传输装置以及真空系统的制作方法

1.本实用新型涉及运输机构领域，由于涉及传输装置以及具有该传输装置的真空系统。


背景技术：

2.随着半导体及相关行业的蓬勃发展，作为行业中的关键系统之一，真空系统例如一些镀膜设备也得到了极大地发展。在真空系统当中，需要产品在真空状态下在各腔内、或者在腔体和腔体之间传输。例如，在板式真空系统中，通常采用托盘作为真空设备中工件的载体，工件的传输就变成了托盘的传输。
3.已知的真空系统中，托盘的传输通常使用双列动力滚轮的形式，每个滚轮的动力都通过磁流体等真空部件由真空腔外传入。数量众多的磁流体导致腔体结构复杂，安装、调试难度大，后期维护工作量大。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少一定程度上解决已知技术当中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种传输装置，能够容易地进行安装或者维护。此外，本实用新型还提出了具有该传输装置的真空系统。
5.根据本实用新型第一方面实施例的传输装置，可安装到真空腔体，并在所述真空腔体内传输载具，包括：驱动部，设置在所述真空腔体的外部；多个轨道部，设置在所述真空腔体内，所述轨道部支撑并传输所述载具，多个所述轨道部当中，其中一个所述轨道部设置有主传动轴，所述主传动轴和所述驱动部连接并被所述驱动部驱动；传动部，设置在所述真空腔体内，可拆卸地连接所述轨道部，以使所述驱动部经由所述主传动轴驱动多个所述轨道部。
6.根据本实用新型第一方面的传输装置，至少具有如下有益效果：由于设置了多个通过传动部可拆卸地连接的轨道部，并通过使驱动部经由其中一个轨道部的主传动轴驱动这些轨道部，能够减少驱动部的数量，简化传输装置的驱动结构，因此能够容易地进行安装或者维护。
7.在一些实施例中，所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机通过磁流体或者磁耦合密封传动装置，和所述主传动轴连接。
8.在一些实施例中，所述轨道部包括：两块基板，所述基板分别设置在所述真空腔体的两侧；各所述基板上，分别可转动地安装有多根第一转轴；各所述第一转轴的一端，装有用于支撑并传输所述载具的支撑件。
9.在一些实施例中，所述第一转轴通过轴承座可转动地被支撑在所述基板。
10.在一些实施例中，所述主传动轴上装有第一直齿轮，设置有所述主传动轴的所述轨道部中，其中一根所述第一转轴和所述主传动轴连接，和所述主传动轴连接的所述第一转轴上，装有第二直齿轮，所述第一直齿轮和所述第二直齿轮啮合。
11.在一些实施例中，所述支撑件为滚轮，所述滚轮上设置有用于对所述载具进行导向的导向部。
12.在一些实施例中，所述传动部包括多个，各所述轨道部的两块基板，分别安装有一个所述传动部；所述传动部的一端和所述第一转轴连接，所述传动部的另一端和与其相邻的所述轨道部中的所述传动部可拆卸地连接。
13.在一些实施例中，各所述第一转轴的另一端，分别装有第一锥齿轮；所述传动部包括：第二转轴和多个装在所述第二转轴上的第二锥齿轮，所述第二锥齿轮分别和所述第一锥齿轮啮合。
14.在一些实施例中，相邻的所述传动部的所述第二转轴，通过联轴器可拆卸地连接。
15.根据本实用新型第二方面实施例的真空系统，包括：真空腔体，所述真空腔体安装有上述任一项的传输装置。
附图说明
16.图1是具有本实用新型的传输装置的真空系统的俯视示意图。
17.图2是图1中的真空系统的立体图。
18.图3是图1的传输装置的轨道部和传动部的立体图。
19.图4是图3中的a处的局部放大图。
具体实施方式
20.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
21.在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
22.在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
23.本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
