本实用新型涉及多晶硅还原炉领域,具体涉及一种可调节多晶硅还原炉喷嘴。
背景技术:
近年来,由于光伏行业高速发展对多晶硅产品需求增长,我国多晶硅行业开始了飞速发展,而多晶硅还原炉也成为了多晶硅生产工艺中的核心设备。目前多晶硅还原炉中采用的喷嘴往往是固定在底盘上,无法根据生产工艺调节自身的高度,难以满足生产需要,并且使用过后拆卸、清洗、安装非常困难,不利于操作,影响多晶硅生产的效率。
技术实现要素:
本实用新型的目的就是为了解决上述问题而提供一种可调节多晶硅还原炉喷嘴。
本实用新型的目的通过以下技术方案实现:
一种可调节多晶硅还原炉喷嘴,包括底盘、设于底盘上的辅助管、与辅助管连接的进气管道、套设在进气管道上的喷嘴外套筒以及设于喷嘴外套筒上端的内喷头,所述进气管道为设有外螺纹的全螺纹管道,所述进气管道一端与辅助管螺纹连接,另一端与喷嘴外套筒螺纹连接。
进一步地,所述的辅助管焊接在底盘上。
进一步地,所述内喷头设有外螺纹,螺纹连接在喷嘴外套筒的顶端。
进一步地,所述内喷头中间设有中心通孔。
进一步地,所述喷嘴外套筒内部形成进气腔,所述进气腔从进气管道向内喷头方向逐渐缩小。
进一步地,所述进气管道的外部设有可直观度量喷嘴高度的刻度尺。
本实用新型进气管道通过螺纹连接的方式与辅助管相连,进气管道上方通过螺纹连接与喷嘴外套筒相连,内喷头通过螺纹连接的方式与喷嘴外套筒相连,进气管道、喷嘴的进气腔以及内喷头的中心通孔是连通的,便于改变工作气体的进气速度以及流动方式。进气管道与辅助管以及喷嘴均采用螺纹连接的方式,便于其拆卸和安装,由于不同生产工艺所需要的喷嘴高度并不一样,只需更换不同长度的进气管道或通过螺旋传动方式旋转全螺纹管道,使喷嘴处在不同高度,即可满足不同生产工艺需求。
本实用新型具有的有益效果是:
进气管道采用全螺纹管道,与底盘及喷嘴外套筒采用螺纹连接方式,可根据生产条件需要,利用进气管道与还原炉底盘辅助管、喷嘴外套筒的螺旋传动调节喷嘴高度,满足多晶硅生产工艺要求,也便于喷嘴的拆卸及安装;采用全螺纹管道,微调全螺纹管道即可使喷嘴高度更精确;采用螺纹连接方式将内喷头固定在喷嘴外套筒顶端,同时便于更换中心通孔直径不同或者工艺不同的内喷头,调节速度以满足多晶硅生产工艺的要求。
附图说明
图1为本实用新型多晶硅还原炉喷嘴的正面剖视图;
图2为本实用新型多晶硅还原炉喷嘴进气管道的俯视图;
图中:1-内喷头;2-中心通孔;3-进气腔;4-喷嘴外套筒;5-进气管道;6-刻度尺;7-底盘;8-辅助管。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。
实施例1
一种可调节多晶硅还原炉喷嘴,如图1、2所示,包括内喷头1、喷嘴外套筒4、进气管道5、辅助管8,进气管道5通过螺纹连接的方式与辅助管8相连,进气管道5上方通过螺纹连接与喷嘴外套筒4相连,内喷头1通过螺纹连接的方式与喷嘴外套筒4相连。辅助管8焊接在还原炉底盘7上,进气管道5采用全螺纹管道,通过螺纹连接的方式与底盘7、喷嘴外套筒4相连,可随不同工艺条件利用进气管道5与辅助管8、喷嘴外套筒4的螺旋传动调节喷嘴的高度,便于喷嘴的拆卸及安装,喷嘴外套筒4上方开有内螺纹,开有外螺纹的内喷头1通过螺纹连接的方式与喷嘴外套筒4相连,内喷头1的形式,中心通孔2的大小可随不同工艺条件调节、拆卸及安装。此外,为了便于直观度量喷嘴高度,还可在进气管道5的外部设有刻度尺6。
本实用新型的工作原理如下:
工作气体从进气管道5进入,通过直径递减的进气腔3以及中心通孔2,增大了工作气体的进气速度。进气管道5与辅助管8以及喷嘴外套筒4均采用螺纹连接的方式,便于更换不同长度的进气管道5,调节喷嘴高度,以满足多晶硅生产工艺的要求。采用全螺纹进气管道5,通过螺旋传动可旋转全螺纹进气管道5即可调节喷嘴高度,使之更能满足生产工艺要求。内喷头1以螺纹连接的方式固定在喷嘴外套筒4顶端,便于更换中心通孔直径不同或者工艺不同内喷头,调节速度以满足多晶硅生产工艺的要求。本结构解决了还原炉内部喷嘴拆卸困难,不可调节的问题,提高了多晶硅的生产效率。
上述具体实施方式用来解释说明本实用新型,而不是对本实用新型进行限制,在本实用新型的精神和权利要求的保护范围内,对本实用新型作出的任何修改和改变,都落入本实用新型的保护范围。