电阻加热装置及电阻加热式蒸发源的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空蒸镀装置，具体涉及一种电阻加热装置及电阻加热式蒸发源。
【背景技术】
[0002]真空蒸发镀膜是一种常用的镀膜工艺，广泛地用于半导体器件、金属以及其他功能性材料的薄膜制备。蒸发源是真空蒸发镀膜设备最为关键的部件。根据加热方式的不同，蒸发源可以分为电子束加热蒸发源和电阻加热式蒸发源。电阻加热式蒸发源是利用电阻丝通电后产生的热量加热坩埚中的蒸发物料使其汽化，电阻加热式蒸发源具有结构简单、蒸发效率高、温度稳定和加热均匀等优点，已大量用于工业和实验室中。
[0003]电阻加热式蒸发源主要包括电阻加热装置和坩埚，为了避免蒸发物料与坩埚混合或反应，对不同的蒸发物料，往往需要使用不同材质的坩埚。坩埚的形状和结构受坩埚材质的限制，而坩埚的形状和结构决定了坩埚安装难易程度和蒸发源安装角度。现有技术中的电阻加热式蒸发源中的电阻加热装置和坩埚的装配是一一对应的，当需要更换蒸发物料时，只能更换整个电阻加热式蒸发源。
【发明内容】
[0004]针对上述问题，本发明的一个实施例提供了一种电阻加热装置，包括:
[0005]固定底台，所述固定底台具有相对设置的内表面和外表面，所述固定底台还具有贯穿所述内表面和外表面的第一电极通孔和第二电极通孔；
[0006]位于所述内表面一侧的电阻丝；
[0007]与所述电阻丝的两端分别电连接的第一内电极和第二内电极；
[0008]第一外电极和第二外电极，所述第一外电极与所述第一内电极在所述第一电极通孔处可拆卸电连接，所述第二外电极与所述第二内电极在所述第二电极通孔处可拆卸电连接。
[0009]优选的，所述电阻丝呈螺线管状且限定了一圆柱状容纳空间，所述圆柱状容纳空间具有垂直所述内表面的中心线。
[0010]优选的，所述固定底台还具有贯穿所述内表面和外表面的第三通孔，所述电阻加热装置还包括穿设在所述第三通孔中的热电偶。
[0011]优选的，所述电阻加热装置还包括坩埚容纳筒，所述坩埚容纳筒包括:
[0012]容纳筒，所述容纳筒呈一端开口的筒状；以及
[0013]固定底板，所述固定底板具有分别与所述第一电极通孔和第二电极通孔对应的第一底板通孔和第二底板通孔，所述固定底板通过所述第一内电极、第一外电极、第二内电极和第二外电极与所述固定底台相连接。
[0014]优选的，所述第一内电极和第一外电极中的其中一个穿过所述第一电极通孔和第一底板通孔与另一个可拆卸连接，所述第二内电极和第二外电极中的其中一个穿过所述第二电极通孔和第二底板通孔与另一个可拆卸连接。
[0015]优选的，所述第一内电极和第二内电极分别具有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外电极和第二外电极分别具有第一内螺纹和第二内螺纹，所述第一内电极的第一外螺纹依次穿过所述第一底板通孔和第一电极通孔后与所述第一外电极的第一内螺纹配合连接，所述第二内电极的第二外螺纹依次穿过所述第二底板通孔和第二电极通孔后与所述第二外电极的第二内螺纹配合连接。
[0016]优选的，所述第一外电极和第二外电极分别具有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一内电极和第二内电极分别具有第一内螺纹和第二内螺纹，所述第一外电极的第一外螺纹依次穿过所述第一电极通孔和第一底板通孔后与所述第一内电极的第一内螺纹配合连接，所述第二外电极的第二外螺纹依次穿过所述第二电极通孔和第二底板通孔后与所述第二内电极的第二内螺纹配合连接。
[0017]优选的，所述第一内电极和第一外电极中的其中一个穿过所述第一电极通孔与另一个可拆卸连接，所述第二内电极和第二外电极中的其中一个穿过所述第二电极通孔与另一个可拆卸连接。
[0018]优选的，所述第一内电极和第二内电极分别具有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一外电极和第二外电极分别具有第一内螺纹和第二内螺纹，所述第一内电极的第一外螺纹穿过所述第一电极通孔后与所述第一外电极的第一内螺纹配合连接，所述第二内电极的第二外螺纹穿过所述第二电极通孔后与所述第二外电极的第二内螺纹配合连接。
