技术总结
本发明涉及镀膜领域，公开了退镀剂及其制备方法和应用，该退镀剂中含有独立保存或者混合保存的3～10重量％的组分A、4～10重量％的组分B、0.5～5重量％的碳酸钠、0.5～8重量％的葡萄糖酸钠、1～10重量％的分散剂、1～3重量％的消泡剂、水，所述组分A为氢氧化钠和/或氢氧化钾，所述组分B为十二烷基硫酸钠和/或十二烷基磺酸钠。本发明提供的前述退镀剂能够在不使用F元素的前提下使膜层中的SiO2和/或TiO2反应加速以实现脱落效果。因此，本发明的退镀剂环保性大大提高，并且退镀剂的起泡性大大提高，适用于PVD后的挡板清洗。
技术研发人员：田彪;周重九;魏云鹏;任鹏;段水亮
受保护的技术使用者：韶关比亚迪电子有限公司
技术研发日：2018.09.19
技术公布日：2020.03.27