在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板。
【背景技术】
[0002]对于溅镀法和离子电镀法等涂敷方法而言，公知有通过调整施加于工件的偏压而能够控制要形成于工件表面的涂层的特性的方法。
[0003]例如在专利文献I所记载的发明中，本发明人通过适当地调整偏压而在燃料电池用隔板的表面形成有导电性和耐腐蚀性优异的涂层。
[0004]专利文献1:(日本)特开2010-272490号公报
【发明内容】
_5] 发明要解决的问题
[0006]虽然可以利用间歇式来对调整了偏压的工件进行涂敷，但本发明人的目的是提高批量生产性，因而对在线式进行了深入的研宄。
[0007]本发明是由该研宄结果做成的，目的在于提供一种批量生产性优异、并且可以对工件施加适合的偏压的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法。
_8] 用于解决问题的方案
[0009]用于达成上述目的的在线式涂敷装置具有:涂敷部，其用于对工件进行涂敷；输送部，其用于在涂敷部中输送工件。在涂敷部具有排列成列的多个涂敷材料。输送部以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送多个工件。在线式涂敷装置具有电压施加部，在输送工件并使工件与涂敷材料相对时，该电压施加部用于向工件施加偏压以使工件吸引从涂敷材料释放出的微粒。电压施加部可在工件与一个涂敷材料相对时和工件与其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。
[0010]用于达成上述目的的在线式涂敷方法具有涂敷工序，在该涂敷工序中，以使多个工件与排列好的多个涂敷材料相对的方式输送多个工件，并且当工件与涂敷材料相对时，利用向工件施加的偏压使工件吸引从涂敷材料释放出的微粒，从而进行涂敷。在涂敷工序中，在工件与一个涂敷材料相对时和在工件与不同于这一涂敷材料的其他涂敷材料相对时对工件施加不同的偏压。
[0011]用于达成上述目的的隔板具有在具有矩形形状的薄板状的基材上形成有涂层的结构。构成矩形形状的外周的一边的端面具有与构成其他剩余的边的端面不同的性状。_2] 发明的效果
[0013]具有上述结构的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法，因为以使多个工件与多个涂敷材料相对的方式输送多个工件，而能够连续执行多个工件的涂敷，所以批量生产性优异。另外，具有上述结构的在线式涂敷装置和在线式涂敷方法，因为在工件分别与不同的涂敷材料相对时的各种情况下能够对工件施加不同的偏压，所以，能够针对每个涂敷材料施加适合的偏压。
[0014]具有上述结构的隔板以如下方式形成:以将作为工件的多个薄板状的基材沿着线状构件的长度方向并列吊挂起来的方式将各基材的端部钩挂在线状构件上来输送基材的同时对基材进行了涂敷后，将钩挂在线状构件上的基材的端部除去而形成隔板。采用该隔板，因为构成输送部件的线状构件被作为工件的基材的端部所盖住，所以能够防止涂敷材料向线状构件的附着，从而减少了维护的麻烦。因此，批量生产性优异。另外，因为基材的端部钩挂在线状构件上，因此通过基材的端部向输送的基材施加与涂敷材料相应的适合的偏压。
【附图说明】
[0015]图1是表示第I实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
[0016]图2是表示第2实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的俯视图。
[0017]图3是表示第2实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的、沿着图2的3-3线的侧视图。
[0018]图4是表示第3实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
[0019]图5是表示第4实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的侧视图。
[0020]图6是表示第5实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的图。
[0021]图7是表示沿着图6的7-7线的剖面图。
[0022]图8是示意性地表示将形成隔板时的基材端部切断的图。
[0023]图9是示意性地表示所形成的隔板的俯视图。
[0024]图10是表示第6实施方式的在线式涂敷装置的概要结构的图。
[0025]图11是从图10的附图标记9进行观察的向视图。
【具体实施方式】
[0026]以下，一边参照添附的附图一边说明本发明的实施方式。另外，附图的尺寸比例为了便于说明而有所夸大，与实际的比例不同。
[0027](第I实施方式)
[0028]如图1所示，第I实施方式的在线式涂敷装置10具有可输送多个工件W的带式输送机13(输送部)。在线式涂敷装置?ο具有:氧化膜除去部11，其通过撞击(日文:求y一卜>卜)处理将工件w表面的氧化膜除去；涂敷部12，其用于对工件w进行涂敷。在线式涂敷装置10具有在撞击处理和涂敷期间对工件W施加偏压的电压施加部14。