24.图1是具有本实用新型的传输装置100的真空系统124的俯视示意图,图2是图1中的真空系统124的立体图，参照图1、图2，根据本实用新型第一方面实施例的传输装置100，可安装到真空腔体101，并在真空腔体101内传输载具102，包括：驱动部103、多个轨道部104和传动部105。其中，驱动部103设置在真空腔体101的外部。多个轨道部104设置在真空腔体101内，轨道部104支撑并传输载具102。多个轨道部104当中，其中一个轨道部104设置有主
传动轴106，主传动轴106和驱动部103连接并被驱动部103驱动。传动部105设置在真空腔体101内，可拆卸地连接轨道部104，以使驱动部103经由主传动轴106驱动多个轨道部104。
25.在本实施例中，由于设置了多个通过传动部105可拆卸地连接的轨道部104，并通过使驱动部103经由其中一个轨道部104的主传动轴106驱动这些轨道部104，能够减少驱动部103的数量，简化传输装置100的驱动结构，因此能够容易地进行安装或者维护。
26.此外，由于轨道部104以组件的形式通过传动部105可拆卸地连接，因此，能够轨道部104能够整体安装或者拆卸，从而能够容易地进行安装或者维护。
27.具体地，本实施方式的真空腔体101，可以是例如用于镀膜、注液、贴膜等的各种类型的真空腔体101。
28.具体地，载具102是工件的载体，例如，在太阳能电池的生产制造工艺中，载具102可以是托盘等，用于承载待镀膜的衬底。
29.在一些实施例中，为了能够有效地对真空腔体101进行密封，驱动部103包括驱动电机107，驱动电机107通过磁流体108或者磁耦合密封传动装置，和主传动轴106连接。具体地，磁流体108、磁耦合密封传动装置可以选择市购的磁流体108或者磁耦合密封传动装置(未图示)。在本实施例中，由于仅设置了一个驱动部103驱动各轨道部104，因此，能够大大减少需要进行密封的磁流体108或者磁耦合密封传动装置的数量，能够简化传输装置100整线的结构(例如可以减少密封面的数量)，提高传输装置100的稳定性。
30.图3是传输装置100的轨道部104和传动部105的立体图，图4是图3中的a处的局部放大图，在图4中，为了便于说明，将部件局部剖开，参照图3、图4，并辅助参照图1、图2，在一些实施例中，轨道部104包括：两块基板109，基板109分别设置在真空腔体101的两侧。各基板109上，分别可转动地安装有多根第一转轴110。各第一转轴110的一端装有用于支撑并传输载具102的支撑件111。具体地，基板109作为轨道部104的主安装板和承载板，分别设置在真空腔体101的垂直于其传输方向的两侧。基板109的沿真空腔体101的传输方向的长度并不特别限定，可以根据真空腔体101的长度以及需要拼接的轨道部104的数量适当地选择。
31.在一些实施例中，为了提高第一转轴110的支撑强度和刚性，第一转轴110通过轴承座112可转动地被支撑在基板109。具体地，第一转轴110沿基板109的长度方向间隔地设置。与此对应，轴承座112也包括多个，并沿基板109的长度方向间隔设置。各轴承座112可以包括两个轴承113，两个轴承113分别位于轴承座112的轴向的两端。此外，轴承座112的轴向的长度，可以设置为相对于第一转轴110的长度尽可能长，例如，在确保能够安装支撑件111和后述的第一锥齿轮114的前提下，尽可能加长轴承座112的轴向的长度。由此，能够提高第一转轴110的支撑强度和刚性，减少第一转轴110由于承载来自载具102的重量时的下垂等。提高传输装置100的传输精度。
32.在一些实施例中，为了简化轨道部104的结构，支撑件111为滚轮，滚轮上设置有用于对载具102进行导向的导向部115。具体地，滚轮通过例如嵌入的方式，安装到第一转轴110的轴向一端，载具102被直接支撑在滚轮上，滚轮随着第一转轴110一起被驱动旋转时，载具102则通过滚轮被传输。导向部115例如是设置在支撑件111(即滚轮)的靠近轴承座112的一端的挡边，和滚轮的用于支撑载具102的部分一体成型。通过直接在滚轮的轴向的一端设置挡边，不仅能够容易地对载具102进行导向，而且，挡边的加工也容易，因此，能够简化轨道部104的结构。
33.此外，上面虽然以滚轮为例进行了说明，但是本实施方式的轨道部104并不限于此，例如，支撑件111也可以使用例如滚筒、皮带、链条等。
