技术总结
本发明涉及一种包括离子注入层，例如阳离子注入层的基板，其中，所述离子注入层的注入离子在比之前可能的深度明显更大的深度均匀分布。本发明还包括所述基板，其中所述基板是硅基基板，比如玻璃。本发明也可以包括将所述材料用作波导和/或将所述材料用于测量设备中。
技术研发人员：琴·乔斯;托尼-泰迪·费尔南德斯;皮特-约翰·格兰特;阿尼姆什·贾;西卡·萨哈;大卫-保罗·斯廷森
受保护的技术使用者：利兹大学
文档号码：201380008820
技术研发日：2013.02.08
技术公布日：2018.04.10