高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种研磨工艺，特别是一种高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工
-H-
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【背景技术】
[0002]随着半导体产品升级换代，特别28匪以下的半导体产品的生产，其集成电路产业对电子材料特别是电子化学品的纯度和有害杂质的要求越来越高。电子材料依赖进口的情况随着国家对其扶持，不少已实现国产化，而高纯及超高纯电子化学品的规模化不仅仅是简单的提纯生产，还必须依靠分装、储存、运输、安全管理等各个环节才能实现，其中高纯及超纯电子化学品的包装物是国产电子材料规模化生产中的那块短板，其各类高纯化学品包装容器目前只能依靠国外进口。而根据高纯及超纯电子化学品的要求，其包装容器充装高纯及超高纯化学品的需要，容器内壁的光洁度达标是其容器生产的首要条件。
[0003]目前，国内外使用的内壁处理技术基本采用的抛丸打磨的工艺进行处理，这种处理方式存在以下问题:1、打磨后内壁的光洁度较低(一般在0.3S左右)，且内壁光洁度相对不够均匀；2、打磨后内壁颗粒及金属离子附着率较高，且此类物质难以完全去除，导致产品质量差。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，通过该研磨工艺研磨后的容器具有内壁光洁度高的特点。
[0005]本发明的目的可通过下列技术方案来实现:高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺，其特征在于，该研磨工艺包括以下步骤:a、准备待研磨的容器山、粗磨:按照容器体积的大小装入适量的粗磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机10-15个小时，使粗磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行粗磨；c、第一次清洗:将容器中的粗磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使粗磨料全部脱离容器；d、第一次吹干:利用气体吹干装置对容器进行吹干；e、精磨:按照容器体积的大小装入适量的精磨料，将容器安装到研磨机上，开启研磨机20-25个小时，使精磨料在容器内进行滚动，从而对容器内壁进行精磨，精磨料的外径小于粗磨料的外径；f、第二次清洗:将容器中的精磨料倒出，通过清洗装置对容器内壁进行清洗，使精磨料全部脱离容器；g、第二次吹干:利用气体吹干装置对容器进行吹干，从而完成容器的研磨。
[0006]采用以上工艺，通过对容器进行粗磨、清洗、吹干、精磨、再清洗和再吹干的方式，可对各类形状容器的整个内壁进行研磨，同时，可使容器的内壁能达到所需的光洁度，产品光洁度好。
[0007]所述步骤b和e中的研磨机包括机架，在机架上设置有能转动的转动轴，转动轴的两端均通过轴向固定且周向转动的方式设置在机架上，转动轴一端的端部连接有能驱动转动轴转动的动力机构，在转动轴中部通过连接支架固定有安装板，所述的安装板上设置有能将容器定位住的定位结构，在安装板下部设置有震动电机。
[0008]本研磨机的工作原理如下:在容器中放入相应类型的磨料，将容器通过定位结构定位在安装板上，通过动力机构带动转动轴转动，转动轴带动连接支架转动，连接支架带动安装板转动，安装板带动容器转动，同时，开启震动电机，震动电机使容器产生震动，随着磨料在容器内转动和震动，可对容器的整个内壁进行打磨，从而提高研磨效果。
[0009]所述的动力机构包括PLC可编程控制器、高速旋转电机、步进电机和超越离合器，超越离合器具有输出端、输入端一和输入端二，高速旋转电机和输入端一相连接，步进电机和输入端二相连接，输出端与上述的转动轴相连接，所述的高速旋转电机、步进电机和超越离合器均通过线路与PLC可编程控制器相连接。
[0010]当粗磨时，即:需要使转动轴高速转动，通过PLC可编程控制器使高速旋转电机和输入端一相连接，高速旋转电机带动超越离合器的输入端一转动，超越离合器的输出端带动转动轴转动，从而使转动轴高速转动；当精磨时，即:需要使转动轴低速转动，通过PLC可编程控制器使步进电机和输入端二相连接，步进电机带动超越离合器的输入端二转动，超越离合器的输出端带动转动轴转动，从而使转动轴低速转动，变速方便。
