基于mocvd的有机源装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本实用新型涉及MOCVD技术领域，尤其涉及一种基于MOCVD的有机源装置。
【背景技术】
[0002]MOCVD (Metal-organic Chemical Vapor Deposit1n，金属有机化合物化学气相沉淀)是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。
[0003]MOCVD是以m族、Π族元素的有机化合物和V、VI族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种m-v族、π-VI族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(1-1OOTorr)下通载气H2或N2的冷壁石英(不锈钢)反应室中进行，衬底温度为500-1200°C，用射频感应加热石墨基座(衬底基片在石墨基座上方)，载气出或吣通过温度可控的液体源鼓泡携带金属有机物到生长区。
[0004]参图1所示为现有技术中基于MOCVD的有机源装置，其包括一个MO有机源存储装置10，M0有机源存储装置10包括一进口 11和出口 12，进口 11和出口上分别连接有传输管道，载气通过进口 11进入MO有机源存储装置10，并且携MO有机源从出口 12输出，在衬底或外延层上进行外延生长。
[0005]随着行业竞争加剧，如何降低成本成为各公司追求的目标，MO有机源是成本中重要的组成部分，如何提高MO有机源使用率成为节省成本的重点。然而上述有机源装置中，MO有机源的使用率较低，一般会剩余8%-20%;且更换MO有机源存储装置时需要停机操作，降低了生产效率。
[0006]因此，针对上述技术问题，有必要提供一种基于MOCVD的有机源装置。
【实用新型内容】
[0007]本实用新型的目的在于提供一种基于MOCVD的有机源装置，以提高MO有机源的使用率。
[0008]为了实现上述目的，本实用新型实施例提供的技术方案如下:
[0009]一种基于MOCVD的有机源装置，所述有机源装置包括若干MO有机源存储装置，每个MO有机源存储装置均设有进口和出口，第一个MO有机源存储装置上的进口、最后一个MO有机源存储装置上的出口、以及相邻的两个MO有机源存储装置中前一个MO有机源存储装置上的出口和后一个MO有机源存储装置上的进口之间均设有第一传输管道，载气从第一个MO有机源存储装置上的进口进入，依次经过若干MO有机源存储装置后从最后一个MO有机源存储装置上的出口携MO有机源输出至MOCVD反应室。
[0010]作为本实用新型的进一步改进，相邻的所述第一传输管道之间全部或部分设有第二传输管道，所述第二传输管道上设有由于开启或关闭第二传输管道的阀门。
[0011]作为本实用新型的进一步改进，所述阀门全部或部分处于关闭状态。
[0012]作为本实用新型的进一步改进，所述有机源装置包括第一MO有机源存储装置和第二MO有机源存储装置，第一MO有机源存储装置上设有第一进口和第一出口，第二MO有机源存储装置上设有第二进口和第二出口，第一进口上、第二出口上、及第一出口和第二进口之间均设有第一传输管道。
[0013]作为本实用新型的进一步改进，所述第一进口上的第一传输管道和第一出口与第二进口之间的第一传输管道之间、以及第一出口与第二进口之间的第一传输管道和第二出口上的第一传输管道之间分别设有第二传输管道，且两个第二传输管道上分别设有第一阀门和第二阀门。
[0014]作为本实用新型的进一步改进，所述第一阀门和第二阀门至少一个处于关闭状
??τ O
[0015]作为本实用新型的进一步改进，所述载气为Η2或N2。
[0016]本实用新型的有益效果是:
[0017]通过在载气传输管道上设置多个MO有机源存储装置，可以有效提高MO有机源的使用率；
[0018]通过在传输管道上设置阀门，节省了更换MO有机源的生产时间，提升了生产效率，能够进一步降低成本。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为现有技术中基于MOCVD的有机源装置的结构示意图。
[0021]图2为本实用新型一【具体实施方式】中基于MOCVD的有机源装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0022]为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型中的技术方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
[0023]本实用新型公开一种基于MOCVD的有机源装置，该有机源装置包括若干MO有机源存储装置，每个MO有机源存储装置均设有进口和出口，第一个MO有机源存储装置上的进口、最后一个MO有机源存储装置上的出口、以及相邻的两个MO有机源存储装置中前一个MO有机源存储装置上的出口和后一个MO有机源存储装置上的进口之间均设有第一传输管道，载气从第一个MO有机源存储装置上的进口进入，依次经过若干MO有机源存储装置后从最后一个MO有机源存储装置上的出口携MO有机源输出至MOCVD反应室。
[0024]进一步地，相邻的第一传输管道之间全部或部分设有第二传输管道，第二传输管道上设有由于开启或关闭第二传输管道的阀门，阀门全部或部分处于关闭状态。
[0025]参图2所示，在本实用新型的一【具体实施方式】中，有机源装置包括两个MO有机源存储装置，分别为第一 MO有机源存储装置10和第二 MO有机源存储装置20，第一 MO有机源存储装置10上设有第一进口 11和第一出口 12，第二MO有机源存储装置20上设有第二进口 21和第二出口 22。
[0026]第一MO有机源存储装置10和第二 MO有机源存储装置20中分别装有相同的MO有机源，该MO有机源可以为三