石英玻璃坩埚的制作方法

文档序号:21279810发布日期:2020-06-26 23:31阅读:来源:国知局

技术特征:

1.石英玻璃坩埚,其特征在于:

该石英玻璃坩埚是单晶硅提拉用石英玻璃坩埚,其具备:

由含有气泡的合成石英熔融玻璃构成、且构成上述石英玻璃坩埚的内面的密封层;

由不含气泡的合成石英熔融玻璃构成、且形成于上述密封层的外侧的合成透明层;

由不含气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于上述合成透明层的外侧的天然透明层;以及

由含有多个气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于上述天然透明层的外侧的天然气泡层,

上述密封层的气泡含量高于上述合成透明层的气泡含量。

2.权利要求1所述的石英玻璃坩埚,其中,上述密封层的厚度为0.1mm以上且2.0mm以下。

3.权利要求1或2所述的石英玻璃坩埚,其中,上述密封层的气泡含量为0.1vol%以上且5.0vol%以下。

4.权利要求3所述的石英玻璃坩埚,其中,上述密封层的气泡数密度为15个/cm3以上且300个/cm3以下。

5.权利要求3或4所述的石英玻璃坩埚,其中,上述密封层的平均气泡直径为0.2μm以上且100μm以下。

6.权利要求1~5中任一项所述的石英玻璃坩埚,其中,上述密封层的气泡含量低于上述天然气泡层的气泡含量。

7.权利要求1~6中任一项所述的石英玻璃坩埚,该石英玻璃坩埚进一步具备:由含有多个气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于上述天然气泡层的外侧的晶体固化层,

上述晶体固化层中所含的碱金属、碱土金属或土类金属的元素浓度高于上述天然气泡层。

8.权利要求1~7中任一项所述的石英玻璃坩埚,该石英玻璃坩埚具有:圆筒状的侧壁部;弯曲的底部;以及位于上述侧壁部与上述底部之间且具有大于上述底部的曲率的角部,

上述角部的壁厚较上述侧壁部和上述底部要厚,

上述角部中的上述合成透明层的厚度较上述侧壁部和上述底部中的上述合成透明层要厚。


技术总结
本发明提供可防止在单晶硅中发生位错的同时制造低氧的单晶的石英玻璃坩埚。石英玻璃坩埚(1)具备:由含有气泡的合成石英熔融玻璃构成、且构成石英玻璃坩埚(1)的内面的密封层(11);由不含气泡的合成石英熔融玻璃构成、且形成于密封层(11)的外侧的合成透明层(12);由不含气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于合成透明层(12)的外侧的天然透明层(13);以及由含有气泡的天然石英熔融玻璃构成、且形成于天然透明层(13)的外侧的天然气泡层(14),其中,密封层(11)的气泡含量高于合成透明层(12)。

技术研发人员:中尾年幸;北原江梨子;岸弘史
受保护的技术使用者:胜高股份有限公司
技术研发日:2019.12.19
技术公布日:2020.06.26
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