PVD腔室体单独破空除霜系统的制作方法

pvd腔室体单独破空除霜系统
技术领域
1.本实用新型涉及hjt(hjt:heterjunction technology的缩写，是一种n型单晶双面电池)太阳能电池加工的技术领域，特别是涉及pvd腔室体单独破空除霜系统。


背景技术：

2.pvd是physical vapor deposition的缩写，是一种物理气相沉积法。在对hjt异质结电池进行制造时需要经过pvd镀膜工序。即hjt异质结电池在进入pvd真空设备的过程中，hjt异质结电池会依此经过多个pvd中的多个腔室进行处理，例如：过渡腔室、加热腔室、工艺腔室、冷却腔室等。同时，pvd真空设备会借助中控台对各个腔室进行控制或监控。传统的pvd真空设备会将中控台利用主管路分支出多个支路管路实现与各个腔室进行连通，但是，由于不同腔室对气压要求或真空度要求不同，例如：在加热腔室中会积攒水汽，需要对加热腔室进行破空除霜，此时加热腔室对应设置的中缝管路是与其它腔室的中缝管路相连通，若对加热腔室进行单独抽真空会在中缝管中出现气流对冲的现象，即传统pvd真空设备无法对加热腔室对应的中缝管路部分进行局部的单独抽真空。


