技术特征：
1.一种研磨及供应装置，用于对研磨桶内的液体进行研磨和取液，其特征在于，包括：旋转平台、机械手臂、数个超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方，连接并带动所述旋转平台旋转；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有所述研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置，所述可伸缩吸液管的另一端伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。2.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，还包括保护壳，所述旋转平台、所述机械手臂、所述超声射频混匀单元和所述驱动装置位于所述保护壳内。3.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述旋转平台为一圆盘，所述圆盘的中心设有一贯通的安装孔，所述驱动装置上设有一旋转轴，所述旋转轴插入所述安装孔内。4.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述研磨桶位于所述超声射频混匀单元的超声发射范围内。5.如权利要求1所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述取盖装置为一圆柱体，所述圆柱体面向所述旋转平台的一面设有一固定孔，所述固定孔与所述研磨桶的桶盖连接以使得所述取盖装置能够将所述桶盖从所述研磨桶分离。6.如权利要求5所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述机械手臂上还包括推杆，所述推杆设置在所述取盖装置上方，所述取盖装置面设置有贯通的连接孔，所述推杆的一端能够插入所述连接孔内将所述固定孔内的所述桶盖推出。7.如权利要求5所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述固定孔的形状与所述桶盖相匹配。8.如权利要求7所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述可伸缩吸液管的一端连接所述取盖装置包括：所述可伸缩吸液管的一端与所述固定孔的底部固定连接，且所述可伸缩吸液管的直径＜所述固定孔的孔径。9.如权利要求8所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述可伸缩吸液管收缩后的长度＜所述固定孔的深度。10.如权利要求8所述的一种研磨及供应装置，其特征在于，所述可伸缩吸液管的伸展长度与所述固定孔的深度之和≥所述研磨桶的高度。
技术总结
本实用新型提供一种研磨及供应装置，包括：旋转平台、机械手臂、超声射频混匀单元和驱动装置；其中，所述驱动装置位于所述旋转平台下方；所述旋转平台上表面设有数个周向分布的容纳部，每个所述容纳部对应放置一个所述超声射频混匀单元；所述超声射频混匀单元上放置有研磨桶，所述超声射频混匀单元通过超声将所述研磨桶内的液体混匀；所述机械手臂位于所述旋转平台上方，所述机械手臂面向所述旋转平台的一面设有取盖装置和可伸缩吸液管，所述可伸缩吸液管伸展后可伸入所述研磨桶内将混匀后的液体取出。本实用新型提供的研磨及供应装置自动化程度较高，同时，避免了因添加研磨液对工作人员健康的伤害。作人员健康的伤害。作人员健康的伤害。
技术研发人员：邵辉
受保护的技术使用者：广州粤芯半导体技术有限公司
技术研发日：2021.12.31
技术公布日：2022/5/31