一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫的制作方法

1.本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。


背景技术：

2.抛光垫又称抛光皮，抛光布，抛光片，化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。
3.常见的抛光垫一般在整体柔韧性不高，导致装置不方便折叠收起、固定不稳定、不能两面打磨，不能满足抛光垫的工作要求，为此提出一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，具备高效的整体柔韧性高，装置方便折叠收起、固定稳定、能两面打磨等优点，解决了现有的抛光垫一般整体柔韧性不高，导致装置不方便折叠收起、固定不稳定、不能两面打磨，不能满足抛光垫的工作要求的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述整体柔韧性高，装置方便折叠收起、固定稳定、能两面打磨的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，包括抛光垫本体，所述抛光垫本体的内部中间位置为凯夫拉纤维，凯夫拉纤维的上表面贴设安装有碳纤维层，碳纤维层的上部紧贴安装有氟硅橡胶，氟硅橡胶的上表面安装有上表皮抛光磨层，上表皮抛光磨层的上部固定安装有白钢石磨料，凯夫拉纤维的下部贴设安装有高密度聚乙烯，高密度聚乙烯的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料，聚丙烯热塑性塑料的下部装设有下表皮抛光磨层，下表皮抛光磨层的下表面紧贴安装有无磨料抛光层；
8.抛光垫本体的中部贯穿开设有安装孔，安装孔的两侧均固定安装有辅助固定装置，且辅助固定装置均安装于抛光垫本体的内部，辅助固定装置的左侧为固定槽，固定槽的内部均装设有弹簧，弹簧的另一端均固定连接有固定杆。
9.优选的，所述凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、上表皮抛光磨层、高密度聚乙烯、聚丙烯热塑性塑料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层均通过胶体复合粘接连接。
10.优选的，所述固定杆左侧上下均固定有档沿，固定槽的出口处均固定安装有限位挡头，且档沿与限位挡头的位置、大小相适配。
11.优选的，所述固定杆的顶部均固定有固定堵头。
12.优选的，所述固定杆贯穿抛光垫本体的内壁伸入于安装孔中。
13.(三)有益效果
14.与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，具备以下有益效果：
15.1、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，设计的凯夫拉纤维、碳纤维层、氟硅橡胶、高密度聚乙烯和聚丙烯热塑性塑料都具有较高的柔韧性，使得抛光垫本体自身能够折叠或者
卷起，且凯夫拉纤维自身的刚性较高，能够支撑起抛光垫本体，使得抛光垫本体在工作时不会发生弯曲；
16.2、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，加设的上表皮抛光磨层、白钢石磨料、下表皮抛光磨层和无磨料抛光层，使得抛光垫本体的两面都能够起到打磨的作用，上表皮抛光磨层和白钢石磨料能够打磨表面粗糙的砷化镓，下表皮抛光磨层和无磨料抛光层能够对砷化镓进一步的打磨，使得砷化镓的表面能够被打磨的更光滑；
17.3、该用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，加设的安装孔和辅助固定装置，使得抛光垫本体能够被牢固的固定，提高了装置的稳定性。
附图说明
18.图1为本实用新型内部结构示意图；
19.图2为本实用新型俯视结构示意图；
20.图3为本实用新型a处放大结构示意图。
21.图中：1、抛光垫本体；11、凯夫拉纤维；12、碳纤维层；13、氟硅橡胶；14、上表皮抛光磨层；15、白钢石磨料；16、高密度聚乙烯；17、聚丙烯热塑性塑料；18、下表皮抛光磨层；19、无磨料抛光层；2、安装孔；21、辅助固定装置；22、固定槽；23、弹簧；24、固定杆；25、档沿；26、限位挡头；27、固定堵头。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1
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3，本实用新型提供一种技术方案，一种用于砷化镓抛光工艺的抛光垫，包括抛光垫本体1、凯夫拉纤维11、碳纤维层12、氟硅橡胶13、上表皮抛光磨层14、白钢石磨料15、高密度聚乙烯16、聚丙烯热塑性塑料17、下表皮抛光磨层18、无磨料抛光层19、安装孔2、辅助固定装置21、固定槽22、弹簧23、固定杆24、档沿25、限位挡头26和固定堵头27，抛光垫本体1的内部中间位置为凯夫拉纤维11，凯夫拉纤维11密度高、强度高、耐高温、强度为钢铁的5倍，能够支撑起抛光垫本体1，凯夫拉纤维11的上表面贴设安装有碳纤维层12，碳纤维层12具有较高的韧性，碳纤维层12的上部紧贴安装有氟硅橡胶13，氟硅橡胶13耐高温、强度高和韧性高，氟硅橡胶13的上表面安装有上表皮抛光磨层14，上表皮抛光磨层14的上部固定安装有白钢石磨料15，上表皮抛光磨层14和白钢石磨料15用于粗略的打磨砷化镓，凯夫拉纤维11的下部贴设安装有高密度聚乙烯16，高密度聚乙烯16耐热性好、刚性和韧性都高，高密度聚乙烯16的下表面固定安装有聚丙烯热塑性塑料17，聚丙烯热塑性塑料17耐冲击性高、韧性高，聚丙烯热塑性塑料17的下部装设有下表皮抛光磨层18，下表皮抛光磨层18的下表面紧贴安装有无磨料抛光层19，下表皮抛光磨层18和无磨料抛光层19用于细致的打磨砷化镓，凯夫拉纤维11、碳纤维层12、氟硅橡胶13、上表皮抛光磨层14、高密度聚乙烯16、聚丙烯热塑性塑料17、下表皮抛光磨层18和无磨料抛光层19均通过胶体复合粘接连接；抛光垫本体1的中部贯穿开设有安装孔2，安装孔2用于固定安装抛光垫本体1，安装孔2的两侧
均固定安装有辅助固定装置21，且辅助固定装置21均安装于抛光垫本体1的内部，辅助固定装置21用于固定抛光垫本体1，辅助安装孔2固定辅助固定装置21的左侧为固定槽22，固定槽22的内部均装设有弹簧23，弹簧23能挤压固定杆24，弹簧23的另一端均固定连接有固定杆24，固定杆24左侧上下均固定有档沿25，固定槽22的出口处均固定安装有限位挡头26，且档沿25与限位挡头26的位置、大小相适配，档沿25和限位挡头26防止固定杆24被弹簧23弹出，固定杆24的顶部均固定有固定堵头27，固定堵头27用于提高固定杆24的固定性能，固定杆24贯穿抛光垫本体1的内壁伸入于安装孔2中。
24.本装置的工作原理：凯夫拉纤维11密度高、强度高、耐高温、强度为钢铁的5倍，能够支撑起抛光垫本体1，碳纤维层12具有较高的韧性，氟硅橡胶13耐高温、强度高和韧性高，高密度聚乙烯16耐热性好、刚性和韧性都高，聚丙烯热塑性塑料17耐冲击性高、韧性高，使得抛光垫本体1自身能够折叠或者卷起，且凯夫拉纤维11自身的刚性较高，能够支撑起抛光垫本体1，使得抛光垫本体1在工作时不会发生弯曲，上表皮抛光磨层14和白钢石磨料15能够打磨表面粗糙的砷化镓，下表皮抛光磨层18和无磨料抛光层19能够对砷化镓进一步的打磨，使得砷化镓的表面能够被打磨的更光滑，安装孔和辅助固定装置，使得抛光垫本体能够被牢固的固定，提高了装置的稳定性。
25.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。