34.继续参照图3，并辅助参照图1，在一些实施例中，为了进一步简化轨道部104的结构，主传动轴106上装有第一直齿轮116，设置有主传动轴106的轨道部104中，其中一根第一转轴110和主传动轴106连接，和主传动轴106连接的第一转轴110上，装有第二直齿轮117，第一直齿轮116和第二直齿轮117啮合。具体地，主传动轴106的轴向的两端分别架设在两块基板109上，第一直齿轮116包括两个，分别装在主传动轴106的轴向的两端。两个第一直齿轮116的其中一个和与其同一侧的第一转轴110的第二直齿轮117啮合。两个第一直齿轮116的另外一个和与其同一侧的另一根第一转轴110的第二直齿轮117啮合。通过使主传动轴106和其中一根第一转轴110通过齿轮传动机构连接，能够简化轨道部104的结构，并且也能够使轨道部104的结构更加紧凑。
35.此外，主传动轴106在靠近驱动电机107的一端，装有第三直齿轮118。第三直齿轮118和装在磁流体108的第四直齿轮119啮合。由此，驱动电机107能够通过齿轮传动机构驱动主传动轴106旋转，并由此驱动第一转轴110旋转。
36.此外，上面虽然以主传动轴106和第一转轴110通过齿轮传动机构进行传动的例子进行了说明，但是并非限定于此。主传动轴106也可以通过例如皮带传动机构、同步带传动机构、链传动机构等和第一转轴110连接。
37.在一些实施例中，为了能够将各个轨道部104有效地连接起来，传动部105包括多个，各轨道部104的两块基板109，分别安装有一个传动部105。传动部105的一端和第一转轴110连接，传动部105的另一端和与其相邻的轨道部104中的传动部105可拆卸地连接。具体地，传动部105的一端，和安装在其所安装的基板109上的第一转轴110一一对应连接。传动部105的另一端，则和与其在传输方向相邻的轨道部104的传动部105可拆卸地连接。由此，驱动电机107的驱动动力，经由主传动轴106传递到其中一根第一转轴110，然后经由传动部105依次传递到同一块基板109的其他第一转轴110，接着经由相邻的传动部105传递到相邻的轨道部104的第一转轴110，从而通过一个驱动电机107，带动所有的第一转轴110上的滚轮转动。由此，能够有效地将各个轨道部104连接起来。
38.在一些实施例中，为了有效地带动各第一转轴110，各第一转轴110的另一端，分别装有第一锥齿轮114。传动部105包括第二转轴120和多个装在第二转轴120上的第二锥齿轮121，第二锥齿轮121分别和第一锥齿轮114啮合。具体地，第二转轴120通过例如支撑座122安装到基板109上，第二转轴120沿传输装置100的传输方向延伸。第二锥齿轮121的安装位置根据第一锥齿轮114的位置而调整并确定。由此，通过在第一转轴110上设置第一锥齿轮114，在第二转轴120上设置多个第二锥齿轮121，不仅能够有效地带动各第一转轴110转动，并由此带动滚轮转动。并且，由于使用了锥齿轮传动机构，因此，也能够使传输装置100的结构更加紧凑。
39.在一些实施例中，为了连接相邻的两个传动部105，相邻的传动部105的第二转轴120，通过联轴器123可拆卸地连接。具体地，联轴器123可以是市购的例如膜片弹性联轴器等。通过使用膜片弹性联轴器，不仅能够连接第二转轴120，而且拆卸也容易。
40.由此，在本实施方式中，由于将传动部105直接安装到轨道部104的基板109上，因此，轨道部104和传动部105能够在装配到真空腔体101之前提前装配好，能够降低传输装置
100的装配、调试难度。此外，由于仅需要通过拆卸联轴器123，即可将相邻的传动部105和轨道部104拆卸，因此，能够大大降低传输装置100的拆卸、维护、更换的难度。进一步地，由于传输装置100整体上以轨道部104以及传动部105的组合进行拼接，因此，能够根据实际需要增加或者减少轨道部104以及传动部105的数量，而无需对真空腔体101本身进行改造，能够降低传输装置100的改造成本。
41.继续参照图1、图2，上面实施方式的传输装置100能够应用到各种真空系统124中，具体地，根据本实用新型第二方面实施例的真空系统124，包括：真空腔体101，真空腔体101安装有上述任一项的传输装置100。
42.具体地，真空系统124例如可以是各种需要在真空环境下进行工作的各种设备，例如太阳能电池的衬底的镀膜用的镀膜设备，动力锂电池的注液设备，移动终端例如手机、平板电脑等的贴膜设备等。
43.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。