高弹性表面处理的真空镀膜构件的制作方法

1.本实用新型涉及一种真空镀膜构件，特别涉及高弹性表面处理的真空镀膜构件，属于真空镀膜技术领域。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，但现有的真空镀膜构件，不宜保持恒温，易产生局部受热不均匀的情况，且不宜散热，不便于进行连续镀膜使用，影响使用效率，还有在真空机或是抽风机在运作运作使易使镀膜原料的颗粒进行吸附，影响其使用效果。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供高弹性表面处理的真空镀膜构件，以解决上述背景技术中提出的现有的真空镀膜构件，不宜保持恒温，且不宜散热，还有在真空机或是抽风机在运作运作使易使镀膜原料的颗粒进行吸附的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：高弹性表面处理的真空镀膜构件，包括底座箱，所述底座箱顶端的中部固定设有安装箱，所述安装箱的内壁的中部固定设有真空镀膜机本体，所述底座箱的内部设有恒温散热组件，所述恒温散热组件包括储液箱、循环泵和散热器，所述储液箱、循环泵和散热器均固定设置在底座箱内壁底端的一侧，所述储液箱固定设置在循环泵与散热器之间，所述安装箱的内壁与真空镀膜机本体的外壁之间铺设有恒温散热管，所述底座箱内壁底端的另一侧固定设有蓄电池，所述恒温散热管的两端分别与循环泵的出口端和散热器的进口端固定连接连通，所述循环泵的进口端和散热器的出口端均通过连接管与储液箱的内部固定连通，其中一个所述连接管上固定连通有恒温控制阀。
5.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述储液箱一侧的中部固定穿插设有进液管，所述进液管上螺纹安装有螺纹盖，所述真空镀膜机本体两边侧的顶部分别固定设有抽风机和真空机。
6.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽风机的进口端和真空机的进口端均与真空镀膜机本体的内部固定连通，所述抽风机的出口端与安装箱的内部连通，所述真空机的出口端与外界连通。
7.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述抽风机的进口端和真空机的进口端设有过滤组件。
8.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述过滤组件包括两个固定筒、两个第一滤层、两个第二滤层和两个第三滤层，两个所述固定筒通过两个螺栓分别固定设置在抽风机的进口端和真空机的进口端，两个所述第一滤层、两个第二滤层和两个第三滤层分别固定设置在两个固定筒的内部，且两个所述第二滤层分别固定设置在两个第一滤层与两个第
三滤层之间。
9.作为本实用新型的一种优选技术方案，所述安装箱的一侧通过两个铰链铰接有箱门，所述底座箱一侧的顶部固定设有开关面板，所述开关面板的表面分别安装有循环泵开关、散热器开关、抽风机开关和真空机开关，所述循环泵、散热器、抽风机和真空机分别通过循环泵开关、散热器开关、抽风机开关和真空机开关与外接电源电性连接。
10.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型高弹性表面处理的真空镀膜构件，通过恒温散热组件中设置的进液管将冷却液导入储液箱，通过循环泵将冷却液导入恒温散热管，通过冷却液的流动与真空镀膜机本体内散发的热量相配合，通过打开或关闭恒温控制阀，选择恒温或降温散热，有利于使用便于散热的同时不易产生受热不均的情况，通过过滤组件中设置的第一滤层、第二滤层和第三滤层便于阻挡镀膜原料的颗粒进行吸附，避免其影响真空机或是抽风机的正常使用。
附图说明
11.图1为本实用新型的整体结构示意图；
12.图2为本实用新型的剖面结构示意图；
13.图3为本实用新型的侧视剖面结构示意图；
14.图4为本实用新型的图2的a部放大结构示意图。
15.图中：1、底座箱；2、安装箱；3、真空镀膜机本体；4、恒温散热组件；41、储液箱；42、循环泵；43、散热器；44、连接管；45、恒温散热管；46、蓄电池；47、恒温控制阀；5、抽风机；6、过滤组件；61、固定筒；62、螺栓；63、第一滤层；64、第二滤层；65、第三滤层；7、真空机；8、箱门；9、开关面板。
具体实施方式
16.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
17.请参阅图1
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4，本实用新型提供了高弹性表面处理的真空镀膜构件，包括底座箱1，底座箱1顶端的中部固定设有安装箱2，安装箱2的内壁的中部固定设有真空镀膜机本体3，底座箱1的内部设有恒温散热组件4，恒温散热组件4包括储液箱41、循环泵42和散热器43，储液箱41、循环泵42和散热器43均固定设置在底座箱1内壁底端的一侧，储液箱41固定设置在循环泵42与散热器43之间，安装箱2的内壁与真空镀膜机本体3的外壁之间铺设有恒温散热管45，底座箱1内壁底端的另一侧固定设有蓄电池46，恒温散热管45的两端分别与循环泵42的出口端和散热器43的进口端固定连接连通，循环泵42的进口端和散热器43的出口端均通过连接管44与储液箱41的内部固定连通，其中一个连接管44上固定连通有恒温控制阀47，壳体选择恒温或降温散热，有利于使用便于散热的同时不易产生受热不均的情况。
18.优选的，储液箱41一侧的中部固定穿插设有进液管，进液管上螺纹安装有螺纹盖，真空镀膜机本体3两边侧的顶部分别固定设有抽风机5和真空机7，抽风机5的进口端和真空机7的进口端均与真空镀膜机本体3的内部固定连通，抽风机5的出口端与安装箱2的内部连
通，真空机7的出口端与外界连通，抽风机5的进口端和真空机7的进口端设有过滤组件6，过滤组件6包括两个固定筒61、两个第一滤层63、两个第二滤层64和两个第三滤层65，两个固定筒61通过两个螺栓62分别固定设置在抽风机5的进口端和真空机7的进口端，便于替换拆装，两个第一滤层63、两个第二滤层64和两个第三滤层65分别固定设置在两个固定筒61的内部，且两个第二滤层64分别固定设置在两个第一滤层63与两个第三滤层65之间，便于阻挡镀膜原料的颗粒进行吸附，避免其影响真空机7或是抽风机5的正常使用，安装箱2的一侧通过两个铰链铰接有箱门8，底座箱1一侧的顶部固定设有开关面板9，开关面板9的表面分别安装有循环泵开关、散热器开关、抽风机开关和真空机开关，循环泵42、散热器43、抽风机5和真空机7分别通过循环泵开关、散热器开关、抽风机开关和真空机开关与外接电源电性连接。
19.具体使用时，本实用新型高弹性表面处理的真空镀膜构件，首先恒温散热组件4放置在相应的工作位置，然后过滤组件6的各个零部件是否均工作正常，检查完成后即可使用，在真空镀膜机本体3运作前通过真空机7将其真空，在真空镀膜机运作的同时，通过恒温散热组件4中设置的进液管将冷却液导入储液箱41，通过循环泵42将冷却液导入恒温散热管45，通过冷却液的流动与真空镀膜机本体3内散发的热量相配合，通过打开或关闭恒温控制阀47，选择恒温或降温散热，有利于使用便于散热的同时不易产生受热不均的情况，在需要散热时通过抽风机5将真空镀膜机本体3内的热量导出至安装箱2，可以更好的进行散热，在抽风机5或真空机7在使用时，通过过滤组件6中设置的第一滤层63、第二滤层64和第三滤层65便于阻挡镀膜原料的颗粒进行吸附，避免其影响真空机7或是抽风机5的正常使用，通过螺栓62与固定筒61相配合便于替换拆装。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
21.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。