技术实现要素：

3.基于此，有必要针对加热腔室进行单独抽真空时加热腔室对应的中缝管路会出现气流对冲的问题，提供一种pvd腔室体单独破空除霜系统。
4.一种pvd腔室体单独破空除霜系统。所述pvd腔室体单独破空除霜系统包括：中缝总管、辅助管路、机械泵、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、控制阀组件、加热腔室及多个加工腔室，所述加热腔室通过所述控制阀组件与相邻的所述加工腔室连通或阻断，所述中缝总管用于与所述加热腔室及多个所述加工腔室连通或中断，且所述中缝总管通过所述第一开关阀与所述第二开关阀与所述加热腔室连通或阻断，且所述中缝总管位于所述第一开关阀与所述第二开关阀之间的中缝管路为加热腔室中缝管路，所述辅助管路通过所述第一开关阀与所述加热腔室中缝管路连通或中断，所述第三开关阀装设在所述辅助管路上，且所述辅助管路与所述加热腔室均与所述机械泵连接配合。
5.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括过气总管与过气支管，所述过气支管与所述过气总管相连通，所述机械泵装设在所述过气总管上，所述过气总管通过所述过气支管与所述加热腔室相连，且所述过气总管与多个所述加工腔室可选择地相连通。
6.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第四开关阀，所述机械泵装设在所述过气总管的端部，所述过气支管与所述过气总管并联连接，所述第四开关阀装设在所述过气总管上，且所述第四开关阀位于所述过气支管两连接端之间。
7.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第五开关阀，所述第五开关阀装设在所述过气支管上。
8.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第一分子泵与第
二分子泵，所述第一分子泵的一端与所述加热腔室相连通，所述第一分子泵的另一端与所述过气支管相连通，所述第二分子泵的一端与所述加热腔室相连通，所述第二分子泵的另一端与所述过气支管相连通。
9.在其中一个实施例中，所述第五开关阀包括第一调节阀与第二调节阀，所述第一调节阀与所述第二调节阀装设在所述过气支管的上，且所述第一分子泵与所述过气支管的连接处及所述第二分子泵与所述过气支管的连接处位于所述第一调节阀与所述第二调节阀之间。
10.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第一真空计与第二真空计，所述第一真空计装设在所述辅助管路上，所述第二真空计装设在所述过气支管上。
11.在其中一个实施例中，所述控制阀组件包括第一控制阀与第二控制阀，所述第一控制阀用于连通或中断所述加热腔室与其中一侧相邻的所述加工腔室，所述第二控制阀用于连通或中断所述加热腔室是与另一侧相邻的所述加工腔室。
12.在其中一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括温控器，所述温控器装设在所述加热腔室上。
13.在其中一个实施例中，所述机械泵包括罗茨泵与螺杆泵，所述罗茨泵与所述螺杆泵均装设在所述过气总管上。
14.上述pvd腔室体单独破空除霜系统当需要第加热腔室进行破空除霜时，首先通过控制阀组件阻断加热腔室与相邻加工腔室的连通，然后关闭第二阀门，即此时阻断了加热腔室中缝管路与中缝管路后续管路的连通。根据安装要求，关闭加热腔室上相应的分子泵。进一步地，打开第一开关阀，借助机械泵的作用加热腔室内会灌入空气，同时因为加热腔室中缝管路与加热腔室相连通，加热腔室中缝管路也会实现破空(即可以向加热腔室中缝管路灌入空气)，即实现了加热腔室以及加热腔室中缝管路的气压调整，待加热腔室内的气压到达预设要求后，便可以对加热腔室进行开腔室处理(除水或除霜)。待对加热腔室处理完成后，需要重新对加热腔室抽真空，在第一开关阀打开的状态下，机械泵便可以对加热腔室进行抽真空，同时打开辅助管路上的第三开关阀，此时机械泵利用辅助管路与加热腔室中缝管路相连通，机械泵便能够实现对加热腔室中缝管路的抽真空，即实现了对加热腔室与加热腔室中缝管路的抽真空处理，待加热腔室中缝管路内的气压达到预设要求后，关闭第三开关阀，打开第二开关阀，实现加热腔室中锋管路与中缝总管的重新连通，因为加热腔室中缝管路的气压与中缝总管的气压相对稳定，因此不会出现气流对冲的情况。
附图说明
15.图1为pvd腔室体单独破空除霜系统的简化流程图；
16.图2为pvd腔室体单独破空除霜系统的电控图。
17.10、加热腔室，20、加工腔室，30、中控机构，100、中缝总管，101、加热腔室中缝管路，110、第一开关阀，120、第二开关阀，200、辅助管路，210、第三开关阀，300、机械泵，310、罗茨泵，320、螺杆泵，400、控制阀组件，410、第一控制阀，420、第二控制阀，500、过气总管，510、过气支管，520、第四开关阀，530、第五开关阀，531、第一调节阀，532、第二调节阀，540、第一分子泵，550、第二分子泵，600、第一真空计，700、第二真空计。
具体实施方式
18.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
19.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
20.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
21.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
23.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
24.结合图1和图2所示，在一个实施例中，一种pvd腔室体单独破空除霜系统，所述pvd腔室体单独破空除霜系统包括：中缝总管100、辅助管路200、机械泵300、第一开关阀110、第二开关阀120、第三开关阀210、控制阀组件400、加热腔室10及多个加工腔室20，所述加热腔室10通过所述控制阀组件400与相邻的所述加工腔室20连通或阻断，所述中缝总管100用于与所述加热腔室10及多个所述加工腔室20连通或中断，且所述中缝总管100通过所述第一开关阀110与所述第二开关阀120与所述加热腔室10连通或阻断，且所述中缝总管100位于所述第一开关阀110与所述第二开关阀120之间的中缝管路为加热腔室中缝管路101，所述辅助管路200通过所述第一开关阀110与所述加热腔室中缝管路101连通或中断，所述第三
开关阀210装设在所述辅助管路200上，且所述辅助管路200与所述加热腔室10均与所述机械泵300连接配合。
