一种研磨液的双供应系统切换装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于溶液添加控制领域，尤其是涉及一种研磨液的双供应系统切换装置。
【背景技术】
[0002]在现有的研磨液供应系统中，往往都是一台供应设备拥有一条循环管路，从而为与其对接的设备提供溶液，这样的对应关系会在供应设备出现异常的情况下影响所有与其连通的后续设备的正常运行，进而影响整个工序的顺利实施。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型旨在提出一种研磨液的双供应系统切换装置，以解决一台供应设备对应一条运输管路而存在的断流风险。
[0004]为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的:
[0005]一种研磨液的双供应系统切换装置，其包括控制器、第一循环控制机构、第二循环控制机构以及连通气动阀组；
[0006]所述第一循环控制机构包括第一供液器和第一气动阀组；所述第一供液器通过循环泵形成液体循环通路，其包括第一供液器的液体出口和回流口，所述第一气动阀组包括第一气动阀和第二气动阀，所述第一供液器的液体出口与第二气动阀的入口端连接，该第二气动阀的出口端通过第一管道与所述第一气动阀的入口端连通且该段第一管道上开有数个第一输出口，所述第一气动阀的出口端与所述第一供液器的回流口连通；
[0007]所述第二循环控制机构包括第二供液器和第二气动阀组，所述第二供液器通过循环泵形成液体循环通路，其包括第二供液器的液体出口和回流口，所述第二气动阀组包括串联连通的第九气动阀和第八气动阀，所述第九气动阀的入口端与所述第二供液器的液体出口连通，所述第八气动阀的出口端与该第二供液器的回流口连通，且第九气动阀和第八气动阀通过第二管道连通，该段第二管道上开有数个第二输出口 ；
[0008]所述连通气动阀组包括第四气动阀和第七气动阀；所述第二气动阀的出口端与第九气动阀的出口端通过第四气动阀连通，所述第一气动阀的入口端与所述第九气动阀的出口端通过第七气动阀连通；
[0009]所述控制器分别与所述连通气动阀组、第一气动阀组和第二气动阀组电连接。
[0010]进一步的，所述第一气动阀组还包括第三气动阀，所述第二气动阀的出口端与第一气动阀的入口端之间还连有第三气动阀，所述第三气动阀的出口端通过第一管道与所述第一气动阀的入口端连通。
[0011]进一步的，所述第三气动阀的出口端与所述第八气动阀的入口端通过一第六气动阀连通，所述第六气动阀与控制器电连接。
[0012]进一步的，所述连通气动阀组还包括第五气动阀，所述第五气动阀与所述第四气动阀并排设立且第二气动阀和第九气动阀还通过该第五气动阀连通。
[0013]进一步的，所述第二气动阀组还包括第十气动阀，所述第九气动阀和第八气动阀之间连有所述第十气动阀，第十气动阀出口端和第八气动阀的入口端通过第二管道连通。
[0014]进一步的，所述第十气动阀的出口端与所述第一气动阀的入口端通过一第七气动阀连通，所述第七气动阀与所述控制器电连接。
[0015]相对于现有技术，本实用新型所述的一种研磨液的双供应系统切换装置具有以下优势:
[0016]本实用新型所述的两个循环供应系统之间通过连通气动阀组进行相互连通的设计，可以有效保障两个循环供应系统的正常运行，在其中一个循环供应系统中的输送管路出现异常的情况下，可随时启用另一个循环供应系统对其进行补给输送，以此保证两个循环供应系统均能正常提供液体。
【附图说明】
[0017]构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
[0018]图1为本实用新型实施例所述的研磨液的双供应系统切换装置管路连接示意图。
[0019]附图标记说明:
[0020]1-第一循环控制机构，11-第一供液器，12-第一输出口，121-第一接收器，2_第二循环控制机构，21-第二供液器，22-第二输出口，221-第二接收器，Vl-第一气动阀，V2-第二气动阀，V3-第三气动阀，V4-第四气动阀，V5-第五气动阀，V6-第六气动阀，V7-第七气动阀，V8-第八气动阀，V9-第九气动阀，VlO-第十气动阀。
【具体实施方式】
[0021]需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0022]另外，在本实用新型的实施例中所提到的第一供液器和第二供液器均属于现有技术中可对其他设备提供液体，同时还能对多余液体进行回收的机器。
[0023]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0024]如图1所示，一种研磨液的双供应系统切换装置，其包括控制器、第一循环控制机构1、第二循环控制机构2以及连通气动阀组；
[0025]所述第一循环控制机构I包括第一供液器11和第一气动阀组；所述第一供液器11通过循环泵形成液体循环通路，其包括第一供液器11的液体出口和回流口，所述第一气动阀组包括第一气动阀V1、第二气动阀V2和第三气动阀V3，所述第一供液器11的液体出口与第二气动阀V2的入口端连接，所述第二气动阀V2的出口端与第一气动阀Vl的入口端之间还连有第三气动阀V3，所述第三气动阀V3的出口端通过第一管道与所述第一气动阀Vl的入口端连通且该段第一管道上开有数个第一输出口 12，所述第一输出口 12分别对应一台第一接收器121，该第一接收器即为接受研磨液的机器，所述第一气动阀Vl的出口端与所述第一供液器11的回流口连通；
[0026]所述第二循环控制机构2包括第二供液器21和第二气动阀组，所述第二供液器21通过循环泵形成液体循环通路，其包括第二供液器21的液体出口和回流口，所述第二气动阀组包括依次串联连通的第九气动阀V9、第十气动阀和第八气动阀V8，所述第九气动阀V9的入口端与所述第二供液器21的液体出口连通，所述第八气动阀V8的出口端与该第二供液器21的回流口连通，第十气动阀VlO出口端和第八气动阀V8的入口端通过第二管道连通且该段第二管道上开有数个第二输出口 22，所述第二输出口 22分别对应一台第二接收器221，该第二接收器即为接受研磨液的机器；
[0027]所述连通气动阀组包括第四气动阀V4、第五气动阀V5、第六气动阀V6和第七气动阀V7 ;所述第二气动阀V2的出口端与第九气动阀V9的出口端通过第四气动阀V4连通，所述第一气动阀Vl的入口端与所述第九气动阀V9的出口端通过第