[0019]优选的，所述第一外电极和第二外电极分别具有第一外螺纹和第二外螺纹，所述第一内电极和第二内电极分别具有第一内螺纹和第二内螺纹，所述第一外电极的第一外螺纹穿过所述第一电极通孔后与所述第一内电极的第一内螺纹配合连接，所述第二外电极的第二外螺纹穿过所述第二电极通孔后与所述第二内电极的第二内螺纹配合连接。
[0020]本发明的一个实施例还提供了一种电阻加热式蒸发源，包括上述的电阻加热装置；以及坩埚。
[0021]本发明的电阻加热装置能够固定不同形状的坩埚并加热，当需要更换蒸发物料时，只需要更换坩埚即可，且更换方便，从而节约了成本，扩展了电阻加热式蒸发源在镀膜工艺中的应用范围。
【附图说明】
[0022]以下参照附图对本发明实施例作进一步说明，其中:
[0023]图1是本发明第一个实施例的电阻加热装置的正视图。
[0024]图2是图1所示的电阻加热装置的分解图。
[0025]图3是图2所示的电阻加热装置的剖视图。
[0026]图4是图1所示的电阻加热装置与一个坩埚装配后的正视图。
[0027]图5是图4所示的坩埚的剖视图。
[0028]图6是图1所示的电阻加热装置与另一个坩埚装配后的正视图。
[0029]图7是本发明较佳实施例的电阻加热式蒸发源的正视图。
[0030]图8是本发明第二个实施例的电阻加热装置的剖视图。
[0031]图9是本发明第三个实施例的电阻加热装置的正视图。
【具体实施方式】
[0032]为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图通过具体实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0033]参见图1?3所示，电阻加热装置10包括电阻丝4、内电极51、内电极52、固定底台7、热电偶9和外电极81、82。
[0034]如图2所示，固定底台7的材质可以是氧化铝、陶瓷等绝缘绝热材质，其呈圆形板状，具有相对设置的内表面74和外表面75。如图3所示，固定底台7上具有贯穿内表面74和外表面75的通孔71、通孔72和通孔73，通孔73位于或大致位于固定底台7的中心。
[0035]如图1所示，电阻丝4位于固定底台7的内表面74的一侧，其材质可以是钨或钽，在通电的情况下，用于将电能转换为热能。电阻丝4呈螺线管状，从而限定了一圆柱状容纳空间。该圆柱状容纳空间的中心线L垂直内表面74。电阻丝4在不受外力压缩的自然状态下，其任意两点都不短路。
[0036]如图3所不，内电极51、52完全相同,且都为金属电极。内电极51、52的一个端部具有外螺纹511、521。外电极81、82也完全相同，且都为金属电极。外电极81、82分别具有与内电极51、52的外螺纹511、521配合连接的内螺纹811、821。如图1和图3所示，内电极51、52的外螺纹511、521分别穿过通孔71、72与外电极81、82的内螺纹811、821配合连接，从而内电极51和外电极81固定在固定底台7上，使得内电极51和外电极81可拆卸电气连接。同样，内电极52和外电极82固定在固定底台7上，使得内电极52和外电极82可拆卸电气连接。
[0037]热电偶9采用现有技术中的热电偶，热电偶9穿设在通孔73中，用于测量电阻丝4或其附近的温度。
[0038]图4是图1所示的电阻加热装置10与一个坩埚11装配后的正视图。图5是坩埚11的剖视图。如图5所示，坩埚11包括坩埚筒111和坩埚底板112，坩埚11可以是由易成型的材料一体成型制造。坩埚筒111呈一端开口的筒状。坩埚底板112上具有分别与通孔71和通孔72对应的坩埚底板通孔1121、1122，坩埚底板112上还具有与通孔73相对应的盲孔1123。如图4所示，电阻丝4套设在坩埚筒111上，坩埚底板112与固定底台7的内表面74相接触。内电极51的外螺纹511依次穿过坩埚底板通孔1121和通孔71后与外电极81的内螺纹811配合连接，同样内电极52的外螺纹521依次穿过坩埚底板通孔1122和通孔72后与外