一种晶片研磨剂混合输送装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于晶片研磨处理设备领域，具体涉及一种晶片研磨剂的混合输送装置。
【背景技术】
[0002]石英晶体是目前世界上用量最大的晶体。利用石英晶体本身的物理特性制作的电子元件水晶频率片，具有很高的频率稳定性，广泛用于数字电路，计算机、通讯等领域。它的作用就是在电子线路中作为频率源或频率基准，是一个压电元件，能量在电能和机械能状态下每秒转换数百万次。人造水晶棒经过切割、研磨、腐蚀等工序，加工成各种形状的晶片，晶片的频率和厚度成反比，晶片的外观、尺寸和形状对晶片的特性影响很大。石英晶片(半成品)经过焊接电极，安装支架，封装外壳等工序加工成成品的电子元件一石英谐振器(简称晶体)。石英晶体谐振器可以产生稳定频率。现有的石英晶体频率片的制造工艺制造的产品，其厚度研磨时不容易控制，研磨后的晶体就已经决定了晶体的频率，有些厚度较薄的晶片，难以进行调节，甚至直接报废，大大浪费了原材料，导致成本的上升。晶体是由石英晶片、支架、外壳等部分组成的。晶体的种类有49U、49S、UM、SMD (表面贴装)音叉晶体(表晶)。石英晶片和外围电路组成石英晶体器件。主要器件有:晶体滤波器、石英晶体振荡器(ΡΧ0)、温补晶振(TCXO)、压控振荡器、(VCXO)、温控振荡器(OCXO)。
[0003]随着现代社会的高速发展，半导体行业发展越来越来，频率片市场需求量越来越旺盛。频率片的生产工序复杂繁多，每个工序都需要进行严格控制，由石英切割形成的晶片需要经过多到加工才能成为电子应用的晶片，其中研磨工艺最为重要，主要利用研磨剂，在研磨设备中，对晶片上下表面进行加工。该工序主要通过设备使用研磨砂对频率片进行研磨，在研磨过程中需要将研磨剂不断导入设备，通常是使用导管导入，此过程中，研磨剂的均匀度以及输送速率十分关键；目前，一般将研磨剂混合物放入近百升大小的存储桶中，通过存储桶与研磨机之间的研磨剂输送管将研磨剂输送至研磨机中，然后将研磨后的研磨剂通过研磨机与存储桶之间的研磨机回收管回收至存储桶中，可以循环利用。现有技术中，研磨剂混合后，一段时间后，会由于多组分间的不相容性而产生存储桶内各部分研磨剂不均匀的情况，极大地降低了晶片研磨效果，导致晶片研磨报废率高达3%左右。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是提供一种晶片研磨剂混合输送装置，结合有机无机材料混合加工技术，利用循环处理的优点，使得到达研磨机中的研磨剂组成不会随着时间的变化而变化，稳定的研磨剂有利于晶片研磨效果的改善。
[0005]为达到上述实用新型目的，本实用新型采用的技术方案是:一种晶片研磨剂混合输送装置，包括依次连接的反应釜、保温过滤设备、研磨剂存储设备以及研磨剂输送管;所述反应釜包括温度测试仪、粘度测试仪;所述反应釜顶部设有进料口，底部设有出料口 ；所述出料口设有出料阀门；所述保温过滤装置包括倾斜设置的中空柱体;所述中空柱体设有流体进口与流体出口 ；所述中空柱体内，在流体进口与流体出口之间设置600目的滤网；所述中空柱体外侧壁设有加热装置;所述研磨剂存储设备外侧壁设有振动器;所述研磨剂存储设备顶部设有研磨剂入口，侧壁下部设有研磨剂出口 ；所述研磨剂存储设备的体积为5?6升;所述反应Il的出料口与中空柱体的流体进口连接;所述中空柱体的流体出口与研磨剂存储设备的研磨剂入口连接;所述研磨剂存储设备的研磨剂出口与研磨剂输送管连接。
[0006]上述技术方案中，加热装置为柔性加热器，位于中空柱体外侧，可用温控控制。这个创造性的设计使得研磨剂在过滤时粘度适中，不会因为低温流动性差、堵塞网孔、降低过滤效率与精度，同时还会使得体系保持一定的反应活性。
[0007]本实用新型中，中空柱体倾斜是相对于正常的水平或者垂直状态，指使用时，中空柱体非垂直亦非水平，其与水平面有一定角度，柱体优选为圆柱体或者方柱体，两端封闭，内设空腔，空腔用于研磨剂流动与过滤。流体进口与流体出口设置在侧壁上，根据研磨剂流动路径，流体进口在上，流体出口在下。倾斜设置一方面缓冲研磨剂流动动力，增加过滤效果，还可以使得研磨剂受热均匀稳定。倾斜的角度、流体进口与流体出口的高度差、流体进口与流体出口之间的距离不做限定，本领域技术人员根据研磨剂的配方粘度、车间大小、垂直高度自行选择。
[0008]晶片研磨剂中有机物体系与无机体系复杂，具有一定的黏度，需要合理混合才能使不同组分相容性好，保证晶片的研磨效果;而且无机材料易产生集聚效应，产生较大的颗粒，对晶片研磨十分不利。本实用新型公开的中空柱体介于反应釜与研磨剂存储设备之间，利用其内部的滤网，有效过滤研磨剂中的大颗粒物质，保证输送至研磨机内的研磨剂中颗粒均匀，大小符合要求。优选滤网的可拆卸的安装在中空柱体内部，有利于滤网循环使用。具体滤网是否与中空柱体内壁都接触以及滤网是否倾斜等，本领域技术人员根据中空柱体的安装方式、研磨剂的流动方式以及流体进口与流体出口之间的距离自行选择，只要使得从反应釜流入中空柱体的研磨剂可以经过滤网过滤后从中空柱体流出，流至研磨剂存储设备即可；比如可以将滤网水平放置，一端位于流体进口处下方，另一端位于流体出口处上方。
[0009]上述技术方案中，研磨剂存储设备为圆柱形结构或方柱型结构;规则形状美观、易做，主要不会造成研磨剂存放死角。在研磨剂存储设备外侧壁设置振动器，进一步保证研磨剂在输送至研磨机之前，各组分混合的均匀性。研磨剂存储设备通过研磨剂入口接收来自于保温过滤设备的过滤后的研磨剂，再通过研磨剂出口，利用研磨剂输送管将研磨剂输送至研磨机内，用于晶片研磨工艺。研磨剂存储设有的研磨剂入口以及研磨剂出口的位置根据车间布局设计，不会对研磨效果产生影响。
[0010]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具