[0011]作为另外一种情况，所述的动力机构包括步进电机和联轴器，步进电机固定在机架上，联轴器设置在步进电机的输出轴和上述的转动轴之间。
[0012]当需要使转动轴转动时，控制步进电机的输出轴转动，步进电机的输出轴通过联轴器带动转动轴转动，从而使转动轴转动。
[0013]所述的定位结构包括开设在安装板上的定位槽、左定位件、右定位件和定位绳，在安装板上固定有左基座，在左基座和定位槽之间固定有左导轨，左定位件设置在左导轨中，在左定位件和左基座之间设置有左弹簧，左弹簧一端固定在左定位件上，左弹簧另一端固定在左基座上；在安装板上固定有右基座，在右基座和定位槽之间固定有右导轨，右定位件设置在右导轨中，在右定位件和右基座之间设置有右弹簧，右弹簧一端固定在右定位件上，右弹貪另一端固定在右基座上；在安装板上固定有左挂环一、左挂环一■、右挂环一和右挂环二，左挂环一和左挂环二分别设置在定位槽的两侧，右挂环一和右挂环二分别设置在定位槽的两侧，左挂环一和右挂环一处于定位槽的同一侧，定位绳包括定位绳一和定位绳二，定位绳一的一端固定在左挂环一上，定位绳一的另外一端能固定在右挂环二上，定位绳二的一端固定在左挂环二上，定位绳二的另外一端能固定在右挂环一上。
[0014]当需要将容器定位在安装板上时，将容器放在定位槽中，在左弹簧的弹力作用下，左弹簧推动左定位件沿着左导轨移动，左定位件将容器的一端定位住，同时，在右弹簧的弹力作用下，右弹簧推动右定位件沿着右导轨移动，右定位件将容器的另一端定位住；将定位绳一的一端固定在左挂环一上，将定位绳一的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环二上，将定位绳二的一端固定在左挂环二上，将定位绳二的另一端绕过容器的侧面固定在右挂环一上，从而可将容器定位在安装板上，定位可靠、方便。
[0015]所述的左定位件朝向右定位件的一侧上固定有左橡胶垫，所述的右定位件朝向左定位件的一侧上固定有右橡胶垫。
[0016]采用以上结构，通过左橡胶垫可避免左定位件和容器的一端直接接触，通过右橡胶垫可避免右定位件和容器的另一端直接接触，对容器起到有效的保护，防护作用好。
[0017]所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，在底座上设置有储存桶、水栗、喷枪、立柱和机械手，所述立柱垂直设置在底座上，立柱上端设置有连接板，机械手设置在连接板下部处，在机械手下部设置有回收桶，回收桶上部设置有过滤网，在储存桶内设置有超纯水，水栗一端与储存桶相连通，水栗另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置，且喷枪与一能带动其上下升降的升降定位结构相连；在连接管中还设置有流量调节阀；所述的回收桶上部具有成喇叭状的回收部，上述的过滤网设置在回收部处；所述的回收桶通过回流管与储存桶相连通，所述的回收桶处于储存桶上方。
[0018]本清洗装置的工作原理如下:通过机械手将容器夹持住，并使容器的瓶口朝下，通过升降定位结构将喷枪的出水口处于容器的内部，开启水栗，水栗通过连接管将储存桶中的超纯水输送到喷枪处，通过流量调节阀将喷枪处的超纯水流量调节到所需值，喷枪将容器的内壁清洗干净，使用过的超纯水在重力作用下，流到回收部处，通过过滤网将其过滤，过滤好的超纯水流到回收桶中，回收桶中的超纯水通过回流管流回到储存桶中，将容器从机械手上取下，从而完成其清洗作业，清洗快速、方便。
[0019]作为另外一种情况，所述步骤c和f中的清洗装置，包括底座，底座两端分别竖直设置有主动轴和从动轴，主动轴与一能带动其转动的驱动电机相连接，主动轴上固定有主动链轮一和主动链轮二，从动轴上固定有与主动链轮一相对应的从动链轮一和与主动链轮二相对应的从动链轮二，主动链轮一和从动链轮一之间设置有链条一，主动链轮二和从动链轮二之间设置有链条二，链条一和链条二之间固定有若干安装块，安装块上设置有机械手，在底座上还设置有储存桶、水栗、喷枪和立柱，立柱固定在底座上，在储存桶内设置有超纯水，水栗一端与储存桶相连通，水栗另一端通过连接管与喷枪相连通，所述的喷枪的出水口向上设置