移动靶镀膜装置及镀膜方法
【技术领域】
[0001]本公开涉及移动靶镀膜装置及镀膜方法，尤其涉及具备红外温度探测部、红外加热部的移动靶镀膜装置及镀膜方法。
【背景技术】
[0002]利用有机材料的光电器件近年来获得了越来越多的重视。主要原因在于，制造这种器件所使用的许多材料相对便宜，因此与采用无机材料的光电器件相比，有机光电器件潜在地具有成本优势。另外，有机材料的固有性能，例如其柔性，可使得它们非常适合于特定的应用，例如基于柔性基底的发光器件。有机光电器件的实例包括有机发光器件(0LED)、有机光敏晶体管、有机光生伏打电池和有机光检测器。例如，对于0LED来说，有机材料相对于非有机材料具有性能和制备工艺方面的优势。例如，通常可容易地采用合适的掺杂剂微调有机发射层发光时的波长。
[0003]有机光电器件，例如薄膜晶体管(TFT)、发光二极管(LED)和光生伏打(PV)电池在过去十年来赢得了研究者相当大的关注。有机半导体可沉积在各种基底上，当与无机半导体相比时，这将潜在地简化并降低制造成本。虽然具备上述优势，但有机半导体独特的加工要求也可能会限制其应用。例如，发光器件和光生伏打(PV)电池典型地由夹在导电电极之间的共轭聚合物或单体的薄膜组成。对于全色显示器和多晶体管电路来说，活性有机层本身还必须被横向构图。然而，典型的有机层太脆，以致于无法耐受常规的半导体加工方法，例如光刻法、等离子体加工或反应性离子蚀刻等。因此研究人员开发了许多制造和构图技术来适应有机材料这些独特的性质，这些技术主要强调加工的容易程度和低成本。
【发明内容】
[0004]本发明的实施例提供一种移动靶镀膜装置，包括靶源、靶源承载部、用于检测所述靶源表面温度的红外温度探测部、用于加热所述靶源的红外加热部、控制部；其中，所述靶源承载部承载所述靶源并可驱动所述靶源在三维方向自由移动;所述红外温度探测部和所述红外加热部与所述控制部信号连接，所述控制部接收所述红外温度探测部的探测信号，判断所述靶源表面温度是否均匀，当所述控制部判断所述靶源表面某部分温度低于其他部分的温度且温度差值超过设定值时，则控制所述红外加热部加热所述温度较低的部分靶源表面，至所述靶源表面温度均匀时停止加热。
[0005]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外温度探测部和所述红外加热部与所述靶源承载部连接，且随其同步移动。
[0006]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述靶源表面与所述红外加热部表面平行;所述靶源表面在所述红外加热部表面所在的平面上的投影在所述红外加热部表面的范围内，或者所述红外加热部表面在所述靶源表面所在的平面上的投影在所述靶源表面的范围内。
[0007]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外温度探测部设置在所述靶源表面与所述红外加热部表面之间。
[0008]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述靶源面积小于或等于所述红外加热部面积。
[0009]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外加热部由多个红外加热辐射片组成，当所述控制部判断所述靶源表面某部分温度低于其他部分的温度且温度差值超过设定值时，所述控制部启动与所述温度较低的部分靶源表面相对的红外加热辐射片，加热所述温度较低的部分靶源表面，至所述靶源表面温度均匀时停止加热。
[0010]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，在所述每个红外加热辐射片上设置有辐射汇聚结构。
[0011]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外加热部包括一个红外加热辐射片，当所述控制部判断所述靶源表面某部分温度低于其他部分的温度、且温度差值超过设定值时，所述控制部控制所述红外加热辐射片转向并加热所述温度较低的部分靶源表面，至所述靶源表面温度均匀时停止加热。
[0012]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，其中所述靶源表面为一整体。或者，所述靶源表面由多个分立的子靶源组成。
[0013]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述多个分立的子靶源排布为环形。
[0014]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述靶源承载部包括导轨和靶源支撑件，当所述靶源需要移动时，所述靶源支撑件在所述导轨上移动。
[0015]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述导轨为磁悬浮轨道，且所述磁悬浮轨道和所述靶源支撑件之间产生电磁排斥力，将所述靶源支撑件托起到悬浮状
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[0016]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述导轨为气垫轨道，所述气垫轨道上设置有朝向所述靶源支撑件的多个气孔，所述气垫轨道上的多个气孔喷出高速气体，将所述靶源支撑件托起到悬浮状态。
[0017]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述靶源平行于地面设置，所述红外加热部设置在所述靶源上方。
[0018]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外加热部平行于地面设置，所述靶源设置在所述红外加热部上方。
[0019]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述靶源和所述红外加热部均垂直于地面设置。
[0020]在本发明的实施例提供的移动靶镀膜装置中，例如，所述红外温度探测部包括红外摄像管。
[0021]本发明的实施例还提供一种采用移动靶镀膜装置镀膜的方法，所述移动靶镀膜装置包括:靶源、靶源承载部、用于检测靶源表面温度的红外温度探测部、用于加热靶源的红外加热部、控制部，其中，所述靶源承载部承载所述靶源并可驱动所述靶源在三维方向自由移动，所述红外温度探测部和所述红外加热部与所述控制部信号连接，所述方法包括:所述控制部接收所述红外温度探测部的探测信号，判断所述靶源表面温度是否均匀；当所述控制部判断所述靶源表面某部分温度低于其他部分的温度且温度差值超过设定值时，则控制所述红外加热部加热所述温度较低的部分靶源表面，至所述靶源表面温度均匀时停止加热。
【附图说明】
[0022]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本发明的一些实施例，而非对本发明的限制。
[0023]图1为本发明一实施例提供的移动靶镀膜装置结构示意图；
[0024]图2为本发明又一实施例提供的移动靶镀膜装置结构示意图；
[0025]图3为本发明一实施例提供的移动靶镀膜装置中靶源和红外加热部的俯视图；
[0026]图4为本发明又一实施例提供的移动靶镀膜装置中靶源和红外加热部的俯视图；
[0027]图5为本发明一实施例提供的移动靶镀膜装置中的红外加热辐射片、旋转电机结构示意图。
【具体实施方式】
[0028]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0029]除非另作定义，本公开所使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一” “第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量