技术特征：
1.一种酸性蚀刻废液在线循环回用系统，其特征在于，包括：电解槽，设置有阳极室和阴极室，且所述阳极室和阴极室通过隔膜隔开；在所述阳极室内设置有阳极板，所述阳极室设置有再生蚀刻液排出口；在所述阴极室内设置有阴极板；供电单元，所述供电单元用于连接所述电解槽的所述阳极板和所述阴极板，向所述阳极板和所述阴极板提供电流；orp值监测单元，所述orp值监测单元设置在所述阳极室内，用于监测所述阳极室内溶液的orp值变化；蚀刻机，所述蚀刻机的废液排出口与所述电解槽的废液入口连接；所述蚀刻机的蚀刻液入口与阳极室的所述再生蚀刻液排出口连接。2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液在线循环回用系统，其特征在于，所述酸性蚀刻废液在线循环回用系统还包括第一缓冲槽，所述第一缓冲槽连接在所述蚀刻机的废液排出口与所述阳极室和/或阴极室的所述废液入口之间的管路上；和/或还包括第二缓冲槽，所述第二缓冲槽连接在所述阳极室的所述再生蚀刻液排出口与所述蚀刻机的所述蚀刻液入口之间的管路上。3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液在线循环回用系统，其特征在于，所述酸性蚀刻废液在线循环回用系统还包括与所述orp值监测单元和所述供电单元连接的控制单元，所述控制单元用于接收所述orp值监测单元反馈的orp值信息并调控所述供电单元对所述阳极板和所述阴极板的供电电流大小。4.根据权利要求1
‑
3所述的酸性蚀刻废液在线循环回用系统，其特征在于，所述电解槽中的所述阳极室和阴极室为一对或多对。5.根据权利要求1所述的酸性蚀刻废液在线循环回用系统，其特征在于，所述隔膜采用目数大于600目的滤布。6.一种酸性蚀刻废液在线循环回用的方法，其特征在于，采用权利要求1
‑
5所述的酸性蚀刻废液在线循环回用系统对酸性蚀刻废液进行电解。7.根据权利要求6所述的酸性蚀刻废液在线循环回用的方法，其特征在于，包括以下步骤：将所述蚀刻机中的酸性蚀刻废液从所述电解槽废液入口注入所述阳极室和/或阴极室内；将阳极室中的阳极板与供电单元正极连接，阴极室中的阴极板与供电单元负极连接并进行电解处理，处于所述阴极室中的所述酸性蚀刻废液所含的铜离子被还原成金属铜，处于所述阳极室中的所述酸性蚀刻废液所含的一价铜被氧化成二价铜，所述酸性蚀刻废液orp值升高，形成再生蚀刻液，所述再生蚀刻液回流至所述蚀刻机中回用。8.据权利要求6所述的酸性蚀刻废液在线循环回用的方法，其特征在于，所述电解过程的电流i为i
小
或i
大
，其中，0.5i
理论
≤i
小
＜i
理论
，i
理轮
＜i
大
≤1.5i
理论
，m为所述蚀刻机正常工作状态下每小时的蚀铜量，η为所述电解槽的电流效率。9.根据权利要求7所述的酸性蚀刻废液在线循环回用的方法，其特征在于，所述再生蚀刻液的orp值为520
‑
570mv。10.根据权利要求6
‑
9所述的酸性蚀刻废液在线循环回用的方法，其特征在于，所述电
解过程中，所述阳极室中溶液的orp值降低至520mv时，电流i调节为i
大
；或所述阳极室中溶液的orp值升高至560mv时，电流i调节为i
小
；或所述阳极室中溶液的orp值升高至570mv时，电流i调节为0。
技术总结
本申请属于蚀刻液循环再生技术领域，尤其涉及一种酸性蚀刻废液在线循环回用系统及方法，将未经稀释的酸性蚀刻废液直接进行电解，通过监测阳极液的ORP值自动调整电解过程中的电流大小，系统设备简单，生产成本低，操作简单，再生液蚀刻速率稳定，电解过程中不产生氯气，安全环保，且大大提高了再生蚀刻液的再生效率和阴极析出铜的效率。效率和阴极析出铜的效率。效率和阴极析出铜的效率。
技术研发人员：汪前程 李再强 徐树钿 黄文涛 梁民
受保护的技术使用者：深圳市祺鑫环保科技有限公司
技术研发日：2021.07.13
技术公布日：2021/11/14