25.上述pvd腔室体单独破空除霜系统当需要第加热腔室10进行破空除霜时，首先通过控制阀组件400阻断加热腔室10与相邻加工腔室20的连通，然后关闭第二阀门，即此时阻断了加热腔室中缝管路101与中缝管路后续管路的连通。根据安装要求，关闭加热腔室10上相应的分子泵。进一步地，打开第一开关阀110，借助机械泵300的作用加热腔室10内会灌入空气，同时因为加热腔室中缝管路101与加热腔室10相连通，加热腔室中缝管路101也会实现破空(即可以向加热腔室中缝管路101灌入空气)，即实现了加热腔室10以及加热腔室中缝管路101的气压调整，待加热腔室10内的气压到达预设要求后，便可以对加热腔室10进行开腔室处理(除水或除霜)。待对加热腔室10处理完成后，需要重新对加热腔室10抽真空，在第一开关阀110打开的状态下，机械泵300便可以对加热腔室10进行抽真空，同时打开辅助管路200上的第三开关阀210，此时机械泵300利用辅助管路200与加热腔室中缝管路101相连通，机械泵300便能够实现对加热腔室中缝管路101的抽真空，即实现了对加热腔室10与加热腔室中缝管路101的抽真空处理，待加热腔室中缝管路101内的气压达到预设要求后，关闭第三开关阀210，打开第二开关阀120，实现加热腔室10中锋管路与中缝总管100的重新连通，因为加热腔室中缝管路101的气压与中缝总管100的气压相对稳定，因此不会出现气流对冲的情况。
26.结合图1和图2所示，在一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括过气总管500与过气支管510，所述过气支管510与所述过气总管500相连通，所述机械泵300装设在所述过气总管500上，所述过气总管500通过所述过气支管510与所述加热腔室10相连，且所述过气总管500与多个所述加工腔室20可选择地相连通。所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第四开关阀520，所述机械泵300装设在所述过气总管500的端部，所述过气支管510与所述过气总管500并联连接，所述第四开关阀520装设在所述过气总管500上，且所述第四开关阀520位于所述过气支管510两连接端之间。具体地，第四开关阀520可以是电磁阀或vv阀。机械泵300通过过气总管500可以对相应的加热腔室10或加工腔室20进行鼓气或抽气。进一步地，通过加设过气支管510以及在过气总管500上加设第四开关阀520，使得当需要对加热腔室10进行单独处理时，机械泵300可以有针对性地对加热腔室10进行相应的鼓气或抽气，避免过气总管500的其他部分对机械泵300分压。
27.结合图1所示，在一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第五开关阀530，所述第五开关阀530装设在所述过气支管510上。具体地，第五电磁阀可以是电磁阀或vv阀。通过第五电磁阀控制供气支路与加热腔室10的连通或关闭，即当需要利用机械泵300对加热腔室10进行鼓气或吸气时，关闭第四开关阀520，打开第五开关阀530。
28.结合图1所示，在一个实施例中，所述pvd腔室体单独破空除霜系统还包括第一分子泵540与第二分子泵550，所述第一分子泵540的一端与所述加热腔室10相连通，所述第一分子泵540的另一端与所述过气支管510相连通，所述第二分子泵550的一端与所述加热腔室10相连通，所述第二分子泵550的另一端与所述过气支管510相连通。具体地，通过增设第一分子泵540与第二分子泵550，可以实现对加热腔室10更加有效的抽真空处理。
29.结合图1所示，在一个实施例中，所述第五开关阀530包括第一调节阀531与第二调节阀532，所述第一调节阀531与所述第二调节阀532装设在所述过气支管510的上，且所述
第一分子泵540与所述过气支管510的连接处及所述第二分子泵550与所述过气支管510的连接处位于所述第一调节阀531与所述第二调节阀532之间。具体地，考虑到第一分子泵540与第二分子泵550在工作时对气压要求较高，当加热腔室10内的真空度达到或高于预设要求时(此时第一调节阀531打开，机械泵300通过过气支管510与加热腔室10连通)，便可以开启第一分子泵540与第二分子泵550。此时，机械泵300对加热腔室10内的抽真空还在继续，当主控程序显示加热腔室10抽真空完成后，再打开第二调节阀532。上述控制过程能够有效保证第一分子泵540与第二分子泵550在加热腔室10与过气支管510之间所受气压均衡，避免第一分子泵540与第二分子泵550受到损坏。
30.结合图1所示，在一个实施例中，还包括第一真空计600与第二真空计700，所述第一真空计600装设在所述辅助管路200上，所述第二真空计700装设在所述过气支管510上。具体地，第一真空计600与第二真空计700为皮拉尼真空计。通过第一真空计600可以对加热腔室中缝管路101的真空度进行监测，通过第二真空计700可以对加热腔室10、过气支管510中的真空度进行监测。
31.结合图1所示，在一个实施例中，所述控制阀组件400包括第一控制阀410与第二控制阀420，所述第一控制阀410用于连通或中断所述加热腔室10与其中一侧相邻的所述加工腔室20，所述第二控制阀420用于连通或中断所述加热腔室10是与另一侧相邻的所述加工腔室20。具体地，当需要对加热腔室10进行单独处理时(抽水或破霜等)，通过第一控制阀410与第二控制阀420便能够实现加热腔室10与相邻的加工腔室20相分隔。
32.在一个实施例中，还包括温控器，所述温控器装设在所述加热腔室10上。具体地，通过温控器对加热腔室10内的气温进行把控，保证加热腔室10的温度在预设温度条件。
33.结合图1所示，在一个实施例中，所述机械泵300包括罗茨泵310与螺杆泵320，所述罗茨泵310与所述螺杆泵320均装设在所述过气总管上。具体地，通过罗茨泵310与螺杆泵320配合使用，根据不同状态对加热腔室10进行抽吸或鼓气，保证机械泵300的使用效果。
34.结合图1和图2所示，在一个实施例中，上述pvd腔室体单独破空除霜系统内设有中控机构30或中控器可以对机械泵300、第一开关阀110、第二开关阀120、第三开关阀210、第四开关阀520、第五开关阀530、控制阀组件400、第一分子泵540、第二分子泵550、第一真空计600、第二真空计700、温控器等电部件进行自动控制和信号接收。
35.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
36.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。