技术总结
本发明涉及一种用于执行PCVD沉积工艺的设备和方法，其中将一个或多个掺杂或未掺杂的玻璃层涂覆到玻璃基管的内部上，该设备包括：施加器，其具有内壁和外壁；以及微波引导件，用于向着施加器开口，该施加器绕柱轴延伸并且配置有与内壁相邻的通道，经由微波引导件所供给的微波可以经由该通道排出，基管可以沿该柱轴配置，而施加器由沿所述柱轴延伸的加热炉完全包围。
技术研发人员：I·米莉瑟维克;M·J·N·范·斯特劳伦;J·A·哈特苏克
受保护的技术使用者：德拉克通信科技公司
文档号码：201210477438
技术研发日：2012.11.21
技术公布日：2017.07.14