有机物沉积装置及有机物沉积方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及装置及方法，尤其是涉及有机物沉积装置及有机物沉积方法。
【背景技术】
[0002]以移动性为基础的电子设备被广泛使用。作为便携式电子设备，除了诸如移动电话的小型电子设备以外，最近还有平板电脑被广泛使用。
[0003]这种便携式电子设备包括显示面板，以支持多种功能，并且向使用者提供诸如图像或视频的视觉信息。最近，随着用于驱动显示面板的其他部件的小型化，显示面板在电子设备中所占的比重处于逐渐增加的趋势，并且还在研究着可从平坦的状态下弯曲成预定角度的结构。
【发明内容】
[0004]本发明的实施例提供有机物沉积装置和有机物沉积方法。
[0005]在本发明的一实施例中公开一种有机物沉积装置，包括:用于对掩模和基板进行对准(Align)并进行把持的基板把持部；用于将有机物原子化(atomizat1n)以将有机物喷射到所述基板上的有机物源部；以及设置在所述有机物源部和所述基板之间以用于对所述有机物进行扩散的分撒部。
[0006]在本实施例中，还可以包括:被设置成与所述有机物源部和所述分撒部连接，以用于将所述有机物从所述有机物源部引导至所述分撒部的引导部。
[0007]在本实施例中，所述引导部可以用于将所述有机物从所述有机物源部朝着所述分撒部移动的路径与外部进行切断。
[0008]在本实施例中，还可以包括:用于放射紫外线以对喷射到所述基板上的有机物进行固化的紫外线供给部。
[0009]在本实施例中，所述紫外线供给部可以被设置成能够进行直线运动。
[0010]在本实施例中，所述有机物源部、所述紫外线供给部、所述分撒部能够以相同的速度进行直线运动。
[0011 ] 在本实施例中，还可以包括:用于对从所述分撒部扩散到所述基板的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽部。
[0012]在本实施例中，所述遮蔽部可以包括:设置在所述分撒部和所述基板之间、或者设置在所述分撒部上以用于对经过所述分撒部的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽板；以及与所述遮蔽板连接以用于使所述遮蔽板进行转动运动的转动驱动部。
[0013]在本实施例中，所述遮蔽部可以包括:设置在所述分撒部和所述基板之间或者设置在所述分撒部上，并且通过改变所述分撒部的长度以用于对经过所述分撒部的所述有机物进行选择性遮蔽的遮蔽膜；以及用于改变所述遮蔽膜的长度的长度驱动部。
[0014]在本实施例中，所述分撒部可以被形成为板状形态，并且可以形成有使所述有机物经过的通过孔。
[0015]在本实施例中，还可以包括:腔室，在其内设置有所述基板把持部的一部分、所述有机物源部和所述分撒部。
[0016]在本实施例中，还可以包括:与所述腔室连接以用于控制所述腔室内部的压力的压力控制单元。
[0017]在本实施例中，还可以包括:设置于所述有机物源部以用于对所述有机物源部进行冷却的源冷却部。
[0018]在本实施例中，所述基板把持部可以包括:用于固定所述基板并且对所述掩模和所述基板进行对准的对准部；以及由于通过磁力使所述掩模紧贴到所述基板上的磁体部。
[0019]在本实施例中，所述基板把持部还可以包括:设置在所述基板和磁体部之间以由于对所述基板进行冷却的基板冷却部。
[0020]在本实施例中，所述基板把持部可以由于使所述掩模和所述基板进行直线运动。
[0021]在本发明的另一实施例中公开一种有机物沉积方法，包括:将有机物原子化(Atomizat1n)并进行喷射后通过分撒部进行扩散的步骤；通过接合的掩模将被扩散的所述有机物沉积到基板上的步骤；以及将紫外线照射到沉积有所述有机物的所述基板表面上以对所述有机物进行固化的步骤。
[0022]在本实施例中，还可以包括:在对所述有机物进行固化之前，对所述分撒部的一面进行遮蔽以防止吸附于所述分撒部上的有机物被固化。
[0023]在本实施例中，所述基板和用于喷射所述有机物的有机物源部中的一个能够与所述基板和所述有机物源部中的另一个进行相对运动。
[0024]在本发明的又再一实施例中公开一种有机物沉积方法，包括:将基板和掩模安装到基板把持部上以进行对准的步骤；以及将有机物原子化(Atomizat1n)并进行喷射后使其经过分撒部以进行扩散，并使得被扩散的所述有机物通过所述掩模沉积到所述基板上，并且将紫外线照射到沉积有所述有机物的所述基板表面上以对所述有机物进行固化的步骤。
[0025]在本实施例中，所述基板和用于喷射所述有机物的有机物源部中的一个能够与所述基板和所述有机物源部中的另一个进行相对运动。
[0026]在与本发明的实施例相关的有机物沉积装置中能够进行均匀涂覆。
【附图说明】
[0027]图1为根据本发明第一实施例的有机物沉积装置的剖面示意图。
[0028]图2为通过图1所示有机物沉积装置制造的显示面板的剖面示意图。
[0029]图3为图1所示有机物沉积装置的运行状态的工作原理示意图。
[0030]图4为根据本发明第二实施例的有机物沉积装置的正视示意图。
[0031]图5为图4所示有机物沉积装置的运行状态的侧视示意图。
[0032]图6为根据本发明第三实施例的有机物沉积装置的剖面示意图。
[0033]图7为图6所示有机物沉积装置的运行状态的工作原理示意图。
[0034]图8为根据本发明第四实施例的有机物沉积装置的剖面示意图。
[0035]图9为图8所示有机物沉积装置的运行状态的工作原理示意图。
