一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉的制作方法

文档序号:12646740阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉,生长炉加热器,包括环形基筒、加热环以及电机,加热环设置在环形基筒的内壁上,且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接,炉体的炉盖上对称设置有两个电机,电机与控制器通过导线连接,电机的输出轴上绕设有提拉线,提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。本发明的蓝宝石晶体生长炉为较为环保的低能耗生长炉,生长炉内的加热器可灵活调节,并且长晶炉还配有换热器,换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换,利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温,带有热量的保护气进入炉体内,能进一步提高炉内的保温效果,实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。

技术研发人员:蔺崇召;姚刚;孙占喜;李吾臣
受保护的技术使用者:许昌天戈硅业科技有限公司
文档号码:201710024371
技术研发日:2017.01.13
技术公布日:2017.06.13

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1