进行停机的前提下对观察窗的观察镜面进行清理,避免雾化影响观察镜面使得观察窗失去作用。


技术实现要素:

3.有鉴于此,本实用新型提供一种真空镀膜机观察窗,可以有效对观察镜面进行擦拭,防止内外温差影响镜面产生雾化影响对真空镀膜机内部反应的观察。
4.为解决上述技术问题,本实用新型提供一种真空镀膜机观察窗,包括观察窗的本体,所述本体的一侧下部设置有第一观察镜面,所述本体的另一侧下部设置有第二观察镜面,所述本体的上部内壁上设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的下部连接有横向推杆,所述横向推杆的两侧通过伸缩机构连接有旋接板,所述旋接板上连接有固定板,所述固定板上通过连轴板连接有滚刷,所述横向推杆两侧且在第一观察镜面与第二观察镜面的上部设置有铰接桩,所述铰接桩内设置有固定轴,所述固定轴上连接有斜向挡板。
5.进一步的,所述电动伸缩杆固定连接连接在本体的上侧内壁上,所述电动伸缩杆的输出轴固定连接在横向推杆的上部。
6.进一步的,所述横向推杆的一侧两端设置有连接杆,所述连接杆上设置有限位滑块,所述限位滑块连接在限位滑槽内,所述限位滑槽设置在本体的内壁上。
7.进一步的,所述伸缩机构包括设置在横向推杆内部的伸缩腔,设置在伸缩腔内壁上的滑动槽,设置在滑动槽内的滑动块,连接在滑动块上的缓冲杆,设置在缓冲杆一侧且在伸缩腔内部的弹性结构。
8.进一步的,所述缓冲杆的一侧与旋接板相连接,所述旋接板一侧设置有螺纹槽,所述缓冲杆上设置有与螺纹槽相适应的螺纹连接杆。
9.进一步的,所述铰接桩包括设置在第一观察镜面与第二观察镜面上的支撑板,设置在支撑板一侧的挡板,连接在支撑板上的固定轴,设置在固定轴上的外轴,设置在外轴内部且连接在固定轴上的扭簧,设置在外轴两侧且与固定轴活动连接的斜线挡板,所述扭簧与斜向挡板相连接。
10.本实用新型的上述技术方案的有益效果如下:
11.本体设置在真空镀膜机上有利于对其内部进行观察的位置,且本体与真空镀膜机
密封连接,本体上设置的第一观察镜面与第二观察镜面皆为隔热材料,避免镀膜机内的高温影响观察镜面的使用,当观察镜面的内外温度差异较大造成镜面雾化无法看清镀膜机内部情况时,通过电动伸缩杆带动横向推杆向下运行,横向推杆两侧设置的伸缩机构将旋接板向外推出,使得旋接板上连接的固定板以及滚刷对观察镜面形成有效接触,从而将观察镜面上的雾气擦除确保观察效果,设置在观察镜面上部,且位于横向推杆两侧的铰接桩通过铰接的斜向挡板确保伸缩机构连接的滚刷能有效与观察镜面接触,具体的铰接桩对斜向挡板进行铰接且因斜向挡板为倾斜设置,使得斜向挡板在铰接桩的作用下在伸缩机构两侧呈扩大状倾斜,确保伸缩机构及其连接的滚刷处于斜向挡板内侧,以此保证横向推杆下潜时滚刷沿斜向挡板下沉收缩,从而进入观察镜面之间且通过伸缩机构确保滚刷对观察镜面上的雾气形成有效擦除。
12.本实用新型可以有效对观察镜面进行擦拭,防止内外温差影响镜面产生雾化影响对真空镀膜机内部反应的观察。
附图说明
13.图1为本实用新型的正视剖视图;
14.图2为本实用新型的伸缩机构示意图;
15.图3为本实用新型容的铰接桩结构示意图。
16.1、本体;2、第一观察镜面;3、第二观察镜面;4、电动伸缩杆;5、横向推杆;6、旋接板;7、固定板;8、滚刷;9、铰接桩;10、固定轴;11、斜向挡板;12、限位滑槽;13、伸缩腔;14、滑动槽;15、滑动块;16、缓冲杆;17、弹性结构;18、支撑板;19、挡板;20、外轴;21、扭簧。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例的附图1