[0036]图10为根据本发明第五实施例的有机物沉积装置的剖面示意图。
[0037]图11为图10所示有机物沉积装置的运行状态的工作原理示意图。
[0038]图12为根据本发明第六实施例的有机物沉积装置的剖面示意图。
[0039]图13为图12所示有机物沉积装置的运行状态的工作原理示意图。
[0040]附图标记说明
[0041]100、300、400、500、600、700:有机物沉积装置
[0042]110、310、410、510、610、710:基板把持部
[0043]120、320、420、520、620、720:有机物源部
[0044]130、330、430、530、630、730:源冷却部
[0045]141、341、441、541、641、741:分撒部
[0046]142、342、442、542、642、742:引导部
[0047]143、343、443、543、643、743:紫外线供给部
[0048]144,344,444,544,644,744:腔室
[0049]170、370、470、570、670、770:有机物供给部
[0050]171、371、471、571、671、771:有机物储存部
[0051]172、372、472、572、672、772:供给泵
[0052]173、373、473、573、673、773:有机物引导管道
[0053]180,380,480,580,680,780:压力控制单元
【具体实施方式】
[0054]本发明可以实施多种变换并且可以具有多种实施例，其中在附图中示出特定实施例并且在【具体实施方式】中对其进行详细说明。通过参照与附图一同详细描述的实施例，得以明确本发明的效果、特征以及将其实现的方法。然而，本发明并不限定于下面所公开的实施例，而是可以以多种形态实现。
[0055]下面，将参照附图对本发明的实施例进行详细说明，在参照附图进行说明时对于相同或对应的构件使用了相同的附图标记，并且将省略对其进行的重复说明。
[0056]在下面的实施例中，第一、第二等的术语并不具有限定的含义，而是旨在将一个构件与另一个构件进行区分。此外，在下面的实施例中，除非另有明确的限定，则单数的表述包括复数的表述。在下面的实施例中，包括或者具有等术语是指说明书中所记载的特征或构件的存在，而不是旨在提前排除一个以上的其他特征或构件的附加可能性。
[0057]为了说明的便利，附图中图示的构件的大小可以被放大或缩小。例如，为了说明的便利，附图中所示的各个构件的大小和厚度是随机显示的，因此本发明并不一定限定于附图所示。
[0058]图1为根据本发明第一实施例的有机物沉积装置100的剖面示意图。图2为通过图1所示有机物沉积装置100制造的显示面板200的剖面示意图。图3为图1所示有机物沉积装置100的运行状态的工作原理示意图。
[0059]参照图1至图3，有机物沉积装置100可以包括:基板把持部110、有机物源部120、源冷却部130、分撒部141、引导部142、紫外线供给部143、腔室144、源支撑部160、有机物供给部170和压力控制单元180。
[0060]如上所述的基板把持部110可用于把持掩模M和设置有掩模M的基板S。此时,基板S可以包括设置有多个将后述的发光部220的母体基板(未标记)。此外，基板S可以是形成有一个发光部220的、将后述的基板S。然而，在下文中为了说明的便利，以基板S为所述母体基板S的情况为主进行详细说明。
[0061]基板把持部110可以包括用于固定基板S和掩模M，并对掩模M和基板S进行对准(Align)的对准部111。此时，对准部111可以在拍摄掩模M和基板S的位置之后，通过改变掩模M和基板S中至少一个的位置以对掩模M和基板S进行对准。
[0062]基板把持部110可以包括通过磁力将掩模M固定到基板S上的磁体部112。此时，磁体部112通过朝着基板S侧拉动掩模M，从而可以将掩模M贴到基板S上。
[0063]基板把持部110可以包括设置在基板S和磁体部112之间并用于冷却基板S的基板冷却部113。此时，可以以板状形态形成基板冷却部113，并且可以由金属材质形成基板冷却部113。尤其是，基板冷却部113的内部可以形成有第一制冷剂循环管道113a，以使得从外部供给的制冷剂进行循环。
[0064]如上所述的基板把持部110可以设置在腔室144内部，从而使得直线运动变为可能。此外，基板把持部I1可以设置在腔室144内部以使其固定。然而，在下文中为了说明的便利，以在腔室144内部固定设置基板把持部110的情况为主进行详细说明。
[0065]另外，有机物源部120可以将有机物原子化(Atomizat1n)以将有机物喷射到基板S上。此时，有机物源部120可以包括用于暂时储存有机物的坩埚121。此时，可以由金属材质形成坩埚121，以防止将后述的压电元件122与有机物直接接触。例如，可以由SUS材质等形成坩埚121。
[0066]可以设置有至少一个如上所述的有机物源部120。此时，可以沿着基板S的长度方向或宽度方向以较长形状形成有机物源部120。此外，可以以与基板S大小相同的大小形成有机物源部120。然而，在下文中为了说明的便利，以设置有一个有机物源部120、且沿着基板S的长度方向和宽度方向中的一个方向以较长形状形成该有机物源部120的情况为主进行详细说明。
[0067]有机物源部120可以包括设置于坩埚121并且用于向坩埚121内部的有机物提供振动能量的压电元件122。此时，压电元件122可以通过接收从外部供给的电能，生成超声(Ultrasoni