金刚线切割单晶硅片专用碱制绒添加剂及其使用方法与流程

文档序号:14650396发布日期:2018-06-08 21:40阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种金刚线切割单晶硅片专用碱制绒添加剂,包括如下组分:多元醇,聚乙烯醇,阴离子表面活性剂,水溶性硅基消泡剂,硅酸钠和去离子水,多元醇的重量含量为0.5‑5%,聚乙烯醇的重量含量为0.2‑2%,表面活性剂重量含量为0.02‑0.2%,水溶性硅基消泡剂重量含量为0.01‑1%,硅酸钠重量含量为0.5‑5%,余量为去离子水。使用本发明中的添加剂对金刚线切割单晶硅片进行碱制绒后,可缩短制绒时间获得均匀,细小且密集的金字塔绒面,并在制绒液使用后期仍保留较佳的制绒效果,提高制绒工艺的稳定性和一致性,并有效改善制绒后单晶硅片的线痕残留等问题。该添加剂无毒性,易实施,稳定性好,具有很好的实际应用价值。

技术研发人员:陈国涛;夏庆锋;郑庆刚
受保护的技术使用者:宁波道乐新材料科技有限公司
技术研发日:2017.12.03
技术公布日:2018.06.08

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