技术总结
本发明涉及一种容纳晶种以便在熔融硅中生长晶锭的晶种卡盘，包括：用于阻挡沿熔融硅的向上方向的热发射的颈盖；以及布置在颈盖的底表面上并容纳晶种的固定部，其中，所述颈盖包括：与提升索连接的顶表面；底表面；以及连接顶表面和底表面的圆周表面，圆周表面形成为相对于底表面具有倾斜角，并且在颈盖中用于测量熔融硅的测量部是开口的，使得颈盖位于上隔热体的孔上，以便在熔化步骤期间使通过上隔热体的孔的热损失最小化且不干扰熔融硅的温度测量，从而有助于熔融硅的温度测量并提高熔融硅温度感测的可靠性。
技术研发人员：姜钟珉;卢台植
受保护的技术使用者：LG矽得荣株式会社
文档号码：201580047651
技术研发日：2015.07.28
技术公布日：2017.05.10