多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法。
【背景技术】
[0002]半导体集成电路制造工艺中，以液体气化反应成膜的制程正在被广泛应用，而TEOS(四乙基氧化硅)淀积二氧化硅因为具有更好的台阶覆盖率被运用在65nm及以下的线宽工艺中。
[0003]目前，业界主要采用应用材料公司的多管路液体气化反应成膜设备。这种设备可通过提供不同流量的TEOS来制备不同性质的Si02。当设备有两路及两路以上的TEOS管路时，其中使用的一路TEOS管路在液体气化之后会有气体流通到其他未被使用的TEOS管路中，这部分滞留在其他管路中的气体会被一直留在管路中，在使用本身这一路管路时会成为颗粒源，被带到反应腔体而影响薄膜的颗粒表现。
【发明内容】
[0004]本发明提供一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，以改善使用液体气化反应成膜方式制程的颗粒表现。
[0005]为解决上述技术问题，本发明提供一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，该多管路液体气化反应成膜设备包括多条进气管路、抽气栗和反应腔室，多条进气管路共同通入反应腔室，所述抽气栗与反应腔室以及位于进气管路的支流阀连接，在进气管路中通入载气和反应气，使滞留气体、杂质通过支流阀被抽气栗吸走；接着，调节支流阀使载气和反应气进入到反应腔室进行化学反应，反应完成后，由抽气栗抽走所述反应腔室中的剩余废气。
[0006]作为优选，所述进气管路包括载气管路和反应气管路，该载气管路和反应气管路部分重合，所述支流阀设置在重合的管路上。
[0007]作为优选，该重合的管路上还设置有高温净化器和调节阀，该高温净化器和调节阀均设置在支流阀的进气端。
[0008]作为优选，所述载气管路中还设置有过滤器和气体流量控制器，所述反应气管路中还设置有流量计。
[0009]作为优选，所述在进气管路中通入载气和反应气，使滞留气体、杂质通过支流阀被抽气栗吸走的步骤包括:首先，打开抽气栗并调节支流阀，接着，打开载气管路上的过滤器、气体流量控制器以及高温净化器，通入载气，使载气经过过滤器、气体流量控制阀和高温净化器后进入到支流阀中；接着，再打开反应气管路上的流量计，使反应气经流量计在高温净化器中与载气混合，经调节阀进入到支流阀中，直至抽气栗将支流阀中的滞留气体、杂质吸走。
[0010]作为优选，所述高温净化器中的净化温度为160°C。
[0011]作为优选，所述支流阀和反应腔室均位于加热套区域内，所述反应腔室内载气和反应气的化学反应温度为110°c。
[0012]作为优选，在进气管路中通入载气和反应气的时间为5-10S，再调节支流阀使载气和反应气进入到反应腔室进行化学反应。
[0013]与现有技术相比，本发明的多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，该多管路液体气化反应成膜设备包括多条进气管路、抽气栗和反应腔室，多条进气管路共同通入反应腔室，所述抽气栗与反应腔室以及位于进气管路的支流阀连接，在进气管路中通入载气和反应气，使滞留气体、杂质通过支流阀被抽气栗吸走；接着，调节支流阀使载气和反应气进入到反应腔室进行化学反应，反应完成后，由抽气栗抽走所述反应腔室中的剩余废气。本发明通过优化化学反应开始前流经进气管路的载气和反应气的流向，使其先流向支流阀，并利用抽气栗将滞留气体和杂质抽走，取代了传统制程程式中将载气和反应气直接流入反应腔室的方法，减少因为上一次制程后被滞留在进气管路中的残留气体和杂质直接进入反应腔室，有效改善了成膜后的颗粒表现。
【附图说明】
[0014]图1为本发明的【具体实施方式】中多管路液体气化反应成膜设备的结构示意图；
[0015]图2为本发明的【具体实施方式】中多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法的流程图。
[0016]图中所示:100-进气管路、110-支流阀、120-调节阀、130-高温净化器、140-过滤器、150-气体流量控制器、160-流量计、200-反应腔室、300-抽气栗。
【具体实施方式】
[0017]为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的【具体实施方式】做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
[0018]如图1和图2所示，本发明提供一种多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法，其目的在于，改善多管路液体气化反应成膜设备中气体的流向，从而使上一次制成后被滞留在管路中的残留气体和杂质被清除掉，避免滞留气体和杂质进入到反应腔室中，对液体气化反应成膜方式制程中的颗粒表现造成影响。
[0019]首先，请重点参照图1，该多管路液体气化反应成膜设备包括多条进气管路100、抽气栗300和反应腔室200，所述多条进气管路100共同通入反应腔室200，所述抽气栗300与反应腔室200以及位于进气管路100上的支流阀110连接，具体地，该支流阀110设置在所述进气管路100靠近反应腔室200的一端。
[0020]作为优选，所述进气管路100包括载气管路和反应气管路，且所述载气管路和反应气管路部分重合，所述支流阀110设置在重合的管路上。该重合的管路上还设置有高温净化器130和调节阀120，该高温净化器130和调节阀120均设置在支流阀110的进气端。非重合部分的载气管路中还设置有过滤器140和气体流量控制器150，所述反应气管路中还设置有流量计160。换句话说，载气和反应气分别进行流量调节以后经高温净化器130混合净化后，再经重合的管路共同通入到反应腔室200中，所述高温净化器130中的净化温度为160°C，可以有效去除水汽、杂质。
[0021]请结合图2，本发明的多管路液体气化反应成膜设备气流控制方法包括以下步骤。
[0022]首先，在进气管路100中通入载气和反应气，使进气管路100中的