技术特征：
1.一种在线分区调整抛光头装卸片压力的方法，其特征在于，所述抛光头包括多个压力分区，所述方法包括：分别获取所述抛光头的各压力分区的设置压力；根据所述抛光头的各压力分区的设置压力，实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力；根据当前压力分区的设置压力及实际压力，实时对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正；对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正得到压力修正值，将所述压力修正值作为对应分区的实际配置压力。2.根据权利要求1所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的方法，其特征在于，根据当前压力分区的设置压力及实际压力，实时对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正，包括：第一次和第二次不进行压力修正，从第三次装卸片开始进行预设配置压力的修正。3.根据权利要求2所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的方法，其特征在于，利用一次函数对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正。4.根据权利要求1所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的方法，其特征在于，通过传感器实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力。5.一种在线分区调整抛光头装卸片压力的系统，其特征在于，包括：设置压力获取模块，用于分别获取所述抛光头的各压力分区的设置压力；监控模块，用于根据所述抛光头的各压力分区的设置压力，实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力；修正模块，用于根据当前压力分区的设置压力及实际压力，实时对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正；配置模块，用于对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正得到压力修正值，将所述压力修正值作为对应分区的实际配置压力。6.根据权利要求5所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的系统，其特征在于，修正模块包括：修正子单元，用于利用一次函数对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正。7.根据权利要求5所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的系统，其特征在于，监控模块包括：传感器获取单元，用于通过传感器实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力。8.一种终端，其特征在于，包括：至少一个处理器，以及与所述至少一个处理器通信连接的存储器，其中，所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器执行权利要求1
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4任一所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的方法。9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有计算机指令，所述计算机指令用于使所述计算机执行权利要求1
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4任一所述的在线分区调整抛光头装卸片压力的方法。
技术总结
本发明公开了一种在线分区调整抛光头装卸片压力的方法及系统。所述抛光头包括多个压力分区，所述方法包括：分别获取所述抛光头的各压力分区的设置压力；根据所述抛光头的各压力分区的设置压力，实时获取所述抛光头的各压力分区对应的实际压力；根据当前压力分区的设置压力及实际压力，实时对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正；对当前压力分区的下一预设配置压力进行修正得到压力修正值，将所述压力修正值作为对应分区的实际配置压力。通过本发明提供的方法提高了装卸片的成功率及设备的整体运行效率。备的整体运行效率。备的整体运行效率。
技术研发人员：孟晓云 李久芳 贾若雨 杨旭 刘志伟 周庆亚 杨元元 侯为萍 张文斌
受保护的技术使用者：北京烁科精微电子装备有限公司
技术研发日：2021.07.21
技术公布日：2021/9/16