3,对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1

3所示:一种真空镀膜机观察窗,包括观察窗的本体1,所述本体1的一侧下部设置有第一观察镜面2,所述本体1的另一侧下部设置有第二观察镜面3,所述本体1的上部内壁上设置有电动伸缩杆4,所述电动伸缩杆4的下部连接有横向推杆5,所述横向推杆5的两侧通过伸缩机构连接有旋接板6,所述旋接板6上连接有固定板7,所述固定板7上通过连轴板连接有滚刷8,所述横向推杆5两侧且在第一观察镜面2与第二观察镜面3的上部一侧设置有铰接桩9,所述铰接桩9内设置有固定轴10,所述固定轴10上连接有斜向挡板11,具体而言本体设置在真空镀膜机上有利于对其内部进行观察的位置,且本体与真空镀膜机密封连接,本体上设置的第一观察镜面与第二观察镜面皆为隔热材料,避免镀膜机内的高温影响观察镜面的使用,当观察镜面的内外温度差异较大造成镜面雾化无法看清镀膜机内部情况时,通过电动伸缩杆带动横向推杆向下运行,横向推杆两侧设置的伸缩机构将旋接板向外推出,使得旋接板上连接的固定板以及滚刷对观察镜面形成有效接触,从而将观察镜面上的雾气擦除确保观察效果,设置在观察镜面上部,且位于横向推杆两侧的铰接桩通过铰接的斜向挡板确保伸缩机构连接的滚刷能有效与观察镜面接触,具体的铰接桩对斜向挡板
进行铰接且因斜向挡板为倾斜设置,使得斜向挡板在铰接桩的作用下在伸缩机构两侧呈扩大状倾斜,确保伸缩机构及其连接的滚刷处于斜向挡板内侧,以此保证横向推杆下潜时滚刷沿斜向挡板下沉收缩,从而进入观察镜面之间且通过伸缩机构确保滚刷对观察镜面上的雾气形成有效擦除。
19.根据本实用新型的一个实施例,如图1所示,所述电动伸缩杆4固定连接连接在本体1的上侧内壁上,所述电动伸缩杆4的输出轴固定连接在横向推杆5的上部,具体而言当需要通过滚刷对观察镜面的雾气进行擦除时,通过设置在外部的控制开关对电动伸缩杆进行控制,通过电动伸缩杆带动横向推杆下潜,以此对观察镜面进行擦拭。
20.根据本实用新型的一个实施例,如图1所示,所述横向推杆5的一侧两端设置有连接杆,所述连接杆上设置有限位滑块,所述限位滑块连接在限位滑槽12内,所述限位滑槽12设置在本体1的内壁上,具体而言横向推杆的一侧在靠近限位滑槽一面(因方位原因图中没有显示)设置有连接杆,连接杆的一端固定连接在横向推杆侧面,另一端通过限位滑块活动连接在限位滑槽内,以此对横向推杆进行导向限位。
21.根据本实用新型的一个实施例,如图2所示,所述伸缩机构包括设置在横向推杆5内部的伸缩腔13,设置在伸缩腔13内壁上的滑动槽14,设置在滑动槽14内的滑动块15,连接在滑动块15上的缓冲杆16,设置在缓冲杆16一侧且在伸缩腔13内部的弹性结构17,具体而言伸缩腔内设置的滑动槽对滑动块起到限位及导向作用,间接对缓冲杆起到限位导向的作用,且在弹性结构的作用下缓冲杆产生推力,以此带动旋接板及滚刷对观察镜面进行擦拭。
22.根据本实用新型的一个实施例,如图2所示,所述缓冲杆16的一侧与旋接板6相连接,所述旋接板6一侧设置有螺纹槽,所述缓冲杆16上设置有与螺纹槽相适应的螺纹连接杆,具体而言旋接板上设置的螺纹槽与缓冲杆上设置的螺纹连接杆相连接方便更换。
23.根据本实用新型的一个实施例,如图3所示,所述铰接桩9包括设置在第一观察镜面2与第二观察镜面3上的支撑板18,设置在支撑板18一侧的挡板19,连接在支撑板18上的固定轴10,设置在固定轴10上的外轴20,设置在外轴20内部且连接在固定轴10上的扭簧21,设置在外轴20两侧且与固定轴10活动连接的斜向挡板11,所述扭簧21与斜向挡板11的下部相连接,具体而言挡板的高度小于支撑板的高度,且支撑板在远离挡板一侧为开口结构,目的在于使得斜向挡板的一侧通过挡板进行限位,另一侧通过扭簧产生的扭力形成复位力,在横向推杆下降时斜向挡板对其进行导向,使得横向推杆上的滚刷能正确进入观察镜面之间完成擦拭动作,斜向挡板的下端连接在固定轴上,通过扭簧的扭力使得斜向挡板向挡板方向靠拢,但在挡板的限位作用下无法越过挡板。
24.本实用新型的使用方法:
25.当观察镜面的内外温度差异较大造成镜面雾化无法看清镀膜机内部情况时,通过电动伸缩杆带动横向推杆向下运行,横向推杆两侧设置的伸缩机构将旋接板向外推出,使得旋接板上连接的固定板以及滚刷对观察镜面形成有效接触,从而将观察镜面上的雾气擦除确保观察效果。
26.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型
中的具体含义。
27.以上所述是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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