[0029]工件W是具有薄板形状的金属制的基材。通过对工件W实施涂敷等，而形成用于燃料电池的隔板。
[0030]带式输送机13具有沿着工件W的输送方向隔开间隔地设置的多个导电部130和设置在导电部130之间的绝缘部131。导电部130和绝缘部131构成带式输送机13的带部。
[0031]导电部130例如由金属形成。绝缘部131例如由树脂形成。带式输送机13将工件W载置在导电部130上进行输送。工件W与导电部130接触且电连接。
[0032]氧化膜除去部11具有:腔室110，在其内部配置有带式输送机13 ;电极111，其以与工件W相对的方式配置。用于对腔室110内进行排气的真空泵和用于向腔室110内导入稀有气体的稀有气体导入部与腔室110相连通。氧化膜除去部11相对于涂敷部12而言设置在工件W的输送方向上游侧。
[0033]涂敷部12具有在内部配置有带式输送机13的腔室120。用于对腔室120内进行排气的真空泵和用于向腔室120内导入稀有气体的稀有气体导入部与腔室120相连通。腔室110和腔室120是通过将用于收纳带式输送机13整体的腔室隔开而构成的。向氧化膜除去部11和涂敷部12导入的稀有气体例如是氩气等较重的惰性气体。
[0034]涂敷部12具有以沿着工件W的输送方向与工件W相对的方式配置的4个靶材121、122、123、124(涂敷材料)。靶材的数量并不限于此。形成靶材121、122的材料例如是铬。形成靶材123、124的材料例如是碳。形成靶材的材料并不限于此。
[0035]收纳有工件W的加载互锁真空室15相对于腔室110而言在工件W的输送方向上游侧与腔室I1相邻地设置。多个工件W收纳于配置在加载互锁真空室15内的箱150中。例如，工业用机器人在加载互锁真空室15内从箱150中取出工件W并将工件W载置在带式输送机13的导电部130上。用于对加载互锁真空室15内进行排气的真空泵与加载互锁真空室15相连通。
[0036]用于收纳工件W的加载互锁真空室16相对于腔室120而言在工件W的输送方向下游侧与腔室120相邻地设置。涂敷过的工件W由带式输送机13输送并收纳于配置在加载互锁真空室16内的箱160中。用于对加载互锁真空室16内进行排气的真空泵与加载互锁真空室16相连通。
[0037]电压施加部14具有用于产生偏压的电源140、电源141、电源142、电源143以及电源144。电源140、电源141、电源142、电源143以及电源144所产生的偏压各不相同。
[0038]电压施加部14在与电极111相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷145。电源140和电刷145电连接。电源140和电极111电连接。
[0039]电压施加部14在与靶材121相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷146。电源141和电刷146电连接。电源141和靶材121电连接。
[0040]电压施加部14在与靶材122相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷147。电源142和电刷147电连接。电源142和靶材122电连接。
[0041]电压施加部14在与靶材123相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷148。电源143和电刷148电连接。电源143和靶材123电连接。
[0042]电压施加部14在与靶材124相对的位置上具有与带式输送机13的带部滑动接触的电刷149。电源144和电刷149电连接。电源144和靶材124电连接。
[0043]随着利用带式输送机13进行工件W的输送，各个电刷145、146、147、148、149反复进行与导电部130接触和与绝缘部131接触的动作。
[0044]针对本实施方式的在线式涂敷方法进行描述。本实施方式的在线式涂敷方法具有:氧化膜除去工序，在该氧化膜除去工序中，利用撞击处理除去工件W表面的氧化膜；涂敷工序，该涂敷工序在氧化膜除去工序后，通过溅镀对工件W进行涂敷。
[0045]当导电部130与工件W—起移动而与电刷145接触、并且工件W与电极111相对时，对工件W进行撞击处理。
[0046]通过借助导电部130将工件W和电源140电连接，从而将由电源140产生的偏压施加于工件W。由电源140产生的偏压比由电源141、142、143、144各自产生的偏压大。
[0047]当由电源140产生的偏压施加于工件W时，在由于工件W和电极111之间的电位差而这些构件间的气体被离子化的同时离子被吸引到工件W表面并进行碰撞。其结果，将工件W表面的氧化膜除去。
[0048]在工件W与电极111相对时，虽然可以临时使工件W停止以进行撞击处理，但通过不使工件W停止地一边输送一边进行撞击处理，能够提高批量生产性。
[0049]当导电部130进行移动而从电刷145离开、绝缘部131与电刷145接触时，工件W和电源140的电连接被切断，因此，撞击处理停止。
[0050]当导电部130与工件W—起移动而与电刷146接触、并且工件W与靶材121相对时，对工件W进行涂敷。
[0051]通过借助导电部130将工件W和电源141电连接，从而对工件W施加由电源141产生的偏压。当对工件W施加由电源141产生的偏压时，由于工件W和靶材121之间的电位差而