基板切割装置的制作方法

文档序号:14825731发布日期:2018-06-30 08:23阅读:来源:国知局
基板切割装置的制作方法

技术特征:

1.一种基板切割装置,其特征在于,包括:

第一移送单元,其包括用于支撑基板的第一板;

切割单元,其包括:框体,其向垂直于所述基板被移送的方向延长;头部,其能沿着所述框体而移动地设置,并具备切割轮;及

第二移送单元,其在所述基板被移送的方向上往返移动,所述第二移送单元包括第二板,所述第二板在所述基板被所述切割轮切割时与所述第一板一同支撑所述基板。

2.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,所述第一板、或所述第二板、或所述第一板及第二板在所述基板移动时将所述基板漂浮,在支撑所述基板时吸附固定所述基板。

3.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,所述第一移送单元还包括从外部将所述基板移送至所述切割单元的穿梭单元,

所述穿梭单元包括:导轨,其向所述基板的移送方向延长;穿梭部件,其吸附所述基板的底面并沿着所述导轨移动;穿梭部件升降装置,其用于升降所述穿梭部件。

4.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,所述第一移送单元还包括加压单元,所述加压单元在所述基板移送至所述切割单元时加压所述基板的后行端而对准所述基板,

所述加压单元包括:导轨,其向所述基板的移送方向延长;推进器,其沿着所述导轨移动并加压所述基板的后行端;推进器升降装置,其用于升降所述推进器。

5.根据权利要求4所述的基板切割装置,其特征在于,在所述基板被移送的过程中所述基板的后行端通过所述推进器时,所述推进器比所述基板的移动速度快的速度移动而接触于所述基板的后行端之后,以与所述基板的移动速度相同的速度移动。

6.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,所述头部包括:第一切割轮模块及第二切割轮模块,其在上下方向上隔开设置,并分别具备切割轮;第一辊子模块及第二辊子模块,其在上下方向上隔开设置,并分别具备辊子。

7.根据权利要求6所述的基板切割装置,其特征在于,所述第一切割轮模块的切割轮与所述第二辊子模块的辊子对齐设置,所述第二切割轮模块的切割轮与所述第一辊子模块的辊子对齐设置。

8.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,所述第二移送单元还包括带子,所述带子与所述第二板一同向所述基板被移送的方向移动而将所述基板移送。

9.根据权利要求8所述的基板切割装置,其特征在于,所述第二移送单元还包括升降装置,所述升降装置相对于所述第二板升降所述带子。

10.根据权利要求8所述的基板切割装置,其特征在于,所述第二移送单元在所述基板的一部分固定于所述第一板的状态下将所述基板的另一部分固定于所述第二板,使得所述第二板远离所述第一板,从而分离所述基板。

11.根据权利要求1所述的基板切割装置,其特征在于,还包括虚设消除单元,其设置于所述第一移送单元及所述第二移送单元之间,以消除位于所述基板的先行端、或后行端或先行端及后行端的非有效区域。

12.根据权利要求11所述的基板切割装置,其特征在于,所述虚设消除单元包括:夹具,其用于把持所述基板的非有效区域;夹具驱动装置,其用于垂直及水平移动所述夹具,并以水平轴及垂直轴为中心旋转夹具。

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