单晶炉加热器及单晶炉加热系统的制作方法

文档序号:13852960阅读:来源:国知局
单晶炉加热器及单晶炉加热系统的制作方法

技术特征:

1.单晶炉加热器,包括下发热体和与所述下发热体相连的加热器脚,其特征在于:还包括上发热体和用于连接所述上发热体和所述下发热体的连接件,所述上发热体与所述下发热体可拆卸地连接;所述连接件为导电体材质,所述连接件与所述上发热体、所述下发热体螺纹连接;所述连接件的横截面为“几”形,所述连接件、所述上发热体和所述下发热体都设有通孔,所述连接件与所述上发热体、所述下发热体通过螺栓、螺母连接。

2.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体与所述下发热体的外径相等,所述下发热体的叶片较所述上发热体的叶片小且数量多。

3.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述连接件的数量为两个,两个所述的连接件分设在所述上发热体和所述下发热体的两侧。

4.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体和所述下发热体均为筒型结构。

5.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述上发热体的轴向长度范围为10至400mm,所述下发热体的轴向长度范围为100至500mm。

6.如权利要求1所述的单晶炉加热器,其特征在于:所述加热器脚的数量为两个,所述加热器脚分设于所述下发热体的底部两侧。

7.单晶炉加热系统,包括坩埚和保温套,其特征在于:还包括一个如权利要求1-6中任一项所述的单晶炉加热器和一个电源系统。

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